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1、 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 证券研究报告 | 首次覆盖报告 2022 年 04 月 20 日 凯美特气凯美特气（002549.SZ） 食品级食品级液体液体二氧化碳龙头，电子特气二氧化碳龙头，电子特气贡献贡献新增长动力新增长动力 深耕气体行业三十余年，深耕气体行业三十余年，盈利水平居行业前列盈利水平居行业前列。凯美特气成立于 1991 年，以石油化工尾气（废气） 、火炬气为原料，生产和销售工业气体、医用气体、标准气体、特种气体、混合气体、食品添加剂气体、电子化学品等气体产品。2021 年公司营收同比增长28.7%至6.68亿元， 归母净利润同比大幅增长92.3%至1.39

2、亿元， 毛利率42.0%，净利率 20.8%，均位于行业前列。2018 年公司成立岳阳凯美特电子特种稀有气体公司，布局电子气体，生产高纯度二氧化碳、氦气、氖气、氩气、氟氩氖、氟氪氖等半导体、面板、航天、医疗等领域急需的超高纯气体和多元混配气。 电子特气需求空间大，拉开进口替代序幕电子特气需求空间大，拉开进口替代序幕。根据 Techcet，预计 2022 年全球电子气体市场规模有望达到 70 亿美金，其中特气约 50 亿美金，电子大宗气体 20 亿美金。2020 年中国大陆电子特气市场规模达到 173.6 亿元，未来随着国内下游晶圆厂产能扩充、制程升级以及全球面板产能不断向大陆转移，有望对我国电

3、子气体需求带来持续强劲的拉动。当前由于技术、资金等壁垒，国内市场由海外龙头公司主导，海外大型气体公司占据了 80%以上的市场份额， 近年来国产厂商在电气特气领域持续突破，充分受益于大陆电子特气市场不断增长及国产化率不断提升的趋势，增长动力充足。 二氧化碳业务地位稳固，优势明显。二氧化碳业务地位稳固，优势明显。液体二氧化碳产品一直是公司最主要的收入来源，2021 年相关收入 2.85 亿元，毛利率达到 52.4%。原料：原料：“双碳”背景下公司与上游能化龙头企业形成稳固合作关系，确保稳定供应。客户：客户：公司是可口可乐、百事可乐在中国的策略供应商，高纯度、质量稳定的气体产品已得到食品饮料及工业界

4、广大客户认可，大多数已发展为长约客户。产能布局：产能布局：生产线广泛布局于相关食品饮料需求旺盛的南方市场，解决二氧化碳运输半径及运输成本问题。 原料保障、产能建设、产品放量及认证多线并进，电子特气业务有望成为公司新增原料保障、产能建设、产品放量及认证多线并进，电子特气业务有望成为公司新增长源。长源。原料：原料：公司将通过自产、与上游深度合作等方式实现二氧化碳、稀有气体原气等原料的自供。产线：产线：岳阳电子特气项目可生产超高纯度二氧化碳、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氯化氢基准分子激光配气等；宜章电子特气项目建设公司将增加高纯氯化氢、氟化氢、溴化氢等，完善公司产品体系。放量情况：放量情况：202

5、1 年实现高纯氪气氙气氖气销售共 1938 万元，2022 年 3 月签订价值 4500 万元氖气销售合同，电子特气将成为公司未来利润增长重要驱动。认证：认证：二氧化碳、氪、氙产品已通过法国液化空气认证，用于 ExciStar 激光器的 193nm 激光混配气已通过美国相干的设备测试，同时混配气产品在阿斯麦、大阳日酸等厂商认证在有序推进。我们预计公司 2022/2023/2024 年实现营收 10.1/15.5/18.0 亿元，归母净利润 3.0/5.4/6.5 亿元，对应 PE 28.8/15.9/13.4x，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示风险提示：新冠疫情、经济周期波动等因素导致下

6、游需求不及预期、新产品研发及客户认证不及预期 财务财务指标指标 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 519 668 1,010 1,548 1,803 增长率 yoy（%） 0.8 28.7 51.3 53.3 16.5 归母净利润（百万元） 72 139 300 544 646 增长率 yoy（%） -19.1 92.3 116.5 80.9 18.8 EPS 最新摊薄（元/股） 0.12 0.22 0.48 0.87 1.04 净资产收益率（%） 7.4 12.7 21.7 28.9 25.8 P/E（倍） 119.9 62.3 28.8 15.

