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1、 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 证券研究报告|首次覆盖报告 2022 年 10 月 12 日 C 富创富创(688409.SH)国产半导体零部件领军者,海内外双轮驱动长期成长国产半导体零部件领军者,海内外双轮驱动长期成长 富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业,富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业,也是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件,涵盖集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积、光刻、涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等多个核心环节设备。凭借对零部件制造工艺数十年的探
2、索积淀,并依托于国家重点项目自主研发,公司产品性能已与国际厂商不相上下,逐步进入全球半导体设备龙头厂商供应链体系,下游客户包括东京电子、HITACHI High-Tech、ASMI、北方华创、中科信装备、拓荆科技等国内外知名半导体设备供应商。2022 年全球半导体零部件市场规模或超年全球半导体零部件市场规模或超 500 亿美金,海外厂商主导,总体分散局部集中。亿美金,海外厂商主导,总体分散局部集中。根据富创精密招股书及国内外半导体设备厂商公开披露信息,设备成本构成中通常原材料占比90%以上为原材料,考虑国际半导体设备公司毛利率通常在 40%-45%左右,则全部精密零部件市场约为全球半导体设备市
3、场规模的 50%-55%。根据 SEMI,2021 年全球半导体设备市场规模达到 1025 亿美金,预计 2022 年进一步提升 14.7%至 1175 亿美金。若按零部件占设备市场规模的 50%测算,则 2022 年全球半导体零部件市场规模或超过 500 亿美金。半导体零部件制造工序繁琐,技术难度大,行业内多数企业通常专注于细分零部件系统,2010 年至今全球前十大关键子系统供应商的份额始终维持在 50%左右的水平。中国大陆半导体零部件市场空间广阔。中国大陆半导体零部件市场空间广阔。根据 SEMI,2019-2021 年中国大陆半导体设备销售额占全球的平均比重为 25.9%,若以此作为大陆零
4、部件市场占全球的比重进行测算,则 2022 年中国大陆零部件市场规模为 152 亿美金。根据芯谋研究,2020 年中国大陆晶圆厂 8 英寸和12 英寸前道设备零部件采购金额超过 10 亿美金。我们认为国内设备厂商正处于持续研发突破,产品初步起量阶段,随着国产设备厂商的放量,未来国内零部件需求预计将快速增长,机遇广阔。多维度打造研发体系,募投扩产支撑高速增长。多维度打造研发体系,募投扩产支撑高速增长。富创精密围绕精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接三大核心技术持续研发,不断提升产品性能。公司 7nm 零部件量产实现高端产品自主可控,同时加快研制应用于 5 纳米及更先进工艺制程的半导体设备精密零部
5、件。为扩大半导体设备精密零部件制造产能,公司于 2020 年开始新建位于沈阳市浑南区飞云路的新厂房并于2021 年末建设完成。此外公司规划启动南通和北京两地扩产项目,进一步提升半导体零部件产能,其中南通厂房为本次上市募投项目。公司也在持续采购配套机器设备,确保产能如期投产。未来公司将形成沈阳、北京、南通三大生产基地,有效实现国内和海外客户产能全覆盖。盈利预测及投资建议:盈利预测及投资建议:富创精密 2011 年起陆续进入客户 A、东京电子等全球半导体设备龙头厂商供应链体系,近年来公司持续扩展国内市场,当前全球零部件行业高景气,叠加国产化需求,公司的半导体零部件业务有望实现高速增长。相对零部件,
6、模组产品和气体管路是公司拓展的新产品品类,公司模组产品已经从提供简单模组提升到组装复杂腔体模组和刻蚀阀体模组,ASP 呈增长趋势;公司多种气体管路产品通过客户 A、北方华创等核心客户认证后,持续量产供货,销量及收入高速增长,随着公司工艺不断精进,市场份额有望持续提升。我们预计公司将在2022 年至2024 年实现收入14.2/21.9/32.5亿元,归母净利润2.26/3.61/5.34 亿元,对应当前估值 97.9/61.3/41.4x,首次覆盖,给予“买入”评级。风险提示风险提示:市场竞争加剧、新产品研发不及预期、国际贸易摩擦加剧 财务财务指标指标 2020A 2021A 2022E 20
7、23E 2024E 营业收入(百万元)481 843 1,415 2,187 3,250 增长率 yoy(%)89.9 75.2 67.8 54.6 48.6 归母净利润(百万元)94 126 226 361 534 增长率 yoy(%)380.4 35.3 78.5 59.8 48.0 EPS 最新摊薄(元/股)0.45 0.61 1.08 1.73 2.55 净资产收益率(%)10.2 11.1 17.0 21.3 23.8 P/E(倍)236.3 174.7 97.9 61.3 41.4 P/B(倍)24.1 21.1 17.3 13.5 10.2 资料来源:Wind,国盛证券研究所 注
8、:股价为 2022 年 10 月 11 日收盘价 买入买入(首次首次)股票信息股票信息 行业 半导体 10 月 11 日收盘价(元)109.09 总市值(百万元)22,805.63 总股本(百万股)209.05 其中自由流通股(%)21.29 30 日日均成交量(百万股)21.11 股价走势股价走势 作者作者 分析师分析师 郑震湘郑震湘 执业证书编号:S0680518120002 邮箱: 分析师分析师 张一鸣张一鸣 执业证书编号:S0680522070009 邮箱: 分析师分析师 佘凌星佘凌星 执业证书编号:S0680520010001 邮箱: 研究助理研究助理 刘嘉元刘嘉元 执业证书编号:S
9、0680120120006 邮箱: 相关研究相关研究 -27%-21%-14%-7%0%7%2022-10C富创 沪深300 2022 年 10 月 12 日 P.2 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 财务报表和主要财务比率财务报表和主要财务比率 资产负债表(资产负债表(百万元)利润表利润表(百万元)会计会计年度年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 会计年度会计年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 流动资产流动资产 606 996 1382 2026 2847 营业收入营业收入 481 843 1415 2187 3250
10、 现金 316 347 475 587 872 营业成本 329 573 942 1415 2038 应收票据及应收账款 129 345 451 780 1049 营业税金及附加 3 4 7 11 20 其他应收款 12 7 24 24 48 营业费用 12 16 28 44 81 预付账款 5 13 17 29 39 管理费用 35 65 105 160 244 存货 135 256 386 578 811 研发费用 37 74 108 164 244 其他流动资产 10 30 30 30 30 财务费用 11 11 9 26 43 非流动资产非流动资产 853 1490 1443 2275
11、 3274 资产减值损失-8-9-14-11 3 长期投资 6 3-5-13-21 其他收益 72 56 30 20 27 固定资产 453 767 770 1560 2483 公允价值变动收益 0 0 0 0 0 无形资产 73 136 151 169 190 投资净收益-6-4-3-4-4 其他非流动资产 320 584 526 559 622 资产处臵收益 0 0 0 0 0 资产资产总计总计 1459 2487 2825 4301 6122 营业利润营业利润 108 136 258 396 600 流动负债流动负债 241 637 771 1920 3238 营业外收入 0 0 0 0
12、 0 短期借款 66 176 176 970 2076 营业外支出 0 0 1 0 0 应付票据及应付账款 120 375 439 783 976 利润总额利润总额 108 136 257 395 600 其他流动负债 55 87 156 167 185 所得税 15 14 34 39 77 非流动非流动负债负债 301 755 684 655 634 净利润净利润 94 121 223 356 524 长期借款 60 355 284 255 234 少数股东损益 0-5-2-5-10 其他非流动负债 241 400 400 400 400 归属母公司净利润归属母公司净利润 94 126 22
13、6 361 534 负债合计负债合计 542 1393 1455 2575 3872 EBITDA 168 239 344 542 883 少数股东权益 0 46 44 39 29 EPS(元/股)0.45 0.61 1.08 1.73 2.55 股本 157 157 209 209 209 资本公积 720 725 725 725 725 主要主要财务比率财务比率 留存收益 40 167 390 746 1270 会计会计年度年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 归属母公司股东权益 917 1048 1326 1687 2221 成长能力成长能力 负债负债和股东权
