1、 敬请阅读末页的重要说明 证券研究报告 | 公司深度报告 2022 年 06 月 05 日 国内国内 CMP 设备龙头加速国产替代，耗材及维保业务设备龙头加速国产替代，耗材及维保业务构筑第二利润曲线构筑第二利润曲线 TMT 及中小盘/电子 华海清科华海清科是是国内国内 12 寸寸 CMP 设备设备龙头龙头，2021 年全球年全球 CMP 设备设备市场空间达市场空间达 20 亿亿美金，国内市场竞争格局良好。公司美金，国内市场竞争格局良好。公司 CMP 设备设备在国内主要产线持续放量，在在国内主要产线持续放量，在2021 年国内长江存储等产线总招标台数占比高达年国内长江存储等产线总招标台数占比高达

2、 44%，同时导入大连英特尔、厦，同时导入大连英特尔、厦门联芯等外资产线门联芯等外资产线。公司。公司耗材及技术服务业务收入伴随耗材及技术服务业务收入伴随 CMP 设备保有量增多而高设备保有量增多而高速增长速增长，有望成为第二利润增长点。有望成为第二利润增长点。公司公司发行市值对应发行市值对应 2022 年的年的 PS 和和 PE 均低均低于行业平均值于行业平均值，建议重点关注。，建议重点关注。 公司公司背靠清华大学，是背靠清华大学，是国内国内 12 寸寸 CMP 设备设备龙头龙头。华海清科于 2013 年成立，技术背靠清华大学摩擦学国家重点实验室，核心技术团队具备多年 CMP 研发经验。公司是

3、国内唯一实现 12 寸 CMP 设备产业化应用的厂商，同时经营晶圆再生、耗材及配套服务业务。在 2018 年之前，公司处于 CMP 产品导入阶段，在2018 年之后，12 寸 CMP 设备在长江存储和华虹产线快速放量，当前公司 CMP设备覆盖 14nm 以上逻辑芯片、128 层 3D NAND 和 1x 及 1y nm DRAM 芯片，在国内逻辑/存储客户端全面突破，面向 14nm 逻辑制程新品和 12 寸减薄抛光一体机正在验证，晶圆再生、耗材及配套服务业务随 CMP 技术进步和售出 CMP设备增多而快速发展。 公司收入快速增长并实现稳定盈利，当前在手订单公司收入快速增长并实现稳定盈利，当前在

4、手订单饱满饱满。1）收入端：）收入端：2017-2018 年公司处于前期导入阶段而收入体量较小，在 2018 年之后 300 系列设备成功导入长江存储和华虹集团，同时新机型不断推出，收入从 2019 年的 2.1 亿元增长至 2021 年的 8.1 亿元 ，CAGR 高达 96%，同时公司预计 22H1 实现收入5.5-7 亿元，同比+87%138%；2）利润端：）利润端：公司在 2020 年实现扣非归母净利润扭亏为盈，并稳定盈利至今，2021 年实现扣非净利润 1.14 亿元，同时公司预计 22H1 实现归母净利润为 1.4-1.8 亿元，盈利能力不断提升；3）在手订单：）在手订单：截至 2

5、021 年底，公司发出商品正在安装调试的 CMP 设备共 69 台，未发出商品的在手订单超 70 台，公司 22Q1 新增合同负债 0.57 亿元达 8.36 亿元，考虑到公司 DEMO 机台和成熟机台验收周期分别为 12-18 个月及 3-6 个月，因此当前公司在手订单有望保障未来收入实现高增长。 2021 年全球年全球 CMP 设备设备达达 20 亿美元市场亿美元市场，公司公司 CMP 设备加速国产替代设备加速国产替代。根据Gartner 数据，2021 年全球 CMP 设备市场空间达 20 亿美元，但 95%市场份额被应用材料、日本荏原垄断，两家公司覆盖的最先进制程可达 5nm，国内厂商