7、9 13.4 P/B（倍） 8.8 8.0 6.2 4.6 3.5 资料来源：Wind，国盛证券研究所 注：股价为 2022 年 4 月 20 日收盘价 买入买入（首次首次） 股票信息股票信息 行业 化学制品 4 月 20 日收盘价(元) 14.27 总市值(百万元) 8,900.20 总股本(百万股) 623.70 其中自由流通股(%) 99.58 30 日日均成交量(百万股) 14.95 股价走势股价走势 作者作者 分析师分析师 郑震湘郑震湘 执业证书编号：S0680518120002 邮箱： 分析师分析师 王席鑫王席鑫 执业证书编号：S0680518020002 邮箱： 分析师分析师 佘

8、凌星佘凌星 执业证书编号：S0680520010001 邮箱： 相关研究相关研究 -41%-21%0%21%41%62%82%103%123%--04凯美特气沪深300 2022 年 04 月 20 日 P.2 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 财务报表和主要财务比率财务报表和主要财务比率 资产负债表（资产负债表（百万元） 利润表利润表（百万元） 会计会计年度年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 会计年度会计年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 流动资产流动资产 658 73

9、4 679 659 1117 营业收入营业收入 519 668 1010 1548 1803 现金 438 441 309 225 679 营业成本 325 387 502 687 788 应收票据及应收账款 53 67 114 164 160 营业税金及附加 6 8 12 18 20 其他应收款 5 4 9 11 12 营业费用 26 29 42 65 76 预付账款 8 4 14 14 19 管理费用 74 83 111 147 170 存货 27 30 44 57 59 研发费用 33 43 59 90 110 其他流动资产 127 188 188 188 188 财务费用 13 12

10、-4 -7 -13 非流动资产非流动资产 968 939 1329 1929 2081 资产减值损失 0 0 0 0 0 长期投资 0 0 0 0 0 其他收益 33 27 35 40 32 固定资产 815 767 1124 1670 1804 公允价值变动收益 0 1 0 0 0 无形资产 92 89 88 89 91 投资净收益 6 4 5 6 5 其他非流动资产 62 83 116 170 186 资产处置收益 0 -1 0 0 0 资产资产总计总计 1626 1673 2007 2588 3198 营业利润营业利润 81 136 328 594 691 流动负债流动负债 455 46

11、1 474 506 529 营业外收入 1 0 2 3 1 短期借款 320 310 310 310 310 营业外支出 1 0 1 1 1 应付票据及应付账款 59 47 90 97 117 利润总额利润总额 81 137 328 595 691 其他流动负债 76 104 74 98 102 所得税 9 -2 26 46 43 非流动非流动负债负债 191 123 143 181 154 净利润净利润 72 138 302 549 648 长期借款 156 93 113 152 124 少数股东损益 0 0 2 5 2 其他非流动负债 35 30 30 30 30 归属母公司净利润归属母公

12、司净利润 72 139 300.46 543.56 645.66 负债合计负债合计 646 584 616 687 683 EBITDA 196 255 449 783 931 少数股东权益 2 1 3 8 10 EPS（元/股） 0.12 0.22 0.48 0.87 1.04 股本 624 624 624 624 624 资本公积 40 40 40 40 40 主要主要财务比率财务比率 留存收益 306 413 580 912 1353 会计会计年度年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 归属母公司股东权益 978 1087 1388 1892 2505 成长能力

13、成长能力 负债负债和股东权益和股东权益 1626 1673 2007 2588 3198 营业收入（%） 0.8 28.7 51.3 53.3 16.5 营业利润（%） -21.1 67.9 140.1 81.3 16.3 归属母公司净利润（%） -19.1 92.3 116.5 80.9 18.8 获利获利能力能力 毛利率（%） 37.4 42.0 50.3 55.6 56.3 现金现金流量流量表表（百万元） 净利率（%） 13.9 20.8 29.8 35.1 35.8 会计年度会计年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E ROE（%） 7.4 12.7 21.7

14、28.9 25.8 经营活动现金流经营活动现金流 160 254 373 660 873 ROIC（%） 5.7 9.5 16.7 23.2 21.8 净利润 72 138 302 549 648 偿债偿债能力能力 折旧摊销 98 107 110 173 230 资产负债率（%） 39.7 34.9 30.7 26.6 21.4 财务费用 13 12 -4 -7 -13 净负债比率（%） 12.6 5.1 12.4 16.4 -6.6 投资损失 -6 -4 -5 -6 -5 流动比率 1.4 1.6 1.4 1.3 2.1 营运资金变动 -17 14 -29 -48 14 速动比率 1.2 1

