其中,TOPCon 产线与主流 PERC 产线的兼容性高,新增投资规模小,适合已有较大规模 PERC 产线的厂商(也就是 PERC 时代的主流厂商)介入,是目前商业化进展最快的 N 型电池技术。从工艺流程对比来看,在 P 型电池工艺基础上,TOPCon产线调整了扩散(将磷扩散改为硼扩散,更复杂)和刻蚀(由去除磷硅玻璃变为去除硼硅玻璃,难度更大),增加了隧穿氧化层的生长和多晶硅层的沉积,工艺流程和设备的兼容性较高。
其中,TOPCon 产线与主流 PERC 产线的兼容性高,新增投资规模小,适合已有较大规模 PERC 产线的厂商(也就是 PERC 时代的主流厂商)介入,是目前商业化进展最快的 N 型电池技术。从工艺流程对比来看,在 P 型电池工艺基础上,TOPCon产线调整了扩散(将磷扩散改为硼扩散,更复杂)和刻蚀(由去除磷硅玻璃变为去除硼硅玻璃,难度更大),增加了隧穿氧化层的生长和多晶硅层的沉积,工艺流程和设备的兼容性较高。