14、益和股东权益 1459 2487 2825 4301 6122 营业收入(%)89.9 75.2 67.8 54.6 48.6 营业利润(%)417.4 25.5 89.5 53.6 51.8 归属母公司净利润(%)380.4 35.3 78.5 59.8 48.0 获利获利能力能力 毛利率(%)31.6 32.0 33.4 35.3 37.3 现金现金流量流量表表(百万元)净利率(%)19.4 15.0 16.0 16.5 16.4 会计年度会计年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E ROE(%)10.2 11.1 17.0 21.3 23.8 经营活动现金流经营活
15、动现金流 176 157 121 317 435 ROIC(%)7.2 7.2 10.5 11.4 11.9 净利润 94 121 223 356 524 偿债偿债能力能力 折旧摊销 61 80 78 119 204 资产负债率(%)37.2 56.0 51.5 59.9 63.3 财务费用 11 11 9 26 43 净负债比率(%)5.6 53.7 34.7 66.9 88.1 投资损失 6 4 3 4 4 流动比率 2.5 1.6 1.8 1.1 0.9 营运资金变动-2-74-192-188-340 速动比率 1.9 1.1 1.2 0.7 0.6 其他经营现金流 6 16 0 0 0
16、 营运能力营运能力 投资活动投资活动现金流现金流-311-627-33-955-1208 总资产周转率 0.4 0.4 0.5 0.6 0.6 资本支出 308 627-40 840 1008 应收账款周转率 4.8 3.6 3.6 3.6 3.6 长期投资-4 0 7 8 8 应付账款周转率 3.7 2.3 2.3 2.3 2.3 其他投资现金流-7 0-66-107-192 每股指标(元)每股指标(元)筹资筹资活动现金流活动现金流 391 471 40-44-49 每股收益(最新摊薄)0.45 0.61 1.08 1.73 2.55 短期借款-35 110 0 0 0 每股经营现金流(最新
17、摊薄)0.84 0.75 0.58 1.52 2.08 长期借款 60 295-71-29-21 每股净资产(最新摊薄)4.39 5.01 6.09 7.82 10.37 普通股增加 21 0 52 0 0 估值估值比率比率 资本公积增加 340 5 0 0 0 P/E 236.3 174.7 97.9 61.3 41.4 其他筹资现金流 4 60 59-15-28 P/B 24.1 21.1 17.3 13.5 10.2 现金净增加额现金净增加额 256 1 128-682-821 EV/EBITDA 131.8 95.1 65.8 42.9 27.2 资料来源:Wind,国盛证券研究所 注
18、:股价为 2022 年 10 月 11 日收盘价 OWbWrV8VeZiVpPnNsQaQ8Q6MmOnNtRtRlOpOpPlOrQoN7NoOxOvPtRxOvPtRnO 2022 年 10 月 12 日 P.3 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 内容目录内容目录 一、国内半导体零部件领军企业,业绩迎高速增长.5 1.1 深耕半导体精密零部件多年,产品丰富技术领先.5 1.2 股权结构清晰,技术团队稳定.7 1.3 营收利润加速增长,国内业务收入占比不断攀升.9 二、设备零部件海外厂商主导,国内空间广阔.12 2.1 半导体零部件半导体设备之基石.12 2.2 行业供不应求
19、,市场空间超 500 亿美金.15 2.3 海外厂商主导,总体分散局部集中.19 三、多维度打造研发体系,助力国产化乘风破浪.23 3.1 研发费用保持高速增长,多维度打造完整研发体系.23 3.2 三大技术+四项性能不断升级,7nm 量产、5nm 接力研发.25 3.3 国内需求强劲,募投扩产支撑高速增长.27 四、盈利预测及投资建议.28 五、风险提示.30 图表目录图表目录 图表 1:富创精密发展历程.5 图表 2:工艺零部件产品.6 图表 3:富创精密结构零部件分类.6 图表 4:富创精密模组及气体管路产品.7 图表 5:富创精密股权结构.8 图表 6:富创精密核心技术人员简介.8 图
20、表 7:富创精密营收情况.9 图表 8:富创精密归母净利润情况.9 图表 9:富创精密营收结构(亿元).10 图表 10:富创精密各业务产品销量(个).10 图表 11:公司营收按地区划分(亿元).10 图表 12:公司海外营收占比(亿元).10 图表 13:富创精密综合毛利率情况.11 图表 14:富创精密分业务毛利率情况.11 图表 15:公司费用率水平(%).11 图表 16:半导体设备零部件产业链.12 图表 17:半导体零部件制造工艺高标准.12 图表 18:EUV 光刻机空间成像测量系统(AIMS)零部件繁多.13 图表 19:半导体设备零部件分类.14 图表 20:SEMI 预计
21、 2022 年全球半导体设备市场规模创 1175 亿美金新高.16 图表 21:中国大陆半导体设备销售占全球比重(十亿美金).16 图表 22:根据不同类型设备 2020 年公布的市场规模累加得到富创精密主要产品市场规模(亿美金).17 图表 23:真空子系统供应商全球地域格局.17 图表 24:电源系统市场规模及增速(按应用分).18 图表 25:电源系统下游应用需求分布.18 2022 年 10 月 12 日 P.4 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 26:2020 年中国晶圆厂商采购的 8-12 吋晶圆设备前道零部件产品结构.18 图表 27:半导体设备零部件国内外
22、供应商.19 图表 28:2020 年全球前十大关键子系统供应商.19 图表 29:前十大厂商全球份额.19 图表 30:全球前十大半导体零部件厂商营收.20 图表 31:超科林并购历程.20 图表 32:超科林营收过去五年 CAGR 达 30%.21 图表 33:超科林产品业务增速快于服务业务.21 图表 34:京鼎营收和净利润情况.21 图表 35:Ferrotec 营收和净利润情况.22 图表 36:公司研发费用.23 图表 37:公司研发人员及核心技术人员.23 图表 38:富创精密人员构成情况(人,%).24 图表 39:富创精密员工学历情况(人,%).24 图表 40:公司前十大在
23、研项目均为自主研发项目.24 图表 41:公司不同类别产品对应核心技术.25 图表 42:公司三大核心技术.26 图表 43:产品四大性能.26 图表 44:公司产品及对应制程.26 图表 45:中国大陆销售占比(%).27 图表 46:IPO 募投项目.27 图表 47:南通募投项目相关信息.28 图表 48:富创精密盈利预测(万元).29 图表 49:可比公司估值(2022 年 10 月 10 日收盘价,可比公司归母净利润预测取万得一致预期,亿元).30 2022 年 10 月 12 日 P.5 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 一、国内半导体零部件领军企业,业绩迎高速增长
24、一、国内半导体零部件领军企业,业绩迎高速增长 1.1 深耕半导体精密零部件多年,产品丰富技术领先深耕半导体精密零部件多年,产品丰富技术领先 富创精密于富创精密于 2008 年年 6 月成立,月成立,是国内半导体设备精密零部件的领军企业,是国内半导体设备精密零部件的领军企业,也是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件,涵盖集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积、光刻、涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等多个核心环节设备。凭借对零部件制造工艺数十年的探索积淀,并依托于国家重点项目自主研发,公司产品性能已与国际厂
25、商不相上下,逐步进入全球半导体设备龙头厂商供应链体系,下游客户包括东京电子、HITACHI High-Tech、ASMI、北方华创、中科信装备、拓荆科技等国内外知名半导体设备供应商。图表 1:富创精密发展历程 资料来源:富创精密招股书,富创精密官网,国盛证券研究所 产品矩阵完整,产品矩阵完整,性能满足国际知名客户要求性能满足国际知名客户要求。公司产品主要包括工艺零部件、结构零部件、模组产品及气体管路四大类,产品性能满足或者优于海外巨头客户要求。同时公司对应具备上述零部件从焊接到检测的多种工艺。1)工艺零部件工艺零部件包括过渡腔、传输腔、反应腔及内衬等,应用场景为晶圆真空反应的核心环节,对密封性
26、、洁净度和耐腐蚀性要求极高,主要应用在刻蚀设备和薄膜沉积设备。公司过渡腔和传输腔的密封性、反应腔真空度、内衬和匀气盘洁净度均优于主流国际客户指标和中国台湾地区京鼎精密等对标厂商,且多个产品已应用于 7nm制程半导体设备。2022 年 10 月 12 日 P.6 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 2:工艺零部件产品 产品类别 产品名称 图示 主要应用设备 主要作用和性能要求 工艺零部件 过渡腔 刻蚀设备、薄膜沉积设备,公司产品已应用于 7纳米制程半导体设备 过渡腔是设备中晶圆真空环境入口。过渡腔需要保证真空度、密封性以及晶圆经过不能发生污染。工艺零部件 传输腔 刻蚀设备、薄