15、.5 1.2 1.1 1.9 其他经营现金流 -1 -13 0 0 0 营运能力营运能力 投资活动投资活动现金流现金流 -14 -137 -495 -766 -376 总资产周转率 0.3 0.4 0.5 0.7 0.6 资本支出 55 78 390 600 152 应收账款周转率 10.0 11.1 11.1 11.1 11.1 长期投资 0 0 0 0 0 应付账款周转率 4.9 7.4 7.4 7.4 7.4 其他投资现金流 41 -59 -105 -166 -224 每股指标（元）每股指标（元） 筹资筹资活动现金流活动现金流 -83 -106 -11 23 -43 每股收益（最新摊薄）

16、 0.12 0.22 0.48 0.87 1.04 短期借款 60 -10 0 0 0 每股经营现金流（最新摊薄） 0.26 0.41 0.60 1.06 1.40 长期借款 -43 -63 20 39 -27 每股净资产（最新摊薄） 1.57 1.74 2.23 3.03 4.02 普通股增加 0 0 0 0 0 估值估值比率比率 资本公积增加 -2 0 0 0 0 P/E 119.9 62.3 28.8 15.9 13.4 其他筹资现金流 -99 -33 -31 -16 -16 P/B 8.8 8.0 6.2 4.6 3.5 现金净增加额现金净增加额 62 11 -132 -83 454

17、EV/EBITDA 44.5 33.5 19.3 11.3 9.0 资料来源：Wind，国盛证券研究所 注：股价为 2022 年 4 月 20 日收盘价 zWcZmUkVlYiYhXsVkW6MbP6MnPmMnPoMjMrRnRjMoMpOaQoOyQNZsPnRNZnMqM 2022 年 04 月 20 日 P.3 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 内容目录内容目录 一、食品级液体二氧化碳领军者，进军电子特气 . 5 1.1 深耕气体行业三十余年 . 5 1.2 业绩大幅增长，电子特气带来新增长动力 . 6 1.3 定增扩产完善产品布局，股权激励彰显信心 . 9 二、电子特

18、气，需求空间大，拉开进口替代序幕 . 10 2.1 电子特气是半导体行业的基础原材料 . 10 2.2 市场需求空间大，拉开进口替代序幕 . 14 三、传统气体业务地位稳固，电子特气业务支撑增长. 17 3.1 传统气体：国内二氧化碳龙头厂商优势明显 . 17 3.2 电子特气：原料保障、产能建设、产品放量及认证多线并进 . 18 四、盈利预测 . 20 五、风险提示 . 22 图表目录图表目录 图表 1：凯美特气发展历程 . 5 图表 2：公司所处产业链情况 . 5 图表 3：公司各分子公司主营产品及 2021 年财务情况（亿元） . 6 图表 4：公司股权结构（2022.4.10） . 6

19、 图表 5：公司营收及增速（亿元） . 7 图表 6：公司扣非归母净利润及增速（亿元） . 7 图表 7：公司归母净利润及增速 . 7 图表 8：公司毛利率及净利率 . 7 图表 9：近五年公司各类产品收入（亿元） . 8 图表 10：公司液体二氧化碳及氢气产品毛利率 . 8 图表 11：公司毛利率位于行业前列 . 8 图表 12：公司扣非净利率位于行业上游 . 8 图表 13：公司研发支出情况（亿元） . 9 图表 14：公司研发费用率位于行业前列 . 9 图表 15：公司定增募投项目情况（万元） . 9 图表 16：公司 2022 年限制性股票激励计划情况（万股） . 10 图表 17：2

20、022 年限制性股票激励成本摊销情况（万元） . 10 图表 18：高纯电子特气市场格局（按应用） . 11 图表 19：气体按纯度分类 . 11 图表 20：电子特气按用途分类 . 12 图表 21：电子特气在晶圆制造中的应用 . 12 图表 22：MOCVD 制备氮化镓器件的流程 . 13 图表 23：四氟化碳用于等离子刻蚀气体 . 13 图表 24：掺杂的扩散和离子注入两种工艺 . 14 图表 25：硅的气相外延过程会用到硅烷 . 14 图表 26：全球半导体材料市场规模 . 14 图表 27：2018 年全球晶圆制造材料成本构成 . 15 图表 28：全球电子特气市场规模（亿美金） .