6、当前份额较小，整体 CMP 设备市场伴随制程升级+存储层数增多而增长；公司12 寸 CMP 设备已应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等产线，14nm 及以上的 CMP 设备和国外巨头不存在技术差距，14nm 设备当前正在验证；从市场份额来看，2018-2020 年公司全球市场份额从 1.1%上升至 12.6%；从国内长江存储、华虹无锡、上海华力、上海积塔产线招标数据来看，公司 CMP 设备中标机台占比从 2019 年的21.1%上升至 2021 年的 44.3%，成功打破国外垄断并加速国产替代进程。 耗材及维保业务耗材及维保业务和和 CMP 设备

7、设备保有量保有量高度相关高度相关，有望打开第二成长空间有望打开第二成长空间。公司耗材业务和配套服务主要围绕现有 CMP 设备的 7 分区抛光头等进行更新与维修，并且公司 CMP 设备核心的 7 分区抛光头仅能由公司自供，单台设备每年大约需要 200 万元耗材与服务费用。公司 CMP 设备保有量不断增长，耗材及维保业务呈现高增长态势；公司基于 CMP 技术于 2020 年推出面向 3D IC 的减薄抛光一体机，有望在 2022 年通过验证并实现量产，减薄抛光一体机带来的耗材及服务有望复制 CMP 设备耗材业务发展路径，成为新的收入和利润增长点；公司依托于 CMP 技术外延拓展晶圆再生业务，自 2

8、020 年至今实现再生晶圆小规模量产，IPO 项目预计实现 10 万片/月的 12 寸再生晶圆产能，长期发展向好。 盈利预测：盈利预测：考虑到华海清科是国内 CMP 设备龙头，在国内逻辑/存储产线全面突破、国产化率不断提升、新品持续拓展的背景下，CMP 设备长期成长性较好。耗材及技术服务业务呈现高速增长态势，CMP 设备核心 7 分区抛光头由公司自供，未来耗材维保业务预计构筑新增长曲线。我们预计华海清科 22/23/24 年营业收入为 16.31/25.00/31.82 亿元，归母净利润 3.36/5.18/7.11 亿元，对应2021-2023 年盈利预测的 PS 为 8.97/5.85/4

9、.60 倍，PE 为 43.52/28.23/20.57倍，均低于可比公司平均估值水平，建议重点关注上市后表现。 风险提示：风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期、行业竞争加剧、行业市场空间有限、耗材维保等拓展不及预期、研发/验证进展不及预期、疫情影响设备交期的风险。 发行发行数据数据 发行前总股本（万） 8000 新发行股数（万） 2666.67 老股配售（万） 157.3174 发行后总股本（万） 10666.67 发行价（元） 136.66 发行市盈率（倍） 73.62 发行日期 2022-05-26 上市日期 主要股东主要股东 持股比例 清控创业投资有限公司 37.58% 清津厚德(天津)科

10、技合伙企业 有限合伙 10.24% 路新春 7.93% 天津科海投资发展有限公司 7.43% 国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) 6.25% 行业指数行业指数 资料来源：公司数据、招商证券 鄢凡鄢凡 S02 曹辉曹辉 S01 -40-30-20-100102030Jun/21Sep/21Jan/22May/22(%)电子沪深300华海清科华海清科（688120.SH）新股分析新股分析 敬请阅读末页的重要说明 2 公司深度报告 主要财务数据主要财务数据 会计年度会计年度 2020 2021 2022E 2023E 2024E 主营收入

11、(百万元) 386 805 1631 2500 3182 同比增长 83% 109% 103% 53% 27% 营业利润(百万元) 98 204 384 592 836 同比增长 -163% 109% 88% 54% 41% 归母净利润(百万元) 98 198 336 518 711 同比增长 -163% 103% 69% 54% 37% 每股收益(元) 1.22 2.48 4.20 6.47 8.88 ROE 27% 28% 13% 11% 14% 资料来源：公司数据、招商证券 pOpQrQsRvNnQsQoNyRnPqR8ObP7NpNnNpNoMjMrRtNiNoOpR9PpOmMMYq