27、膜沉积设备,公司产品已应用于 7纳米制程半导体设备 传输腔是晶圆在过渡腔和反应腔之间进行转移的中间平台。需要采用不同的表面处理特种工艺来保证传输腔的洁净度和耐腐蚀性。工艺零部件 反应腔 刻蚀设备、薄膜沉积设备,公司产品已应用于 7纳米制程半导体设备 反应腔是晶圆加工和生产的工作空间。需要通过高洁净度精密清洗技术和表面处理特种工艺技术分别保证其洁净度和耐腐蚀及耐击穿电压性能。工艺零部件 内衬 刻蚀设备、薄膜沉积设备,公司产品已应用于 7纳米制程半导体设备 内衬是反应腔体内的核心零件,其涂层用于保护反应腔体表面,延长反应腔寿命,内衬对洁净度、耐腐蚀度要求较反应腔更高。工艺零部件 匀气盘 刻蚀设备、
28、薄膜沉积设备,公司产品已应用于 7纳米制程半导体设备 特种工艺气体通过匀气盘上的小孔后均匀沉积在晶圆表面,保证晶圆表面膜层的均匀性和一致性。因此,对匀气盘零件上孔径一致性及零件高洁净度有严苛要求,同时需定期更换。资料来源:公司公告,国盛证券研究所 2)结构零部件结构零部件对平面度和平行度要求较高,例如铸钢平台和冷却板,分别应用在抛光设备和涂胶显影设备等,公司托盘轴的平面度和平行度优于国内主流客户要求,流量计底座和冷却版的密封性优于主流国际客户指标。图表 3:富创精密结构零部件分类 产品类别产品类别 产品名称产品名称 图示图示 主要应用设备主要应用设备 主要作用和性能要求主要作用和性能要求 结构
29、零部件 托盘轴 化学机械抛光设备 托盘轴用于支撑化学机械抛光设备的抛光平台,需保持抛光平台高水平的平整度,保证研磨效率。公司采用专用工装装夹,高精度设备、特殊刀具加工技术等,保证托盘轴的平面度和平行度。结构零部件 铸钢平台 化学机械抛光设备 铸钢平台是机械抛光设备的安装平台,需采用高精密多工位复杂型面制造技术满足大尺寸抛光设备的平面度和平行度,采用不锈钢超高光洁度制造技术来满足高附着力及光滑度的要求。结构零部件 流量计底座 刻蚀设备、薄膜沉积设备 流量计底座是承载测定特种工艺气体传输流量的底盘装臵,对特种气体的流量进行精密测量和控制,对流量计底座各通道内的洁净度、耐腐蚀性、表面粗糙度、小孔精度
30、、密封性能要求极高。结构零部件 定子冷却套 化学机械抛光设备 定子冷却套是化学机械抛光设备的内部冷却装臵,用于密封内部冷却液体。其尺寸薄、精度要求高、变形量要求较严苛,公司采取高精密多工位复杂型面制造技术确保其尺寸公差精度满足标准。结构零部件 冷却板 制造显示面板的薄膜沉积设备、涂胶显影设备 冷却板是制造显示面板的薄膜沉积设备的内部冷却装臵,对平面度要求高,需自制特殊工装治具保证加工过程稳定,以确保大尺寸产品的平面度。资料来源:公司公告,国盛证券研究所 2022 年 10 月 12 日 P.7 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 3)模组设备和气体管路产品模组设备和气体管路产品,
31、主要主要应用于刻蚀设备和薄膜沉积设备等,这两类产品延伸了公司供应的零部件范围,满足了客户在标准化方面“一站式服务”的需求。基于产品种类的广度,公司目前年均向用户交付首件种类超过 3,000 种,首件实现量产种类超过 2,000 种。未来随着客户模组产品需求的不断增加,我们预计公司也将相应推出更多性能更高的模组产品。图表 4:富创精密模组及气体管路产品 产品类别 产品名称 图示 主要应用设备 主要作用和性能要求 模组产品 离子注入机模组 离子注入设备 离子注入机模组承载离子注入技术需要满足洁净度、真空度、耐腐蚀性及耐击穿电压等要求。模组产品 传输腔模组 刻蚀设备、薄膜沉积设备 传输腔模组核心作用
32、同传输腔,产品制造及功能检测需模拟实际使用场景。模组产品 过渡腔模组 刻蚀设备、薄膜沉积设备 过渡腔模组核心作用同过渡腔,产品制造及功能检测需模拟实际使用场景。模组产品 刻蚀阀体模组 刻蚀设备 刻蚀阀体模组用于控制反应腔压力平衡,需运用多工位复杂型面制造技术、阳极氧化技术及清洗技术,保证其机械精度、自身洁净度以及真空度。模组产品 气柜模组 刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备 气柜模组是特种工艺气体输送控制装臵,需要保证工艺气体的流量、压力、浓度、及反应时间等方面的精准控制并确保洁净度、耐腐蚀性及安全性。气体管路产品 气体管路 刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备 气体管路产品主要应用于半导体
33、设备中的特殊工艺气体传送,对密封性、洁净度及耐腐蚀能力要求较高。资料来源:公司公告,国盛证券研究所 1.2 股权结构清晰,技术团队稳定股权结构清晰,技术团队稳定 公司实控人行业经验丰富,曾任职并投资多家精密制造领域公司。公司实控人行业经验丰富,曾任职并投资多家精密制造领域公司。公司股权结构简单,实控人为郑广文,目前合计控制公司 34.03%的股份表决权。郑广文担任董事长、总经理,对公司生产经营、重大决策具有实际控制权。郑广文拥有丰富的任职以及投资精密制造相关公司的经历,2003 年投资入股业务覆盖高端精密制造领域的沈阳先进,并于 2008 年 6 月通过沈阳先进投资设立富创有限;2006 年
34、5 月郑广文担任芯源微董事至今;2009 年 11 月郑广文担任富创有限以及富创精密董事长、总经理至今。2022 年 10 月 12 日 P.8 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 5:富创精密股权结构 资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 公司多名核心技术人员拥有十多项专利授权,具有多年自主技术开发经验及承担国家专公司多名核心技术人员拥有十多项专利授权,具有多年自主技术开发经验及承担国家专项任务经验。项任务经验。公司董事倪世文先生兼任副总经理、公司技术及产品研发负责人,拥有超过 23 年的半导体设备精密零部件制造开发及生产管理经验,在“02 重大专项”任务中负责产
35、品研发以及生产制造,主导引进柔性生产线制造模式,并作为主要负责人成功开发了半导体核心精密零部件内侧加工和大型传输平台的开发等。公司另有精密机械制造方面技术专家褚依辉作为发明人获得专利 17 项、表面处理方向技术专家安朋娜作为发明人获得专利 9 项等。图表 6:富创精密核心技术人员简介 姓名姓名 职位职位 主要经历主要经历 倪世文 董事、副总经理 倪世文拥有超过 23 年的半导体设备精密零部件制造开发及生产管理经验,是公司技术、产品研发负责人。宋岩松 副总经理 宋岩松主要负责公司的知识库管理和工艺智能化设计工作,作为主要负责人与西门子共同开发了公司的智能工艺设计系统,实现了机械制造工艺设计的智能
36、化。李吉亮 技术研发中心高级技术专家(精密机械制造方向)李吉亮毕业于辽宁工业大学机械制造与数控专业。2007 年 4 月至 2017 年 3 月,李吉亮任富士迈半导体精密工业(上海)有限公司制造工程师;2017 年 4 月至今,历任公司技术研发中心精密机械制造方向工程师、技术专家、高级技术专家。李吉亮拥有 15 年半导体设备精密零部件产品开发经验。褚依辉 技术研发中心技术专家(精密机械制造方向)褚依辉毕业于北京航空航天大学工业工程专业,硕士研究生学历。2005 年 8 月至2015 年 4 月,任沈阳黎明航空发动机集团有限责任公司工装工程师;2015 年 4月至今,历任公司技术研发中心精密机械
37、制造方向工程师、技术专家。褚依辉从事机械工程领域相关工作 17 年,对机械制造、焊接、组装和检测工装、组合夹具均有丰富的设计经验,作为发明人获得专 17 项。张少杰 技术研发中心技术专家(表面处理方向)张少杰毕业于哈尔滨工业大学化学工程与工艺(电化学)专业,本科学历。2013年 8 月至今,历任公司技术研发中心表面处理方向工程师、技术专家。作为“02重大专项”二期“IC 设备超低污染、抗强腐蚀铝合金零部件制造技术研发及产业化应用”的课题负责人,张少杰带领技术团队在涂镀纯铝特种涂层技术、物理气相沉积制备薄膜技术、等离子喷涂制备复合陶瓷涂层技术等三方面开展研发和攻关。安朋娜 技术研发中心技术专家(
38、表面处理方向)安朋娜毕业于哈尔滨工业大学化学工程与技术专业,硕士研究生学历。2013 年 7月至今,安朋娜历任公司技术研发中心表面处理方向工程师、技术专家,带领团 2022 年 10 月 12 日 P.9 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 队成功攻克刻蚀设备中核心部件内衬的膜层荧光、倒角膜层崩裂等关键问题,保证了产品高耐腐蚀性以及高洁净度的要求。李生智 技术研发中心技术专家(焊接方向)李生智毕业于沈阳大学材料成型及控制工程(焊接)专业,本科学历。2007 年 12月至 2014 年 11 月,任沈阳远大机电装备有限公司焊接工程师;2014 年 11 月至今,历任公司技术研发中心
39、焊接方向工程师、技术专家,并取得国际焊接工程师资格。资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 公司股权激励制度完善,利于人才队伍与核心骨干团队的稳定,并提高员工参与科研积公司股权激励制度完善,利于人才队伍与核心骨干团队的稳定,并提高员工参与科研积极性。极性。公司在 2018 年 1 月设立三家员工持股平台宁波芯富、宁波芯芯、宁波良芯,并在2019年、2020年和2021年分别确认股份支付费用319.75万元、280.01万元和507.33万元。公司每年股权激励人数均在 40-45 人,多次股权激励计划充分调动员工积极性并且增强了员工粘性。同时公司也抓住机遇以“02 重大专项”项目为契机,进