21、 15 图表 29：全球电子气体市场规模及预测（百万美元） . 15 2022 年 04 月 20 日 P.4 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 30：我国电子特气市场规模（亿元） . 16 图表 31：我国电子气体市场格局（2020 年） . 16 图表 32：芯片尺寸与气体纯度关系 . 16 图表 33：公司已形成稳定的三级客户结构 . 18 图表 34：公司产线广泛分布于南方市场 . 18 图表 35：公司电子特气项目建设规划 . 19 图表 36：公司电子特气产品认证情况 . 20 图表 37：2021 年至今公司披露的电子特气销售订单 . 20 图表 38：凯美

22、特气盈利预测（万元） . 21 图表 39：可比公司估值对比（总市值取 2022 年 4 月 15 日收盘价，凯美特气盈利预测为国盛电子测算，可比标的盈利预测取 Wind 一致预期，亿元） . 21 2022 年 04 月 20 日 P.5 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 一一、食品级液体二氧化碳领军者，进军电子特气食品级液体二氧化碳领军者，进军电子特气 1.1 深耕气体行业深耕气体行业三十余年三十余年 凯美特气成立于 1991 年，于 2011 年在深圳证券交易所挂牌上市，成立至今在湖南岳阳长岭、广东惠州、安徽安庆、海南海口、福建泉州等地成立有分子公司。公司主营业务为以石油

23、化工尾气 （废气） 、 火炬气为原料， 生产和销售工业气体、 医用气体、 标准气体、特种气体、混合气体、食品添加剂气体、电子化学品等气体产品，各类产品广泛覆盖饮料、冶金、食品、烟草、石油、农业、化工、电子等多个领域。 图表 1：凯美特气发展历程 资料来源：公司官网，公司公告，国盛证券研究所 图表 2：公司所处产业链情况 资料来源：国盛电子根据公司公告整理，国盛证券研究所 多地设立分子公司， 完善传统气体多地设立分子公司， 完善传统气体+电子电子特气特气布局。布局。 公司岳阳总部及惠州、 安庆、 长岭、海南、福建的凯美特气体分公司主要生产传统应用气体，如二氧化碳、氢气、氧气、氮气、戊烷等；201

24、8 年公司成立岳阳凯美特电子特种稀有气体公司，布局电子特气市场，生产高纯度二氧化碳、氦气、氖气、氩气、氟氩氖、氟氪氖等半导体、面板、航天、医疗等领域广泛应用的超高纯气体和多元混配气。 2022 年 04 月 20 日 P.6 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 3：公司各分子公司主营产品及 2021 年财务情况（亿元） 分子公司分子公司 主营主营产品产品 2021 年营收年营收 2021 年净利润年净利润 惠州凯美特 二氧化碳、干冰 1.13 0.24 安庆凯美特 二氧化碳、氢气、戊烷、液化气 1.90 0.52 岳阳长岭凯美特 氢气、可燃气(甲烷) 0.43 -0.04

25、海南凯美特 二氧化碳、氢气、可燃气（工业瓦斯、解析气、甲烷氢、一氧化碳） 1.00 0.30 福建凯美特 二氧化碳、氢气、可燃气（工业瓦斯、解析气、甲烷氢、一氧化碳） 1.00 0.22 岳阳凯美特电子特气 电子特气 0.18 -0.13 资料来源：公司公告，国盛证券研究所 董事长祝恩福先生直接及间接控制公司董事长祝恩福先生直接及间接控制公司 42.22%的股份，为公司实控人。的股份，为公司实控人。根据 Wind，浩讯科技为公司第一大股东，持有公司 41.66%的股份，其中祝恩福先生持有浩讯科技90%股份，为其实控人，同时祝恩福先生直接持有公司 0.56%的股份，总计直接及间接控制公司 42.