12、RtMwMmNmO 敬请阅读末页的重要说明 3 公司深度报告 正文正文目录目录 一、国内一、国内 12 寸寸 CMP 设备龙头，设备在逻辑设备龙头，设备在逻辑/存储产线全面突破存储产线全面突破 . 6 1、华海清科背靠清华大学，为国内唯一实现 12 寸 CMP 设备产业化应用的厂商 . 6 2、12 寸 CMP 设备快速放量带来收入高增长，在手订单饱满保障未来收入增长. 10 二、二、CMP 市场随制程进步市场随制程进步/多层趋势扩大，大陆晶圆产线国产化进程加速多层趋势扩大，大陆晶圆产线国产化进程加速. 16 1、CMP 工艺贯穿硅片、IC 制造与封装，CMP 设备在较长时间内不存在技术迭代

13、. 16 2、全球 CMP 设备市场达 20 亿美元，市场空间伴随制程进步/存储层数增多而扩大 . 20 3、华海清科加速国产替代进程，CMP 设备逻辑/存储产线全面突破 . 22 4、纵向拓展减薄技术以布局 3D IC 工艺，减薄抛光一体机预计 2022 年量产 . 25 三、耗材维保业务构筑利润新增长点，公司外延拓展晶圆再生工艺三、耗材维保业务构筑利润新增长点，公司外延拓展晶圆再生工艺 . 27 1、CMP 设备是使用耗材最多的设备之一，耗材维保业务呈现高增长态势 . 27 2、公司依托 CMP 技术外延拓展晶圆再生业务，产能逐渐爬坡 . 29 四、盈利预测、估值及风险因素四、盈利预测、估

14、值及风险因素 . 32 1、盈利预测 . 32 2、估值分析 . 33 3、风险提示 . 33 图表图表目录目录 图 1：公司主要产品演变情况 . 6 图 2：公司员工专业结构（截至 2021 年底） . 6 图 3：公司员工学历分布（截至 2021 年底） . 6 图 4：华海清科股权结构（截至 2022 年 6 月 1 日） . 7 图 5：2017-2022Q1 公司营业收入及增速. 10 图 6：2017-2021 年公司分业务收入（亿元） . 10 图 7：公司 2018-2021 年 CMP 设备销量（台） . 11 图 8：公司 2018-2021 年 CMP 设备平均售价（万元

15、） . 11 图 9：2017-2021 年国内主流半导体设备公司毛利率 . 13 图 10：2017-2021 年公司各业务及综合毛利率 . 13 图 11：2018-2021 年公司耗材及技术服务毛利率 . 13 图 12：2017-22Q1 期间费用率（注：2019 年管理费用率为 72%，期间费用率为 109%） . 14 敬请阅读末页的重要说明 4 公司深度报告 图 13：2019-2021 年公司研发投入及资本化比例 . 14 图 14：2017-22Q1 公司归母净利润及扣非归母净利润 . 14 图 15：2019-22Q1 公司存货结构（亿元） . 15 图 16：2019-2

16、2Q1 公司合同负债（亿元） . 15 图 17：芯片制造流程中所需的 CMP 工艺环节 . 16 图 18：CMP 抛光去除速率对比 . 17 图 19：9-11 层金属结构 Cu CMP 示意图 . 17 图 20：钨平坦化前 . 17 图 21：钨平坦化后 . 17 图 22：前段工艺结构示意图 . 18 图 23：IMD 层平坦化前 . 18 图 24：IMD 层平坦化后 . 18 图 25：铜布线中的大马士革工艺流程 . 18 图 26：后段工艺各层电路示意图 . 18 图 27：CMP 抛光模块 . 19 图 28：CMP 抛光原理图 . 19 图 29：CMP 平坦化前后效果图