40、一步培养了本土科研队伍。1.3 营收利润加速增长,国内业务收入占比不断攀升营收利润加速增长,国内业务收入占比不断攀升 营收维持营收维持高速高速增长,利润换挡加速向上增长,利润换挡加速向上。公司近三年营收维持高速增长,2021 年公司实现营收 8.43 亿元,同比增长 75.21%,2022H1 公司实现营业收入 5.98 亿元,同比增长73.16%。同时公司近几年扣非归母净利润表现亮眼,2020 年公司实现扣非归母净利润 0.32 亿元,2021 年公司扣非归母净利润 0.75 亿元。2022H1,公司扣非归母净利润维持高速增长趋势,实现扣非归母净利润 0.74 亿元,已逼近 2021 年全年
41、水平,同比增速达236.94%。公司营收和净利润高速增长原因如下:行业景气度持续旺盛行业景气度持续旺盛,公司产品供不应求,随着产能持续提升,公司业绩进一步释放;公司产能紧张,聚焦高附加值产品订单公司产能紧张,聚焦高附加值产品订单,综合毛利率同比提升。同时随着经营规模扩大,规模效应凸显,期间费用同比增幅远低于收入,导致净利润同比增幅高于收入;公司非经常性损益对净利润贡献比例同比大幅下降公司非经常性损益对净利润贡献比例同比大幅下降,公司扣非后归母净利润增幅进一步放大。图表 7:富创精密营收情况 图表 8:富创精密归母净利润情况 资料来源:Wind,国盛证券研究所 资料来源:Wind,国盛证券研究所
42、 0204060800022H1营业总收入(亿元)同比(%)0500-0.8-0.400.40.81.220022H1扣非归母净利润(亿元)同比(%)2022 年 10 月 12 日 P.10 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 结构部件结构部件和工艺部件作为营收基本盘和工艺部件作为营收基本盘,模组和气体管路产品逐步发力模组和气体管路产品逐步发力。结构零部件因其工艺简单放量较快,而工艺零部件系公司技术附加值最高的产品,这两项产品业务在2018-2020 年占据公司营收的 70%以上。同时公司积
43、极拓展业务布局,发展模组和气体管路产品,2021年模块加气体管路产品合计营收2.99亿元,较2020年同比增长89.24%。未来随着公司匹配客户模组需求以及气体管路产品放量,公司模组以及模组和气体管路有望贡献更多营收占比。图表 9:富创精密营收结构(亿元)图表 10:富创精密各业务产品销量(个)资料来源:Wind,国盛证券研究所 资料来源:富创精密招股说明书、国盛证券研究所 助力设备国产化助力设备国产化大势大势,国内业务收入占比不断攀升。,国内业务收入占比不断攀升。对公司营收按地区进行拆分,可以看出,早年公司设备零部件主要出货海外设备厂商,近几年随着全球半导体设备市场规模不断扩张以及设备国产化
44、浪潮的不断推进,公司海外营收以及国内营收均保持高速增长。2021 年,大陆地区营收占比 39.32%,较 2020 年提升 17%。对海外业务拆分,亚洲地区营收稳中有升,北美地区是海外业务营收增长的重要动力,主要系公司 A 客户营收占比较高所致。我们预计随着国内半导体设备厂商国产化的不断深入以及公司逐步发我们预计随着国内半导体设备厂商国产化的不断深入以及公司逐步发力国内市场,未来公司营收有望实现海内外双线高速增长。力国内市场,未来公司营收有望实现海内外双线高速增长。图表 11:公司营收按地区划分(亿元)图表 12:公司海外营收占比(亿元)资料来源:Wind,国盛证券研究所 资料来源:Wind,
45、国盛证券研究所 利润率水平维持稳定利润率水平维持稳定,助力设备国产化乘风破浪助力设备国产化乘风破浪。受行业景气度上升、产能利用率上升、生产效率提升共同驱动,公司毛利率保持上升。2022H1 公司毛利率 33.57%,较 2021年提升 1.53%。公司毛利率小幅波动的主要影响因素一是外销产品毛利率受人民币汇率0021其他业务 气体管路 模组产品 工艺零部件 结构零部件 0500000200000250000300000350000400000450000500000020004000600080004000
46、0000201920202021工艺零部件(左)模组产品(左)结构零部件(右)气体管路(右)001920202021国外 中国大陆 其他业务(地区)001920202021欧洲 亚洲 北美 2022 年 10 月 12 日 P.11 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 影响而波动,二是公司为保障国内半导体设备公司发展,内销产品毛利率相对较低。公公司过去凭借过硬的产品力打入国际半导体设备厂商并建立了十分牢固的长期合作关系,司过去凭借过硬的产品力打入国际半导体设备厂商并建立了十分牢固的长期合作关系,考虑到大陆销售占比近
47、年来不断增加,我们预计未来公司毛利率或将维持稳定,以长期考虑到大陆销售占比近年来不断增加,我们预计未来公司毛利率或将维持稳定,以长期支持国内半导体设备厂商的突破与发展。支持国内半导体设备厂商的突破与发展。图表 13:富创精密综合毛利率情况 图表 14:富创精密分业务毛利率情况 资料来源:Wind,国盛证券研究所 资料来源:Wind,国盛证券研究所 费用费用管控出色,整体费用率呈下降趋势管控出色,整体费用率呈下降趋势。公司各项费用率均保持低位水平,2022H1 公司三费合计占比 9.87%,较 2021 年降低 1.04%。公司期间管理费用有所增长,系公司规模不断扩大,管理人员随之增长、外部专家
48、咨询费增长、以及公司已投产的新增设备计提折旧所致,但管理费用率仍受益于营收规模快速增长而维持较低水平。图表 15:公司费用率水平(%)资料来源:Wind、国盛证券研究所 -20-20022H1销售毛利率(%)销售净利率(%)-30-20-20021结构零部件(%)工艺零部件(%)模组产品(%)气体管路(%)0%10%20%30%20022H1三费合计 销售费用率 管理费用率 财务费用率 2022 年 10 月 12 日 P.12 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 二、设
49、备零部件海外厂商主导,国内空间广阔二、设备零部件海外厂商主导,国内空间广阔 2.1 半导体零部件半导体零部件半导体设备之基石半导体设备之基石 半导体半导体精密精密零部件是半导体设备行业的基石。零部件是半导体设备行业的基石。半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等方面达到半导体设备及技术要求的零部件。上游原材料包括铝合金材料和部分非金属原材料,下游应用则涵盖了光刻、刻蚀、清洗、薄膜沉积等半导体设备。鉴于半导体设备厂商往往为轻资产模式运营,其绝大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上,或以精密零部件作为载体来实现,因此精密零部件对半导体设备的性能至关重要。图表 16:半导体
50、设备零部件产业链 资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 半导体设备零部件半导体设备零部件参数高标准,工艺复杂。参数高标准,工艺复杂。由于应用于可靠性要求非常高的半导体设备中,零部件参数往往要兼顾精度、强度、洁净度、抗腐蚀、电子特性、电磁特性、材料纯度等复合功能要求,生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科,是半导体设备核心技术的直接保障。图表 17:半导体零部件制造工艺高标准 技术技术 介绍介绍 精密机械 制造技术 围绕精准加工工艺路线和程序开发、材料科学和材料力学与零件结构和加工参数的匹配、制造方式与产业模式匹配,通过机械制造精度和
51、所加工材料精准把控,提升半导体设备整体性能及使用寿命。表面处理 特种工艺技术 可分为干式制程和湿式制程,用于保障精密零部件的高洁净、超强耐腐蚀、耐击穿电压等性能。干式制程包括抛光、喷砂及喷涂等;湿式制程包括化学清洗、阳极氧化、化学镀镍及电解抛光等。焊接技术 确保半导体设备精密零部件焊接区域的零气孔、零裂纹、零瑕疵,保证半导体设备零部件的产品性能及使用寿命,以最终实现真空环境下的半导体设备工艺制程的稳定。资料来源:富创精密招股书,国盛证券研究所 半导体精密零部件种类众多,市场较为分散。半导体精密零部件种类众多,市场较为分散。由于半导体设备技术工艺复杂、种类各异,2022 年 10 月 12 日
52、P.13 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 因此精密零部件的种类繁多,主要包括机械类中的金属工艺件、结构件,电气类,机电一体类,气体/液体/真空系统类,仪器仪表类,光学类等等,各个细分市场规模较小,且不同零部件之间工作原理各异,导致碎片化特征较明显。蔡司的用于 EUV 光刻机的空间成像测量系统(AIMS)就拥有 134 个供应商,4500 个系统部件,6.4 万个零部件。图表 18:EUV 光刻机空间成像测量系统(AIMS)零部件繁多 资料来源:SEMI,国盛证券研究所 2022 年 10 月 12 日 P.14 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 19:半
53、导体设备零部件分类 资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 2022 年 10 月 12 日 P.15 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 2.2 行业供不应求,市场空间超行业供不应求,市场空间超 500 亿美金亿美金 半导体设备先进零部件交期延长两倍以上。半导体设备先进零部件交期延长两倍以上。根据韩国 etnews 报道,半导体设备需求激增与上游零部件扩产不足的矛盾形成了瓶颈。半导体设备先进部件的交货期与通常相比延迟了两倍以上,由原来的通常 2-3 个月拉长至超过 6 个月。美国、日本和德国生产的先进零部件交期延长尤为严重,如高级传感器、精密温度计、控制设备的 MCU 和