26、22%的股份，为公司实际控制人。公司第二大股东为湖南省财信资产管理有限公司，持有公司 7.45%股份，且浩讯科技将其所持公司股份中的 1 亿股（占公司总股本的 16.03%）质押于财信资产。公司前十大股东中，财信常勤壹号为财信资产、财信精信一致行动人，三者合计持有公司 19.68%股份。 图表 4：公司股权结构（2022.4.10） 资料来源：Wind，国盛证券研究所 1.2 业绩大幅增长，电子特气带来新增长动力业绩大幅增长，电子特气带来新增长动力 2021 年营收同比增长近三成，扣非归母净利润年营收同比增长近三成，扣非归母净利润倍增。倍增。受益于公司各类产品全面增长，以及电子特气新产品形成收

27、入，且新冠疫情对公司产销活动的影响缓解，2021 年公司营收同比增长 28.7%至 6.68 亿元，扣非归母净利润同比增长 124.3%至 1.26 亿元。 2022 年 04 月 20 日 P.7 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 5：公司营收及增速（亿元） 图表 6：公司扣非归母净利润及增速（亿元） 资料来源：Wind，国盛证券研究所 资料来源：Wind，国盛证券研究所 盈利水平维持高位盈利水平维持高位，扣非扣非净利率创近净利率创近五五年新高。年新高。随着公司产品结构优化，液化气毛利率修复，2021 年公司毛利率及扣非净利率均较 2020 年回升，毛利率从 2020

28、年的 37.4%回升至 42.0%，扣非净利率从 2020 年的 10.8%提升至 18.9%。 图表 7：公司归母净利润及增速 图表 8：公司毛利率及净利率 资料来源：Wind，国盛证券研究所 资料来源：Wind，国盛证券研究所 液体二氧化碳为公司收入最大来源，液体二氧化碳为公司收入最大来源，毛毛利率超利率超 50%。液体二氧化碳产品一直是公司最主要的收入来源，2021 年相关收入达 2.85 亿元，由于根据会计准则处理规则将运营费用计入成本，毛利率与之前毛利率略有降低，但仍超过 50%达到 52.4%。氢气为公司开拓近十年的产品， 是公司的第二大营收来源， 2021 年氢气收入再创新高达到

29、 1.57 亿元。 0%10%20%30%40%50%60%70%0720021营业总收入同比-50%0%50%100%150%200%250%0.00.20.40.60.81.01.21.4200202021扣非归母净利润同比-40%-20%0%20%40%60%80%100%00.20.40.60.811.21.41.6200192020归母净利润(亿元)yoy0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%200202021毛利率扣非净利率 2022 年 04 月

30、20 日 P.8 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 9：近五年公司各类产品收入（亿元） 图表 10：公司液体二氧化碳及氢气产品毛利率 资料来源：Wind，国盛证券研究所 资料来源：Wind，国盛证券研究所 与行业内代表公司相比，公司毛利率及扣非净利率均位于上游。与行业内代表公司相比，公司毛利率及扣非净利率均位于上游。公司主营业务为液体二氧化碳，上游石化尾气供应稳定，在主要目标市场均有产线布局，二氧化碳运输成本得以降低，下游食品级客户均为食饮类大型厂商，价格及需求量稳定，工业级客户为大型汽车机械客户，公司产品能够满足客户的高标准，价格高于一般市场价格。因此公司液体二氧化碳产

31、品盈利能力能够一直维持较高水平，支撑公司毛利率及扣非净利率在行业内维持较高水平。 图表 11：公司毛利率位于行业前列 图表 12：公司扣非净利率位于行业上游 资料来源：Wind，国盛证券研究所 资料来源：Wind，国盛证券研究所 研发投入不断增加研发投入不断增加，研发费用率研发费用率位于行业前列位于行业前列。2021 年公司福建凯美特、岳阳电子气体子公司归集研发费用，且公司进一步增加研发投入，研发费用 0.43 亿元，研发费用率达6.4%，截至 2021 年 12 月 31 日，公司共有员工 705 人，其中研发技术人员 160 人，占比 22.7%。与行业内代表公司相比，公司研发费用率处行业

32、先列。 0501920202021液体二氧化碳氢气液化气燃料气加工费戊烷氧、氮气氩气干冰氪气氙气氖气混合气甲烷其他业务0%10%20%30%40%50%60%70%80%200202021液体二氧化碳氢气0%10%20%30%40%50%60%200202021凯美特气金宏气体华特气体和远气体0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%20%200202021凯美特气金宏气体华特气体和远气体 2022 年 04 月 20 日 P.9 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 13：公司研