17、. 19 图 30：20162024 年全球 CMP 设备市场规模及预测 . 20 图 31：20162024 年中国 CMP 设备市场规模及预测 . 20 图 32：全球 CMP 设备各地区占比 . 20 图 33：逻辑芯片制程节点对应 CMP 工艺步骤 . 21 图 34：不同制程对应金属层数 . 21 图 35：6 层金属层逻辑芯片需要 10-14 次 CMP 工艺 . 21 图 36：逻辑芯片制程节点对应 CMP 工艺步骤 . 22 图 37：存储芯片技术升级增加 CMP 工艺步骤 . 22 图 38：2019 年全球 CMP 设备行业竞争格局 . 23 图 39：中国大陆进口的 CM

18、P 设备台数 . 23 图 40：长存、华虹无锡、上海华力、积塔 2019-2021 年招标 CMP 设备台数及华海清科占比 . 23 图 41：2.5D 及 3D IC 示意图 . 25 图 42：CMP 设备组成结构 . 27 图 43：华海清科 CMP 设备 BOM 表 . 27 图 44：CMP 抛光头系统 . 27 敬请阅读末页的重要说明 5 公司深度报告 图 45：抛光头腔室结构图 . 27 图 46：AMAT 营业收入及服务收入占比 . 28 图 47：日本荏原营业收入及服务收入占比 . 28 图 48：DISCO 营收及耗材、技术服务收入占比 . 28 图 49：华海清科 CM

19、P 设备发货台数及累计发货台数 . 29 图 50：华海清科耗材销售及技术服务营收及占比 . 29 图 51：控挡片在晶圆制程中的应用 . 29 图 52：晶圆再生工艺流程 . 30 图 53：不同制程对于控挡片的需求量 . 30 图 54：全球硅片及再生晶圆市场规模（亿美元） . 30 图 55：全球硅片市场竞争格局 . 31 图 56：全球再生晶圆市场竞争格局 . 31 表 1：华海清科产品矩阵 . 8 表 2：募集资金使用方案（亿元） . 10 表 3：华海清科 CMP 设备客户端销售情况 . 11 表 4：中芯国际不同产线的薄膜沉积设备需求 . 22 表 5：华海清科 CMP 相关核心

20、技术 . 24 表 6：应用材料、茬原与华海清科对比 . 24 表 7：华海清科产品产业化应用情况 . 25 表 8：华海清科减薄抛光一体机设备 . 26 表 9：华海清科减薄相关核心技术 . 26 表 10：华海清科销售收入结构预测 . 32 表 11：可比公司 PS 估值 . 33 表 12：可比公司 PE 估值 . 33 敬请阅读末页的重要说明 6 公司深度报告 一、一、国内国内 12 寸寸 CMP 设备设备龙头，设备在逻辑龙头，设备在逻辑/存储产线全面突破存储产线全面突破 1、华海清科背靠清华大学，为国内唯一实现华海清科背靠清华大学，为国内唯一实现 12 寸寸 CMP 设备产业化应用的

21、厂商设备产业化应用的厂商 华海清科华海清科背靠清华大学，背靠清华大学，12 寸晶圆寸晶圆 CMP 设备设备成功打破国外垄断成功打破国外垄断，在，在中国大陆中国大陆内资内资/外资外资晶圆晶圆产线全面突破产线全面突破。华海清科于 2013 年由清华大学和天津市政府合资成立，主要产品包括 8/12 寸 CMP 和 12 寸减薄抛光一体机等。公司背靠清华大学摩擦学国家重点实验室，清华大学及公司先后承担了两项“国家科技重大专项（02 专项）”及三项国家级重大项目/课题，清华大学早在公司成立之前便研发出了第一台具备抛光性能的整机样机。公司 CMP 设备成功打破应用材料、日本荏原对国内市场的垄断，2020