54、电力线通信(PLC)设备。其中 PLC 设备的交期已经被延迟到超过 12 个月。出现这种情况的原因主要是零部件厂商通常重资产,扩产速度相对半导体设备厂商较慢。海外龙头厂商在手订单依旧强劲,供应链限制延续。海外龙头厂商在手订单依旧强劲,供应链限制延续。1)供给高度紧张:ASML 22Q1 营收 yoy-19%,下滑主要系部分订单确认延迟;毛利率同比-5pt,承压主要系材料、供应链、运输等成本上升;库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt,主要系成本压力(原材料、物流、通胀等)。2)订单依旧强劲:ASML 新增在手订单约 70 亿欧元,环比持平。KLA:当前在手订单交期总体 56 个月,部分产品
55、 78 月。爱德万客户订单提前量增加,由于系半导体等材料和零件短缺,交期延长。3)积极扩产:ASML 预计 2030 年产能至少翻番,2025 年年产能增加到约 90 套 0.33 孔径 EUV 和 600 套 DUV。泰瑞达预计 2023研发费用 1900 亿日元,yoy+20.1%;资本开支 750 亿日元,yoy+31.1%,规划金额皆较往年有大幅提升。2022 下半年展望乐观,全年需求强劲将有订单递延至明年。下半年展望乐观,全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林 2022Q2 毛利率指引中枢仍略降,持续成本和供应压力影响持续,二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订
56、单延迟多数企业对 H2 展望乐观。ASML 预计 2022H2 表现强劲,毛利率约 54%,高于全年 52%指引,主要由 EUV 和 DPV 出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4 部分 EUV 系统收入将递延到 2023 年。泛林预计 2022 WFE 需求将超 1000 亿美元,未满足的设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产,预计 H2 出货有更大增量及灵活性,预计 Q2 实现增长,仅高端产品出货受限。2022 年年全球半导体零部件市场规模全球半导体零部件市场规模或超过或超过 500 亿美金。亿美金。根据富创精密招股书及国内外半导体设备厂商公开披露信息,设备成本构成中通常原材料
57、(不同类型的精密零部件产品)占比 90%以上为原材料,考虑国际半导体设备公司毛利率通常在 40%-45%左右,则全部精密零部件市场约为全球半导体设备市场规模的 50%-55%。根据 SEMI,2021年全球半导体设备市场规模达到 1025 亿美金,预计 2022 年进一步提升 14.7%至 1175亿美金。若按零部件占设备市场规模的 50%测算,则 2022 年全球半导体零部件市场规模或超过 500 亿美金。根据 SEMI,2019-2021 年中国大陆半导体设备销售额占全球的平均比重为 25.9%,若以此作为大陆零部件市场占全球的比重进行测算,则 2022 年中国大陆零部件市场规模为 152
58、 亿美金。2022 年 10 月 12 日 P.16 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 20:SEMI 预计 2022 年全球半导体设备市场规模创 1175 亿美金新高 资料来源:SEMI(2022.7),国盛证券研究所 图表 21:中国大陆半导体设备销售占全球比重(十亿美金)资料来源:日本半导体制造装臵协会,国盛证券研究所 0%5%10%15%20%25%30%35%020406080006200720082009200001920202021中国大陆半导体设备销售额 全球半导体设备
59、销售额 中国大陆占比 2022 年 10 月 12 日 P.17 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 富创精密在招股书中采用了成本占比法测算精密零部件市场空间,公司根据不同类型设备 2020 年公布的市场规模,以及国内代表性公司披露的原材料成本,和精密零部件在成本中的占比,并考虑设备厂商毛利率水平,累加得到公司主要产品的公司主要产品的全球市场规模约160 亿美金。图表 22:根据不同类型设备 2020 年公布的市场规模累加得到富创精密主要产品市场规模(亿美金)资料来源:富创精密招股书,国盛证券研究所 欧洲企业引领欧洲企业引领真空系统真空系统行业行业。根据 VLSI,2020 年半
60、导体全球真空子系统约占关键系统总体的 22.1%。真空子系统主要包括真空泵、压力表和真空阀等。目前市场被欧洲及日本企业占据,欧洲厂商份额超过 60%且有持续提升的趋势,其中 Edwards,Pfeiffer,VAT Valve 三家占全球份额的 55%,日本厂商份额约 22%。图表 23:真空子系统供应商全球地域格局 资料来源:VLSI,国盛证券研究所 刻蚀、沉积需求驱动电源系统高增速。刻蚀、沉积需求驱动电源系统高增速。VLSI 测算电源系统占半导体关键子系统的从 2016年的 9.8%提升至 2021 年的 13%,从量价角度来看,平均每个反应腔需要的射频电源系统数量持续增加,同时下游对以高
61、频为代表的高端电源子系统需求增加带来平均价质量的增加。多重曝光及 3D NAND 层数不断增加,带来了对刻蚀、沉积步骤的需求提升,以 3D NAND 为例,时间更长、更复杂的刻蚀步骤对电源系统解决方案的需求也在不断提升。从下游应用来看,电源系统中 71%的需求来源于刻蚀设备。2022 年 10 月 12 日 P.18 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 24:电源系统市场规模及增速(按应用分)图表 25:电源系统下游应用需求分布 资料来源:VLSI,国盛证券研究所 资料来源:VLSI,国盛证券研究所 2020 年中国晶圆厂前道设备零部件采购额超过年中国晶圆厂前道设备零部件采
62、购额超过 10 亿美金。亿美金。根据芯谋研究,2020 年中国大陆晶圆厂 8 英寸和 12 英寸前道设备零部件采购金额超过 10 亿美金。其中不含海外厂商在国内的产线,中国内资晶圆厂采购金额约 4.3 亿美金。中国晶圆厂采购的设备零部件主要包括石英(Quartz)、射频发生器(RF Generator)、各种泵(Pump)等,分别占零部件采购金额的比重10%。此外各种阀门(Valve)、吸盘(Chuck)、反应腔喷淋头(Shower Head)、边缘环(Edge Ring)等零部件的采购占比也较高。图表 26:2020 年中国晶圆厂商采购的 8-12 吋晶圆设备前道零部件产品结构 资料来源:芯
63、谋研究 22Q1,国盛证券研究所 2022 年 10 月 12 日 P.19 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 2.3 海外厂商主导,总体分散局部集中海外厂商主导,总体分散局部集中 半导体设备本身结构复杂,对加工精度、一致性、稳定性要求较高,导致精密零部件制造工序繁琐,技术难度大,行业内多数企业只专注于个别生产工艺,或专注于特定精密零部件产品。通过兼并收购进行横向扩张,目前多数细分行业内领先的供应商为日美企业。近年来国产厂商奋起直追,在部分细分领域已经逐步实现国产替代,例如菲利华的石英零部件,万业企业旗下的 Compart Systems 的气体系统,华卓精科的双工机台等。图表
64、 27:半导体设备零部件国内外供应商 资料来源:芯谋研究,VLSI,国盛证券研究所 全球前十大全球前十大关键子系统关键子系统供应商市占率供应商市占率自自 2010 年起始终维持在约年起始终维持在约 50%。2000-2010 年伴随收购并购,行业持续整合,全球关键子系统前十大厂商的合计份额逐步提升,2010年以来前十大家的份额始终维持在 50%左右的水平。2020 年,蔡司仍占据第一位臵,受益于对射频电源子系统的强劲需求,MKS 超过 Edwards 跃居第二。图表 28:2020 年全球前十大关键子系统供应商 图表 29:前十大厂商全球份额 资料来源:VLSI,国盛证券研究所 资料来源:VL
65、SI,国盛证券研究所 2022 年 10 月 12 日 P.20 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 30:全球前十大半导体零部件厂商营收 资料来源:各公司年报,国盛证券研究所 超科林超科林公司成立于 1991 年,旨在将日本的超洁净制造技术引入硅谷的半导体设备行业,于 2004 年在纳斯达克上市。超科林是主要面向半导体行业的关键子系统、组件和零件以及超高纯度清洁和分析服务的领先开发商和供应商。公司设有产品和服务两个部门:产品部门为其客户提供主要组件的集成外包解决方案、先进的流量控制解决方案和高精度制造;服务部门提供零部件清洁和涂层以及微污染分析服务。公司自成立以来,不断通
66、过收购进行垂直整合和横向拓展,通过丰富产品矩阵来贡献收入增速和利润率的提升。图表 31:超科林并购历程 资料来源:超科林公司官网,国盛证券研究所 超科林营收从 2016 年的 5.63 亿美元提升至 2021 年的 21.02 亿美元,CAGR 达 30%,高于半导体设备21%的复合增速。公司2022Q1来自Lam Research的营收占比达37%,应用材料占 23%,服务相关收入为 14%。2022 年 10 月 12 日 P.21 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 32:超科林营收过去五年 CAGR 达 30%图表 33:超科林产品业务增速快于服务业务 资料来源:B