33、发支出情况（亿元） 图表 14：公司研发费用率位于行业前列 资料来源：Wind，国盛证券研究所 资料来源：Wind，国盛证券研究所 1.3 定增扩产完善产品布局，股权激励彰显信心定增扩产完善产品布局，股权激励彰显信心 公司拟通过定增募集 10 亿元，结合自筹资金共 12.7 亿余元投资于宜章凯美特特种气体项目及福建凯美特 30 万吨/年高洁净食品、电子级过氧化氢项目，其中宜章特气项目拟投资 7.5 亿余元，福建高洁净过氧化氢项目拟投资 5.2 亿余元。 宜章电子特气项目：宜章电子特气项目：在岳阳电子特气项目基础上，生产电子级氯化氢、电子级溴化氢、电子级碘化氢、氟基混配气、五氟化锑、电子级三氟化

34、氯、电子级碳酰氟、电子级乙炔、氘气等产品，进一步完善公司电子特气产品布局，形成行业内具有较大影响力的专业电子特气和混配气体研发及生产加工基地。 福建高洁净过氧化氢项目福建高洁净过氧化氢项目：1）产品方案包括电子级、食品级、工业级稀品和工业级浓品双氧水四类。2）项目利用福建联合石油化工有限公司 IGCC 装置产生的氢气作为原料气，依托福建园区现有的工程及配套设施，可提升公司内部的能源资源利用效率。3）公司借鉴电子特气项目中对半导体行业的理解，确保电子级双氧水高端产品的制造及市场开拓在严苛的前端纯化、后段包装、产品验证、运输控制等关键环节百之分百达到半导体行业水准，且可根据市场供需情况相应调整各产

35、品的实际产量，具有较强的灵活性，有利于提高企业的市场占有率。 图表 15：公司定增募投项目情况（万元） 项目名称项目名称 投资总额投资总额 拟投入募集资金金额拟投入募集资金金额 税后内部收益率税后内部收益率 税后投资回收期税后投资回收期 宜章凯美特特种气体项目 75,185.23 57,000 27.85% 6.84 年 （含建设期 3 年） 福建凯美特过氧化氢项目 52,144.49 43,000 12.86% 8.26 年 （含建设期 3 年） 合计 127,329.72 100,000 资料来源：公司公告，国盛证券研究所 股权激励考核目标彰显公司信心。股权激励考核目标彰显公司信心。 公司

36、拟向高级管理人员、 中层管理人员、 核心技术 （业务） 人员等激励对象授予不超过 1900.0 万股限制性股票， 占激励计划签署时公司总股本的 3.05%，其中首次授予 1670.0 万股，占激励计划草案公告时公司总股本的 2.68%；预留 230.0 万股，占激励计划草案公告时公司总股本的 0.37%，预留部分占本次授予权益总额的 12.11%。按照此次股权激励草案公告公告前一交易日的收盘价预测算，此次0.21 0.24 0.30 0.33 0.43 5.0%4.7%5.9%6.3%6.4%0%1%2%3%4%5%6%7%0.00.10.20.30.40.5200202

37、021研发费用研发费用率0%1%2%3%4%5%6%7%200202021凯美特气金宏气体华特气体和远气体 2022 年 04 月 20 日 P.10 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 股权激励成本为约 1.42 亿元 此次股权激励预案中设置了 2022-2024 年业绩考核目标， 三年净利润分别不低于 1.8 亿、2.5 亿、3.5 亿元，在 2021 年公司 1.38 亿元基础上，年复合增长率达到 36.4%，我们预计未来除了传统业务保持稳定增长外，逐渐放量的电子特气产品也将为公司贡献利润增量。 图表 16：公司 2022 年限制性股票激励计划情况（万

38、股） 姓名姓名/职务职务 人数人数 获授限制性股票数量获授限制性股票数量 占本计划拟授予限制性占本计划拟授予限制性股票总量的比例股票总量的比例 占公司股本总额的比占公司股本总额的比例例 张伟/总经理 1 50 2.63% 0.08% 徐卫忠/董事、财务总监 1 40 2.11% 0.06% 王虹/董事会秘书 1 30 1.58% 0.05% 中层管理人员 66 910 47.89% 1.46% 核心技术（业务）人员 123 481 25.32% 0.77% 董事会认为需要激励的其他人员 28 159 8.37% 0.25% 预留部分 - 230 12.11% 0.37% 合计 220 1,90