22、年在中国大陆市占率达 12.6%，累计量产晶圆超 1300 万片。公司是国内唯一一家实现 12 寸 CMP 设备产业化应用的厂商，自 2014 年研制出第一台 12 寸 CMP 设备以来，目前公司CMP 设备不仅导入中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、广州粤芯、上海积塔等国内主要逻辑/存储产线，同时在大连英特尔、厦门联芯等外资产线也实现量产。 图图 1：公司主要产品演变情况：公司主要产品演变情况 资料来源：华海清科招股书、公司官网，招商证券 公司高管公司高管及核心技术人员及核心技术人员多来自清华大学，多来自清华大学，CMP 研发经验研发经验丰富丰富。1）路新春：）路新春：公司董事长、首席科

23、学家，曾任清华大学机械工程系教授、首席研究员，拥有 20 多年 CMP 技术研究经验，位居全球 CMP 设备技术专家前三和全球CMP 设备技术发明人第一；2）张国铭：）张国铭：公司总经理，毕业于清华大学，曾任北京七星华创副总经理、北方华创高级副总裁和首席战略官；3）王同庆：）王同庆：公司研发总监，曾任清华大学机械工程系副研究员，发表 CMP 相关 SCI 论文30 余篇；4）赵德文：）赵德文：公司技术总监，曾任清华大学机械工程系副研究员，发表 CMP 相关论文 30 余篇，其中 SCI收录 20 余篇。截至截至 2021 年底，公司共有年底，公司共有 692 名员工，其中研发人员占比名员工，其

24、中研发人员占比 32%，硕士及以上学历员工占比，硕士及以上学历员工占比 21%。 图图 2：公司员工专业结构：公司员工专业结构（截至（截至 2021 年底）年底） 图图 3：公司员工：公司员工学历分布学历分布（截至（截至 2021 年底）年底） 资料来源：华海清科招股书，招商证券 资料来源：华海清科招股书，招商证券 32%28%21%19%研发人员生产人员销售及技术支持人员管理人员2.1%21.4%39.8%36.7%博士硕士大学本科专科及以下 敬请阅读末页的重要说明 7 公司深度报告 公司公司实控人为清华大学实控人为清华大学，股东以国有资本为主，股东以国有资本为主。华海清科前三大股东持股比例

25、超过 50%，其中，第一大股东清华大学通过全资子公司清华控股和清控创投间接持有 37.6%股份，为公司实际控制人；第二大股东为员工持股平台清津厚德，持股比例为 10.2%，另外两个员工持股平台为清津立德和清津立言，分别持股 1.9%/0.1%；科海投资和国投基金分别持股 7.4%和 6.3%，均为国有资本，实控人分别为天津市国资委和国资委；公司董事长路新春直接持股并通过清津厚德员工持股平台间接持股，总共持股约 10%，总经理张国铭通过天津厚德间接持股 1%；清华大学机械工程学院院长雒建斌持股 4.85%，清华大学机械工程系教授朱昱持股 5%，二者均取得清华大学科技成果转化股权奖励，朱昱也是华卓

26、精科（光刻机工件台厂商，与清华大学共享技术专利）董事长和实际控制人；公司其他股东包括青岛民芯投资、天津领睿、浙江创投、国开科技创投等国资背景一级投资机构。 公司实际控公司实际控制人清华大学计划无偿制人清华大学计划无偿转让公司间接控股股东清华控股股权。转让公司间接控股股东清华控股股权。清华大学于 2021 年 12 月 10 日与四川省能源投资集团签署国有资产无偿划转协议 ，拟通过无偿划转方式将所持清华控股 100%股权划转给四川能投，属于国务院国资委和地方国资委之间无偿转让的国有股权行为和国有资产管理的整体性调整。本次无偿划转事项已获国家市场监督管理总局反垄断局批准，已向教育部、四川省国资委申

