芯源微生产的涂胶/显影机可与光刻机设备联机作业或者独立作业,工艺范围涵盖 LED 芯片制造、集成电路制造后道先进封装制程以及前道的 I-line、KrF、ArF 等制程工艺,根据不同工艺需求,可搭载不同的温湿度控制模块以及相应的涂胶和显影模块。同时,根据客户对产能要求的高低开发出了单机械手平台和多机械手平台,可以根据客户需求灵活配置,从而提高产品性价比。
芯源微生产的涂胶/显影机可与光刻机设备联机作业或者独立作业,工艺范围涵盖 LED 芯片制造、集成电路制造后道先进封装制程以及前道的 I-line、KrF、ArF 等制程工艺,根据不同工艺需求,可搭载不同的温湿度控制模块以及相应的涂胶和显影模块。同时,根据客户对产能要求的高低开发出了单机械手平台和多机械手平台,可以根据客户需求灵活配置,从而提高产品性价比。