图表16InnoluceMEMS激光雷达内部结构示意 原图定位 MEMS 雷达受限于振镜偏转范围视场角较小,量产性强带来低成本优势。MEMS 振镜是一种硅基半导体元器件,属于固态电子元件,它在硅基芯片上集成了体积十分精巧的微振镜,其核心结构是尺寸很小的悬臂梁,通过悬臂梁的抖动来实现镜片的偏转。MEMS微振镜摆脱了马达等机械运动装置,毫米级尺寸的微振镜大大减小了激光雷达的尺寸。由于其集成度较高,在工艺成熟后预期会在成本和可靠性方面具备较大的优势。MEMS方案的技术创新体现在开发口径更大、频率更高、可靠性优于振镜,以适用于激光雷达的技术方案。但现在市面上 MEMS 偏转角度只有 10-30 度,为了解决视场角较小问题,往往需要多个首发模组拼接而成。