27、报且正在审批。本次股份转让完成之后，四川本次股份转让完成之后，四川能投将成为公司的间接控股股东，能投将成为公司的间接控股股东，公司公司实际控制人将变为四川省国资委。实际控制人将变为四川省国资委。 图图 4：华海清科股权结构华海清科股权结构（截至（截至 2022 年年 6 月月 1 日）日） 资料来源：华海清科招股书，Wind，招商证券 公司公司 CMP 设备设备工艺水平迭代至工艺水平迭代至 14nm，覆盖浅槽隔离覆盖浅槽隔离/栅极栅极/钨栓钨栓/介质层介质层/金属互连等主流工艺金属互连等主流工艺，同时推出减薄抛光，同时推出减薄抛光一体机完善产品矩阵一体机完善产品矩阵。华海清科产品以 12 寸

28、CMP 设备 Universal-300 系列为主，在逻辑产线实现 28nm 以上制程的产业化应用，14nm 制程产品正在客户端验证，在存储产线覆盖制程达到 1x nm。1）Universal 300/300 Plus：覆盖 45-130nm，可实现氧化层（Oxide） 、浅槽隔离（STI） 、多晶硅栅（Poly） 、金属互连（Cu） 、接触孔（W）等的抛光；2）Universal 300 Dual：覆盖 28-65nm 逻辑芯片和 2x nm 存储芯片，在原有工艺基础上可实现用于钝化层等的 SiN 材料的抛光；3）Universal 300 X/T：覆盖的逻辑制程分别进步到 14-45nm

29、和 28nm 以下，存储制程进步到1x nm，300 T 在 X 系列基础上搭载了更先进的组合清洗技术；4）Universal-200/200 Smart：为 4-8 寸设备，200 Smart 型号含 4 个抛光单元并在 200 型号基础上搭载了 1 个清洗单元；5）Versatile-GP300：为公司新开发的减薄抛光一体机，可同时实现减薄和抛光功能，于 2021 年 9 月开始验证，预计 2022 年量产。 公司外延拓展耗材、维修保护服务及晶圆再生业务，公司外延拓展耗材、维修保护服务及晶圆再生业务，构筑第二利润曲线。构筑第二利润曲线。1）耗材及维保业务：围绕）耗材及维保业务：围绕 7 分

30、区抛光头分区抛光头开展，伴随开展，伴随 CMP 设备设备保有量保有量增多而增长。增多而增长。公司售出的 CMP 设备包含大量内部易损耗的专用零部件，需要定期更换或进行相应升级，公司售出的耗材主要为 CMP 设备的 7 分区抛光头、保持环、气膜、探测器等，技术服务主要为对 敬请阅读末页的重要说明 8 公司深度报告 7 分区抛光头的维保。随着公司发往客户端的设备累计数量不断增多，耗材及维保业务不断发展，将长期贡献收入和利润；2）晶圆再生业务：依托于）晶圆再生业务：依托于 CMP 技术外延拓展。技术外延拓展。再生晶圆主要指将晶圆厂使用过的控挡片回收，将杂质去除以达到再次使用的标准，根本目的是为晶圆厂

31、降低成本。晶圆再生最主要的工艺是 CMP 技术，公司依托自身CMP 技术积累，将客户使用过的控挡片加工并收取服务费用，或者采购使用过的控挡片处理后再次售卖，可看做公司 CMP 设备业务的外延拓展。再生晶圆需求随晶圆产能而增长，当前国内供需之间存在巨大缺口，因此伴随国内下游晶圆产线扩产，国内市场发展长期向好。 表表 1：华海清科华海清科产品矩阵产品矩阵 产品类别产品类别 图示图示 应用领域应用领域 300 系列系列 12 英寸英寸 CMP 设备设备 Universal-300 Universal-300 是拥有完全自主知识产权的国产首台 12 英寸 CMP 设备，满足65130nm Oxide/