39、0.00 100.00% 3.05% 资料来源：公司公告，国盛证券研究所 图表 17：2022 年限制性股票激励成本摊销情况（万元） 首次授予限制性股票成本首次授予限制性股票成本 2022 年年 2023 年年 2024 年年 2025 年年 2026 年年 14,228.40 2,489.97 4,979.94 3,912.81 2,134.26 711.42 资料来源：公司公告，国盛证券研究所 二、二、电子特气，需求空间大，拉开进口替代序幕电子特气，需求空间大，拉开进口替代序幕 2.1 电子特气是电子特气是半导体行业的基础原材料半导体行业的基础原材料 电子特气是超大规模集成电路、平面显示器

40、、化合物半导体器件等电子工业生产中不可或缺的基础原材料，广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。按下游应用区分，集成电路制造用电子特气占总体市场的 42%，排名第一，显示面板、太阳能、LED 分别占 37%、13%、8%，随着半导体行业的快速发展，电子气体的品种、数量不断增加，刻蚀及化学沉积等下游领域对电子特气的质量和纯度的要求也在不断提高。根据前瞻产业研究院预测， 2024年我国电子特种气体市场规模将达到230亿元， 2020-2024年复合增速将达 7.3%。 2022 年 04 月 20 日 P.11 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 18：高纯电子特气市

41、场格局（按应用） 资料来源：前瞻产业研究院，国盛证券研究所 按照纯度不同，气体分为普通气体、纯气体、高纯气体和超纯气体四种。与传统工业气体相比，用于各种电子生产工艺的气体，尤其是与硅片直接接触的气体，由于具有高纯度和高危险性的特点，通常统称为高纯特种气体或高纯电子级气体。由于在化学气相沉积、刻蚀、离子注入、外延等前段制造工艺中，气体中的有害杂质浓度对芯片的成品率有着直接影响， 目前， 大部分的高纯特种气体纯度应达到 99.99% （4N） 以上 （常用 “xN”表示纯度， x 是大于 1 的正整数， N 是英文单词 Nine 的首字母， 例如，“5N” 表示 99.999%，“4N5”表示 9

42、9.995%） 。 图表 19：气体按纯度分类 气体级别气体级别 气体纯度气体纯度 杂质含量（杂质含量（V/V） 应用领域应用领域 普通气体 99.9%（3N） 100010-6 普通器件 纯气体 99.99%（4N） 10010-6 晶体管和晶闸管等 高纯气体 99.999%（5N） 1010-6 大规模集成电路和特殊器件等 超纯气体 99.9999%（6N） 110-6 超大规模集成电路 特大规模集成电路 99.99999%（7N） 0.110-6 99.999999%（8N） 0.0110-6 99.9999999%（9N） 0.00110-6 资料来源：金宏气体招股说明书，国盛证券研究

43、所 电子特气按照用途可分为蚀刻及清洗气体、成膜气体、掺杂气体三大类。在半导体集成电路中，电子气体主要应用于蚀刻、掺杂、CVD、清洗等。在晶圆制程中部分工艺涉及气体刻蚀工艺的应用，主要涉及 CF4、NF3、HBr 等；掺杂工艺即将杂质掺入特定的半导体区域中以改变半导体的电学性质，需要用到三阶气体 B2H6、BF3以及五阶气体 PH3 、AsH3等；在硅片表面通过化学气相沉积成膜（CVD）工艺中，主要涉及 SiH4、SiCl4、WF6等。 2022 年 04 月 20 日 P.12 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 20：电子特气按用途分类 资料来源：国内特种气体研究现状和未

44、来市场应用前景分析，国盛证券研究所 图表 21：电子特气在晶圆制造中的应用 资料来源：巨化集团有限公司，国盛证券研究所 化学气相沉积（化学气相沉积（CVD）是通过使气体或蒸汽在晶圆表面产生化学反应，形成固态薄膜的沉积方法。不同沉积薄膜会用到不同的气体，沉积多晶硅薄膜，通常需要用硅烷；金属有机物化学气象淀积（MOCVD）技术制备氮化镓（制备氮化镓（GaN）过程中的表面钝化过程要求所）过程中的表面钝化过程要求所使用的氨必需超纯超净，纯度水平要达到使用的氨必需超纯超净，纯度水平要达到 7N（99.99999%） 。） 。化学气相沉积中需要用到的特种气体种类也非常多 刻蚀刻蚀是采用化学和物理方法，有选