67、loomberg,国盛证券研究所 资料来源:Bloomberg,国盛证券研究所 京鼎京鼎精密精密2001 年在中国台湾成立,目前在中国台湾、上海、昆山和美国均设有子公司。公司业务主要包括:半导体前道制程设备模组及零部件制造(蚀刻、薄膜、CMP 及检测设备)、半导体/工业自动化设备和医疗影像诊断设备。公司拥有业界领先的半导体设备垂直整合制造能力,产品包括零组件加工、真空腔体、子系统模组和整机组装,几乎涵盖了半导体设备所有制程。公司屡次获得应用材料颁发的最佳制造奖、最佳服务奖和卓越表现奖,2022 年公司获得应用材料入股,目前持股比例为 8.4%。公司营收连续五个季度实现增长,2022Q1 营收达
68、 34 亿新台币,创历史新高,环比增加1.1%,同比增加 26.4%。目前公司订单能见度已达年底,竹南二厂预计 2022Q3 进行投产。图表 34:京鼎营收和净利润情况 资料来源:Bloomberg,国盛证券研究所 Ferrotec公司 1980 年在东京成立,是国际知名的半导体产品与解决方案供应商,以磁性流体技术和磁流体密封技术为基石,半导体业务包括半导体材料(石英制品、陶瓷制品、硅加工件、气相沉积碳化硅产品)、半导体服务(设备配件清洗、晶圆再生)和半导体金属/设备(真空产品、金属加工、沉积设备)。真空密封产品是公司的明星产品,全球市场占有率达 65%,其使用了磁性流体以应用于真空下的轴承旋
69、转系统,被应用于半导体、FPD、LED、太阳能电池等各种制造设备领域。在半导体中起到将密闭空间与外-10%0%10%20%30%40%50%60%050002500200202021营收(百万美元)同比 0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20021服务 产品-60%-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%0500300350400450500200202021营收(百万美元)净利润(百万美元)同比 同比 2022 年 10 月 12
70、日 P.22 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 界阻隔的作用、防止垃圾及尘埃的进入,并且能够准确地向内部传达加工时必需的动力,主要用于溅镀设备、气相沉积设备、离子注入设备、蚀刻设备、外延生长设备等。图表 35:Ferrotec 营收和净利润情况 资料来源:Bloomberg,国盛证券研究所 -100%-50%0%50%100%150%200%250%300%350%400%0200400600800720021营收(百万美元)净利润(百万美元)同比 同比 2022 年 10 月 12 日 P.23 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本
71、报告末页声明 三、多维度打造研发体系,助力国产化乘风破浪三、多维度打造研发体系,助力国产化乘风破浪 3.1 研发费用保持高速增长,多维度打造完整研发体系研发费用保持高速增长,多维度打造完整研发体系 遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的规律,半导体设备和半导体设备精密零部件必须紧跟下游需求升级不断研发迭代。目前半导体设备正向 7 纳米和更先进工艺制程演进,相应对公司的研发能力提出更高要求。此外,对于同一代工艺制程,半导体设备企业也会不断升级产品,提升晶圆制造效率,公司须及时研发相匹配的精密零部件或对原有产品持续优化。公司紧跟行业趋势,不断加大研发费用,2021 年,公司研发费用 7419万元,
72、同比增长约 100%;2022H1 公司研发费用 4618 万元,同比增长 70.37%。图表 36:公司研发费用 资料来源:Wind,国盛证券研究所 核心技术人员保持稳定,研发人员占比不断提升。核心技术人员保持稳定,研发人员占比不断提升。公司近三年研发人员占比不断提升,2021 年公司研发人员 225 人,占公司总人数的 20.68%,较 2020 年增加 104 人,较 2019年占比提升约 5%。同时公司建立员工持股平台,深度绑定核心技术人员,近三年核心技术人员没有流失,助力公司打造稳定高效的研发体系。图表 37:公司研发人员及核心技术人员 2021 2020 2019 人数 占比 人数
73、 占比 人数 占比 研发人员 225 20.68%121 19.74%82 15.89%核心技术人员 7 0.64%7 1.14%7 1.36%员工总数 1,088 100.00%613 100.00%516 100.00%资料来源:公司公告,国盛证券研究所 0%20%40%60%80%100%120%00.20.40.60.820022H1研发费用(亿元)研发费用率(%)研发费用同比(%)2022 年 10 月 12 日 P.24 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 38:富创精密人员构成情况(人,%)图表 39:富创精密员工学历情况(人,%)资料来
74、源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 研发项目成果高效转化,在研项目助力未来发展。研发项目成果高效转化,在研项目助力未来发展。公司分别参与了两期国家“02 重大专项”,产出多项研发成果。同时公司紧跟半导体行业趋势,自主研发+合作研发并重,继续发起多项研发项目,确保公司在激烈的市场竞争中保持核心竞争力。图表 40:公司前十大在研项目均为自主研发项目 项目名称项目名称 主要目标主要目标 核心人员投入核心人员投入 技术水平技术水平 项目总预算项目总预算(万元)(万元)进展进展 应用领域应用领域 基于原子层沉积技术制备零部件保护薄膜研发项目 原子层沉积涂
75、层、铝合金材料国产化、材料高温性能研究 安朋娜、杨旭、王嘉雨 国内领先 8,730.00 30%表面处理特种 T艺的研发 气体流量控制器基座工艺技术研发项目 攻克精孔高粗糙度要求、台阶异形孔精密加工技术、不锈钢金属高耐腐蚀性技术要求、标准化操作、刀具管控等工艺标准开发、设计开发自动化产线 李吉亮、褚依辉、邵颖 国内领先 3,210.00 78%刻蚀及薄膜沉积设备 高端管路制造工艺研发项目 具备钛合金及高温合金材料零部件制造能力 武振周、林雪松、佟毅 国内领先 2,299.00 38%钛合金及高温合金工艺技术的研发 材料自动化焊接工艺研发项目 具备批量碳钢、不锈钢材料焊接能力,实现量立 宋秋风、
76、吴畏 国内领先 1,991.00 33%焊接工艺的优化 匀气盘类产品流量均匀性和超高洁净度技术研发项目 实现大批量稳定生产匀气盘、300mm 匀气盘通过客户上机验证;实现匀气盘孔径一致性、表面洁净度等技术突破 许国庆、赵长春 国内领先 1,850.00 84%薄膜沉积设备 全球战略客户产品研发项目 通过某客户首件产品验证,成为其合格供应商 楚显浩、潘虹 国内领先 990 62%薄膜沉积设备 高洁净度高真空半导体门阀研发项目 通过高端产品客户端验证,产品进入市场 姜小蛟、李加平 国内领先 921 46%刻蚀及薄膜沉积设备 离散制造的切削液集中供给系统研发项目 改善生产环境,保证切削液浓度的一致性
77、及切削液的及时供给,减少人员参与 张春堂、牛月强、郝运 国内领先 760 43%精密机械制造工艺优化 集成电路化学机械抛光设备关键零部件保持环制造工艺实现保持环量产,突破特种喷涂工艺瓶颈、实现抛光盘量产,实现托盘轴量产 郭月娥、张建华 国内领先 750 27%化学机械抛光设备 93,8%225,21%728,67%42,4%管理人员 研发人员 生产人员 销售人员 134,12%183,17%703,65%68,6%初中及以下 高中 大学(含大专)硕士及以上 2022 年 10 月 12 日 P.25 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 研发项目 离散制造的切屑收集及储运系统研发项
78、目 改善生产环境,提高切削液利用率,方便废屑储运,减少人员参与 张春堂、王福义 国内领先 702 43%精密机械制造工艺的优化 资料来源:公司公告,国盛证券研究所 三管齐下建立技术保护机制,确保核心技术掌握在手。三管齐下建立技术保护机制,确保核心技术掌握在手。首先,对于核心非专利技术(Know-How),公司根据工艺流程和技术细节安排不同人员负责,以控制掌握完整技术人员的范围。公司也建立了严格的保密制度,在与员工签订劳动合同时签订保密条款,以防因技术人员流动造成的核心技术泄密。其次,公司通过及时申请专利的方式,来保护公司在“02 重大专项”等重大研发项目中取得的相关技术研发成果。最后,通过实施
79、股权激励,公司主要技术研发人员均间接持有公司股份,技术研发人员积极性和粘性高。图表 41:公司不同类别产品对应核心技术 资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 3.2 三大技术三大技术+四项性能不断升级,四项性能不断升级,7nm 量产、量产、5nm 接力研发接力研发 公司围绕公司围绕精密机械制造精密机械制造、表面处理特种工艺表面处理特种工艺、焊接焊接三大核心技术持续研发,不断提升产三大核心技术持续研发,不断提升产品性能。品性能。公司半导体设备精密零部件产品具备高精密、高耐腐蚀、高洁净、耐击穿电压等性能,生产过程涵盖精密机械制造、表面处理科学、工程材料、电化学等多个领域和学科,是半导体设备