32、STI/Poly/Cu/W 等工艺需求。 Universal-300 Plus Universal-300 Plus 是新型 12 寸 CMP 设备，含四个抛光单元和单套清洗单元，满足 45130nm Oxide/STI/Poly/Cu/W 等工艺需求。 Universal-300 Dual Universal-300 Dual 是中高端 12 寸 CMP设备，具有四个抛光单元和双清洗单元，满足 2865nm 逻辑芯片以及 2x nm 存储芯片 Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W 等工艺需求。 Universal-300 X Universal-300 X 是高端 CMP 设备。抛

33、光头具有 8 个独立气压分区，用于实现晶片更加优异的全局平坦化，结合先进的多种终点检测技术，可以满足 1445nm 逻辑产线以及 1xnm 存储产线Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W 等工艺需求。 Universal-300 T Universal-300 T 是在 300 X 机型基础上搭载了更先进的组合清洗技术，满足28nm 以下逻辑产线以及 1xnm 存储产线Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W 等工艺需求。 敬请阅读末页的重要说明 9 公司深度报告 产品类别产品类别 图示图示 应用领域应用领域 200 系列系列 8 英寸英寸 CMP 设备设备 Universal-

34、200 Universal-200 是一套独立控制的 8 英寸CMP 抛光单元系统，兼容 4-8 英寸多种材料的化学机械抛光，适用于 MEMS 制造、第三代半导体制造、科研院所、实验研发机构。 Universal-200 Smart Universal-200 Smart 是沿用 Universal-300 Plus 技术而设计的 8 英寸 CMP 设备，集成多种终点检测技术，4 个抛光单元和单套清洗单元，具备技术水平高、产量高、性能稳定、多工艺灵活组合等优点，满足 Oxide/STI/Poly/Cu/W 等工艺需求。 其他其他 CMP 设备设备 Universal-150W 应用于 4-8

35、英寸各种半导体材料抛光； 干进湿出，占地面积小； 两套独立抛光单元，工艺搭配灵活，产出效率高； 适合规模化量产需求。 Universal-300 B 独立的 12 寸 CMP 系统，兼容 4-12 寸材料抛光。 12 英寸减薄抛光一体机英寸减薄抛光一体机 Versatile-GP300 Versatile-GP 300 是公司新研制的用于3D IC 制造的 12 英寸晶圆减薄抛光一体机，通过新型整机布局集成超精密磨削、CMP 及后清洗工艺，配置先进的厚度偏差与表面缺陷控制技术，提供多种系统功能扩展选项，具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点。 资料来源：华海清科招股书、公司官网，招商证券 公司

36、拟公司拟 IPO 募资募资 10 亿元，并亿元，并投资投资 15 亿元用于高端亿元用于高端 CMP 设备研发及产业化应用、晶圆再生项目、补充流动资金等。设备研发及产业化应用、晶圆再生项目、补充流动资金等。1）化学机械抛光机生产基地建设：项目计划投资 5.4 亿元，在天津海河科技园区建设 1 栋生产厂房、1 栋测试车间及相关配套设施，设计产能为年产 100 台化学机械抛光机（包括减薄设备） ，主要为高端 CMP 设备和减薄抛光一体机。项目于 2020 年 3 月动工，目前已建设完毕并投产；2）高端半导体设备研发项目：拟投资 3.1 亿元，在化学机械抛光机生产基地进行 14nm 以下制程的 CMP

37、、减薄等技术的研发；3）晶圆再生产线扩产：公司晶圆再生产线已 敬请阅读末页的重要说明 10 公司深度报告 于 2020 年起规模化生产，本次计划投资 3.6 亿元，将以高端 CMP 设备为平台，配合 CMP 工艺，同时搭配新型单片清洗设备，搭建更大规模晶圆再生产线。项目建设周期为 15 个月，新增生产设备及仪器 46 套，目前产线仍在建设，建成后预计形成 10 万片/月 12 寸再生晶圆产能。 表表 2：募集资金使用方案（亿元）：募集资金使用方案（亿元） 募集资金投资方向募集资金投资方向 投资总额投资总额 拟使用募集资金金额拟使用募集资金金额 高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目 5.4