45、择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。刻蚀技术主要分为干法刻蚀和湿发刻蚀，其中干法刻蚀主要利用气体与等离子体进行刻蚀。四氟化碳是目前电子工业中用量最大的等离子刻蚀气体。 2022 年 04 月 20 日 P.13 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 22：MOCVD 制备氮化镓器件的流程 图表 23：四氟化碳用于等离子刻蚀气体 资料来源：氮化镓科技汇，国盛证券研究所 资料来源：应用物理 ，国盛证券研究所 掺杂：掺杂：杂质掺杂主要用于改变半导体的特性，将某些杂质掺入半导体材料内，可以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率，以制造电阻、

46、PN 结、埋层等，扩散和离子注入是半导体掺杂的两种主要方式。杂质扩散是在石英高温炉管中放入半导体硅晶片并通入含有所需掺杂剂的气体混合物，常用的掺杂气体包括 BCl3、BBr3、PCl3、PBr3、AsCl3。离子注入是将含有杂质的化合物分子（如 BCl3,BF3）电离为杂质离子后，聚集成束并用强电场加速， 使其成为高能离子束， 直接轰击半导体材料， 从而形成集成电路的 PN 结。在半导体应用中，比较普遍使用的是气体离子源，将含有注入物质的气体送入系统，如BF3， BCl3,PH3， AsH3等。 此外， 为了消除辐射损伤， 恢复晶体的电性能， 在退火过程中，还需要用惰性气体进行保护，如氩。 外

47、延晶体生长外延晶体生长：外延是在单晶上生长一层同质或异质的薄膜层，与单晶生长相比，外延生长温度低，常用的外延技术包括化学气相沉积（CVD）和分子束外延（MBE） ，CVD 包括常压（APCVD）和低压（LPCVD） ，而金属有机物气相沉积（MOCVD）是以热分解反应为基础的气相外延法，广泛应用于生长 III-V 族和 II-VI 族化合物异质外延上。公司目前生产的硅烷是硅的气相外延过程中主要会用到的气体之一。 2022 年 04 月 20 日 P.14 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 24：掺杂的扩散和离子注入两种工艺 图表 25：硅的气相外延过程会用到硅烷 资料来源：

48、半导体的型型掺杂，国盛证券研究所 资料来源：SSDM 国际会议论文，国盛证券研究所 2.2 市场需求空间大，拉开进口替代序幕市场需求空间大，拉开进口替代序幕 据据 SEMI， 全球半导体材料市场 （包括晶圆制造材料和封装材料） 规模， 全球半导体材料市场 （包括晶圆制造材料和封装材料） 规模 2021 年达年达 642.8亿美元， 同比增长亿美元， 同比增长 15.9%。 其中， 晶圆制造材料市场规模为 404 亿， 同比增长 15.5%，凭借先进的晶圆代工及封装技术，中国台湾地区连续十二年居于全球半导体材料最大消费地，在全球半导体材料市场规模整体增长的情况下，中国大陆的规模排名第二且增速达到

49、 21.9%，为前六大半导体材料消费地区增速第一，体现了全球半导体材料市场向中国大陆转移的趋势。 图表 26：全球半导体材料市场规模 资料来源：SEMI，国盛证券研究所 晶圆制造材料包括硅片、电子特气、光掩模、湿法化学品和光刻胶等材料，根据锐观咨询，2018 年电子特气在全球半导体材料成本中占比约 13%，为第二大成本来源。根据根据Techcet，预计，预计 2022 年全球电子气体市场规模有望达到年全球电子气体市场规模有望达到 70 亿美金，其中特气约亿美金，其中特气约 500050060070020002002200420062008200162

50、0182020全球半导体市场规模（亿美元） 2022 年 04 月 20 日 P.15 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 亿美金，亿美金，电子电子大宗气体大宗气体 20 亿美金。亿美金。 图表 27：2018 年全球晶圆制造材料成本构成 资料来源：锐观咨询，国盛证券研究所 图表 28：全球电子特气市场规模（亿美金） 图表 29：全球电子气体市场规模及预测（百万美元） 资料来源：SEMI，国盛证券研究所 资料来源：Techcet，国盛证券研究所 海外龙头在海外龙头在大陆大陆占八成以上份额，国产替代空间巨大。占八成以上份额，国产替代空间巨大。根据 SEMI 及前瞻产业研究院，201