80、制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一,也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一。产品分类产品分类主要产品主要产品高精密多工高精密多工位复杂型面位复杂型面制造技术制造技术高精密徼孔高精密徼孔制造技术制造技术不锈钢超高不锈钢超高光洁度制造光洁度制造技术技术耐腐蚀阳极耐腐蚀阳极氧化技术氧化技术高洁净度精高洁净度精密清洗技术密清洗技术高性能化学高性能化学镀镍技术镀镍技术等离子喷涂等离子喷涂氧化钇涂层氧化钇涂层技术技术电子束焊接电子束焊接技术技术激光焊接技激光焊接技术术超洁净管路超洁净管路焊接技术焊接技术过渡腔过渡腔传输腔传输腔反应腔反应腔内衬内衬匀气盘匀气盘托盘轴托盘轴铸钢平台铸钢平台流量计底
81、座流量计底座定子冷却套定子冷却套 冷却板冷却板离子注入机离子注入机模组模组传输腔模组传输腔模组 过渡腔模组过渡腔模组 阀体模组阀体模组气柜模组气柜模组气体管路气体管路气体管路气体管路结构零部件结构零部件模组产品模组产品精密机械制造技术精密机械制造技术表面处理特种工艺技术表面处理特种工艺技术焊接技术焊接技术工艺零部件工艺零部件 2022 年 10 月 12 日 P.26 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 42:公司三大核心技术 图表 43:产品四大性能 资料来源:公司公告,国盛证券研究所 资料来源:公司公告,国盛证券研究所 公司制造工艺完备性业内少有公司制造工艺完备性业内少
82、有,7nm 零部件量产实现高端产品自主可控。零部件量产实现高端产品自主可控。公司在精密机械制造、表面处理特种工艺、组装、焊接等关键制造工艺上能力领先,已成为多家国内外知名半导体设备龙头厂商的合格供应商,部分匀气盘、腔体、内衬等高端产品已应用于客户 7 纳米制程的前道设备中。公司已累计通过客户 A 的 39 项大类特种工艺认证,在客户 A 的半导体设备精密零部件供应商中位居前列。图表 44:公司产品及对应制程 资料来源:公司公告,国盛证券研究所 2022 年 10 月 12 日 P.27 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 7nm 持续扩品类,持续扩品类,5nm 加速研制。加速研制
83、。公司未来将持续加大技术研发力度,不断扩大 7nm工艺制程的半导体设备精密零部件品类,并提升工艺水平以及产品性能;另一方面,公司加快研制 5nm 及更先进工艺制程的半导体设备精密零部件,持续跟进半导体设备工艺制程演进。公司也在积极参与客户新产品的设计开发,强化与客户联合开发,推进公司产品结构从单件定制化到模组化、再到复杂模块独立设计及制造的演进优化。3.3 国内需求强劲,募投扩产支撑高速增长国内需求强劲,募投扩产支撑高速增长 持续深化国际龙头半导体设备厂商合作,行业标杆效应明显持续深化国际龙头半导体设备厂商合作,行业标杆效应明显带动更多客户跟进带动更多客户跟进。目前,公司已进入国际知名半导体龙
84、头设备商以及国内主流半导体设备厂商的供应链体系。半半导体设备厂商对所选用的精密零部件要求导体设备厂商对所选用的精密零部件要求十分严十分严苛,一旦确定合作关系苛,一旦确定合作关系通常会通常会长期深度长期深度绑定;同时,一旦绑定;同时,一旦设备零部件产品设备零部件产品通过全球主流设备厂家认证,行业内其他厂家会相继通过全球主流设备厂家认证,行业内其他厂家会相继跟进跟进,广泛的客户基础为公司持续经营能力和整体抗风险能力提供了有力保障。国内销售增长迅猛国内销售增长迅猛,长期合作助力中国半导体设备厂商乘风破浪。,长期合作助力中国半导体设备厂商乘风破浪。公司早年通过国际龙头厂商认证,设备零部件主要出货海外设
85、备厂商。近几年随着国内设备公司快速崛起,设备国产化浪潮不断推进,公司乘势而上加大与国产设备厂商的合作力度,助力中国半导体设备自主可控进程。图表 45:中国大陆销售占比(%)资料来源:Wind,国盛证券研究所 南通、北京基地开工建设,南通、北京基地开工建设,募投项目注入成长动募投项目注入成长动能。能。本次发行募集资金拟投资的“集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地”项目将根据市场需求围绕公司主营业务进行建设,按照公司业务发展规划对现有业务进行拓展提升,新建具有较高自动化和信息化水平的全新生产线设备,扩大公司现有产品产能,提高产品技术含量,增强公司产品市场竞争力。图表 46:IPO 募投项目 序
86、号序号 项目名称项目名称 投资金额投资金额(万元)(万元)使用募集资金金额使用募集资金金额(万元)(万元)1 集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地 100,000.00 100,000.00 2 补充流动资金 60,000.00 60,000.00 合计 160,000.00 160,000.00 资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 0%10%20%30%40%50%20021中国大陆销售占比 中国大陆销售占比 2022 年 10 月 12 日 P.28 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 为扩大半导体设备精密零部件制造产能,公司于 2020
87、年开始新建位于沈阳市浑南区飞云路的沈阳新厂房项目并于 2021 年末建设完成。由于产能无法满足长远需求,公司规划启动南通和北京两地扩产项目,进一步提升半导体设备精密零部件产能,其中南通厂房为本次上市募投项目。公司也在持续采购配套机器设备,确保产能如期投产。未来公未来公司将形成沈阳、北京、南通三大生产基地,有效实现国内和海外客户产能全覆盖。司将形成沈阳、北京、南通三大生产基地,有效实现国内和海外客户产能全覆盖。图表 47:南通募投项目相关信息 公司名称公司名称 南通富创精密制造有限公司南通富创精密制造有限公司 项目概况 本项目新建精密机械制造、焊接、表面处理特种工艺、钣金、管路、组装生产线,并搭
88、建智能信息化管理平台,打造具备核心技术能力的集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地 项目计划总投资 100,000.00 万元 项目建设期 2 年 建设地点 江苏省南通市南通高新技术产业开发区 总建设面积 89,050.95 m2 总用地面积约 171 亩(114,047 m2)资料来源:公司公告,国盛证券研究所 四、盈利预测及投资建议四、盈利预测及投资建议 工艺零部件及结构零部件:工艺零部件及结构零部件:富创精密是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商,2011 年起陆续进入客户 A、东京电子、HITACHI High-Tech 和 ASMI 等全球半导
89、体设备龙头厂商供应链体系。近年来半导体设备国产化背景下,公司持续扩展国内市场,目前产品已经进入北方华创、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微等主流国产半导体设备制造商。当前全球零部件行业高景气,我们在盈利预测模型中假设国产化持续推进,国产供应商份额不断提升,因此我们预计公司半导体零部件业务有望实现高速增长。模组产品和气体管路:模组产品和气体管路:相对零部件,模组产品和气体管路是公司拓展的新产品品类,公司选择的产品型号标准化程度较高,通过验证后较易于批量供应。公司模组产品已经从提供简单模组提升到组装复杂腔体模组和刻蚀阀体模组,产品持续得到客户认可,因此我们预计未来 ASP 将继续呈增长趋势;公司
90、多种气体管路产品通过客户 A、北方华创等核心客户认证后,持续量产供货,销量及收入高速增长,我们预计随着公司工艺不断精进,市场份额有望持续提升。毛利率方面,未来随着公司营收体量的不断增长,我们预计公司各业务毛利率呈现稳步提升趋势。我们预计公司将在 2022 年至 2024 年实现收入 14.2/21.9/32.5 亿元,归母净利润2.26/3.61/5.34 亿元,对应当前估值 97.9/61.3/41.4x。2022 年 10 月 12 日 P.29 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 48:富创精密盈利预测(万元)2019 2020 2021 2022E 2023E 20
91、24E 工艺零部件营收 6,661.8 11,693.2 17,833.9 31,209.4 48,374.5 72,561.8 yoy 75.5%52.5%75.0%55.0%50.0%毛利率 22.8%36.0%34.0%35.0%35.5%36.0%结构零部件营收 11,830.9 19,682.4 35,207.7 58,092.6 87,138.9 126,351.5 yoy 66.4%78.9%65.0%50.0%45.0%毛利率 18.2%35.4%32.4%33.5%34.0%34.5%模组产品营收 5,875.6 10,036.1 16,123.8 26,604.3 42,5
92、66.9 63,850.3 yoy 70.8%60.7%65.0%60.0%50.0%毛利率 6.2%14.2%22.2%24.0%25.0%25.0%气体管路营收 557.9 5,890.2 13,783.6 23,432.1 37,491.3 58,111.5 yoy 955.9%134.0%70.0%60.0%55.0%毛利率-0.3%35.0%33.9%35.0%36.0%36.0%其他业务营收 409.0 820.0 1,363.9 2,182.2 3,273.3 4,255.3 yoy 100.5%66.3%60.0%50.0%30.0%营业总收入 25,335.6 48,134.
