图36.GIGAPHOTON的ArF光源内部结构 原图定位 第三个是电极表面特殊处理。电极的损耗限制了激光腔使用寿命,损耗程度与产生的激光脉冲次数(laser pulse)成正比。在放电时,气体中的 F会不断腐蚀金属制成的电极。经过特殊表面处理后的电极的抗腐蚀和抗离子溅射能力大大提高,可以使激光腔的使用寿命增大到 600 亿次脉冲以上。