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光化学污染的危害
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1、健康,废旧动力电池中含有碳酸乙烯酯,环己基苯,丙烷磺酸内酯,甲基吡咯烷酮,碳酸亚乙烯酯等有毒有害物质,其中,丙烷磺酸内酯,甲基吡咯烷酮被列入海外多国有害物质管控清单。
2、要求,现阶段,芯片技术节点不断提升,从55nm,40nm,28nm至14nm,7nm及以下,对晶圆表面污染物的控制要求越来越高,往往光刻,刻蚀,沉积等重复性工序前后都需要一步清洗工序。
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