93、7 84,317.3 141,524.6 218,848.5 325,133.7 yoy 90.0%75.2%67.8%54.6%48.6%综合毛利率 17.2%31.6%32.0%33.4%35.3%37.3%资料来源:富创精密招股说明书,国盛证券研究所 估值方面,我们选择了新莱应材、江丰电子、万业企业这几家同样拥有半导体零部件业务的厂商进行估值对比。新莱应材的高洁净净应用材料和高纯及超高纯应用材料产品,用于需要无菌、真空、无尘的环境,下游应用领域包括半导体、光电、光伏、生物医药、精细化工、食品饮料等行业,2021 年公司总营收 20.5 亿元中,泛半导体类业务收入 5.3 亿元,占比 25
94、.9%。江丰电子主业为高纯溅射靶材,2017 年开始切入半导体精密零部件领域,近年来持续加大投入,构建了包括超精密加工、特种焊接、表面处理、超级净化清洗等在内的全工艺、全流程生产体系,与国内半导体设备龙头北方华创、拓荆科技等多家厂商达成战略合作,新产品加速放量。2021 年江丰电子半导体零部件营收 1.84 亿元,占总收入比重 11.6%。万业企业 2021 年营收 8.8 亿元,公司 2020 年通过境内外财团收购全球领先的半导体气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方案供应商肯发,成为其第一大股东,2021年浙江镨芯营收约 9.2 亿元,公司持有其 29.63%股权比例。富创精密产品主要
95、为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件,2021 年公司总营收 8.4 亿元,其中主营业中用于半导体设备的收入为 7.3 亿元,占总营收的 86.8%,应用于非半导体设备的收入 9772.5 万元,非半导体设备主要为液晶面板制程的泛半导体设备。从半导体零部件业务营收规模及占比来看,富创精密半导体零部件营收国内领先,在总营收中占比较高。虽然富创精密 PE 估值高于可比公司,但我们从产品、市场、业务布局、营收业绩增长等多个角度进行剖析,富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业,也是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司率先进入众多海外设备厂商
96、供应链体系,国产替代背景下进一步导入国内主流设备厂商,从而实现营收业绩连续高增。富创精密质地优异,有望在全球及国内占据更大市场,应当享有估值溢价。考虑到公司当前赛道选择及自身产品在国内的稀缺性,以及公司业务中半导体零部件高占比,未来具备高成长性,首次覆盖,予以“买入”评级。2022 年 10 月 12 日 P.30 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 49:可比公司估值(2022 年 10 月 10 日收盘价,可比公司归母净利润预测取万得一致预期,亿元)公司公司 市值市值 归母净利润归母净利润 PE(X)2022E 2023E 2024E 2022E 2023E 2024E
97、 新莱应材 181.6 3.5 5.0 6.7 52.4 36.3 27.2 江丰电子 218.1 2.8 3.9 5.1 78.9 56.1 42.7 万业企业 174.1 4.8 6.0 7.1 36.3 28.9 24.4 平均 55.9 40.4 31.4 富创精密 221.0 2.3 3.6 5.3 97.9 61.3 41.4 资料来源:Wind,国盛电子测算,国盛证券研究所 五、五、风险提示风险提示 市场竞争市场竞争加剧加剧的风险的风险 基于半导体设备精密零部件行业资本及技术密集的特点,若公司不能增强技术储备、提高经营规模、增强资本实力,在行业全球化竞争中,可能导致公司市场竞争力
98、下降、经营业绩下滑。新产品新产品研发研发不及预期不及预期的风险的风险 若公司产品研发不能及时满足客户工艺制程演进,不能紧跟客户产品的更新迭代,公司的行业地位和未来经营业绩将受到不利影响。国际贸易摩擦国际贸易摩擦加剧加剧的风险的风险 报告期内,公司对最终客户为美国客户的销售占比较高,分别占营业收入的 76.74%、74.75%和 58.61%。2018 年,美国政府对原产于中国的特定进口产品(含公司产品)开始加征关税。若未来中美贸易摩擦进一步加剧,不排除美国政府将继续加征关税、设臵进口限制条件或其他贸易壁垒,进而对公司的经营和发展带来不利影响。2022 年 10 月 12 日 P.31 请仔细阅
99、读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 免责声明免责声明 国盛证券有限责任公司(以下简称“本公司”)具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格。本报告仅供本公司的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为客户。在任何情况下,本公司不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任。本报告的信息均来源于本公司认为可信的公开资料,但本公司及其研究人员对该等信息的准确性及完整性不作任何保证。本报告中的资料、意见及预测仅反映本公司于发布本报告当日的判断,可能会随时调整。在不同时期,本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息及资料保持在最新状态,对本报
100、告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改,投资者应当自行关注相应的更新或修改。本公司力求报告内容客观、公正,但本报告所载的资料、工具、意见、信息及推测只提供给客户作参考之用,不构成任何投资、法律、会计或税务的最终操作建议,本公司不就报告中的内容对最终操作建议做出任何担保。本报告中所指的投资及服务可能不适合个别客户,不构成客户私人咨询建议。投资者应当充分考虑自身特定状况,并完整理解和使用本报告内容,不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。投资者应注意,在法律许可的情况下,本公司及其本公司的关联机构可能会持有本报告中涉及的公司所发行的证券并进行交易,也可能为这些公司正在提供或争取提供投资银行、财务顾
101、问和金融产品等各种金融服务。本报告版权归“国盛证券有限责任公司”所有。未经事先本公司书面授权,任何机构或个人不得对本报告进行任何形式的发布、复制。任何机构或个人如引用、刊发本报告,需注明出处为“国盛证券研究所”,且不得对本报告进行有悖原意的删节或修改。分析师声明分析师声明 本报告署名分析师在此声明:我们具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格或相当的专业胜任能力,本报告所表述的任何观点均精准地反映了我们对标的证券和发行人的个人看法,结论不受任何第三方的授意或影响。我们所得报酬的任何部分无论是在过去、现在及将来均不会与本报告中的具体投资建议或观点有直接或间接联系。投资评级说明投资评级说明 投
102、资建议的评级标准投资建议的评级标准 评级评级 说明说明 评级标准为报告发布日后的 6 个月内公司股价(或行业指数)相对同期基准指数的相对市场表现。其中 A 股市场以沪深 300 指数为基准;新三板市场以三板成指(针对协议转让标的)或三板做市指数(针对做市转让标的)为基准;香港市场以摩根士丹利中国指数为基准,美股市场以标普 500 指数或纳斯达克综合指数为基准。股票评级 买入 相对同期基准指数涨幅在 15%以上 增持 相对同期基准指数涨幅在 5%15%之间 持有 相对同期基准指数涨幅在-5%+5%之间 减持 相对同期基准指数跌幅在 5%以上 行业评级 增持 相对同期基准指数涨幅在 10%以上 中
103、性 相对同期基准指数涨幅在-10%+10%之间 减持 相对同期基准指数跌幅在 10%以上 国盛证券研究所国盛证券研究所 北京北京 上海上海 地址:北京市西城区平安里西大街 26 号楼 3 层 邮编:100032 传真: 邮箱: 地址:上海市浦明路 868 号保利 One56 1 号楼 10 层 邮编:200120 电话: 邮箱: 南昌南昌 深圳深圳 地址:南昌市红谷滩新区凤凰中大道 1115 号北京银行大厦 邮编:330038 传真: 邮箱: 地址:深圳市福田区福华三路 100 号鼎和大厦 24 楼 邮编:518033 邮箱: