氧化物掩膜扩散法制备SE示意图 原图定位 氧化物掩膜扩散法。这种方法是在清洗制绒后,在硅片表面制备一层薄的 SiO2膜,然后用激光在金属电极对应区域进行开槽,随后在扩散炉进行扩散,最后形成开槽区域重掺杂,其他