38、0 3.50 高端半导体装备研发项目 3.12 2.00 晶圆再生项目 3.56 1.50 补充流动资金 3.00 3.00 合计 15.10 10.00 资料来源：华海清科招股书，招商证券 2、12 寸寸 CMP 设备设备快速放量快速放量带来收入高增长带来收入高增长，在手订单饱满在手订单饱满保障保障未来未来收入增长收入增长 公司前期收入体量较小，公司前期收入体量较小，2018 年年之后之后 12 寸寸 CMP 设备设备在客户端突破带来在客户端突破带来产品快速放量产品快速放量。2017-2018 年公司收入不足 0.5 亿元，原因系前期客户单一，产品处于导入验证阶段；2019 年公司营收 2.

39、1 亿元，同比增长 5 倍，原因系CMP 设备 300 系列成功导入长江存储和华虹集团实现销量大幅增长，同时公司自 19H2 起拓展耗材销售、维保和晶圆再生等新业务，配套材料和技术服务的营收逐年增长，增速较快；2020 和 2021 年公司分别实现收入 3.9 和 8.1亿元，分别同比增长 74%和 109%，主要系 12 寸 CMP 设备 300 系列不断放量，同时中高端机型确认收入带来平均单价较 2020 年提升明显，另外公司于 2020 和 2021 年也分别确认了 1 台 200 系列的 8 寸 CMP 设备；22Q1 公司实现收入 3.48 亿元，同比大幅增长 193%，营收增速自

40、2020 年来逐年上升，同时公司预计公司预计 22H1 实现收入约实现收入约 5.5-7 亿亿元，同比增长元，同比增长 87.3%-138.4%。 图图 5：2017-2022Q1 公司营业收入及增速公司营业收入及增速 图图 6：2017-2021 年公司分业务收入（亿元）年公司分业务收入（亿元） 资料来源：华海清科招股书，招商证券 资料来源：华海清科招股书，招商证券 CMP 设备贡献设备贡献 90%以上收入，近年来以上收入，近年来 12 寸产品在长江存储寸产品在长江存储/华虹不断验收，同时华虹不断验收，同时 300 X 等新品快速放量带来营收等新品快速放量带来营收快速增长。快速增长。公司 C

41、MP 设备收入自 2018 年的 0.32 亿元提升至 2021 年的 6.9 亿元，2019-2021 年均保持 80%以上的同比增速。2018 年，公司确认 2 台 300 系列设备收入，其中 1 台因客户定制化要求增加抛光液供给系统，所以销售平均单价较高；2019 年，CMP 设备实现收入 1.9 亿元，确认了 12 台 300 系列设备，另外推出了新机型 300 Dual系列并在长存验收，进一步提高产品平均单价；2020 年，CMP 设备实现收入 3.5 亿元，确认了 17 台 300 系列、1台 200 系列和 1 台小型 12 寸设备，公司新增 200 系列和 300 X 系列，性

42、能及单价较高的 300 Dual 和 300 X 系列占比较高，进而提升平均售价；2021 年公司确认了 35 台 300 系列和 1 台 200 系列，300 系列仍以 300 Dual 和 300 X系列为主，产品单价同比基本持平，但 200 系列性能有大幅改进，因此单价同比提升 13.4%； 配备配备 7 分区抛光头的分区抛光头的 300 X 设备设备在在 2019 年之后年之后放量放量，配套材料及技术服务业务收入随之，配套材料及技术服务业务收入随之高速增长。高速增长。由于耗材及维保业务主要针对 7 分区抛光头，公司于 2020 年研发出 7 分区抛光头技术并首先用于 300 X 设备，

43、300 X 设备于0%100%200%300%400%500%600%0020202122Q1营业收入（亿元）yoy00202021CMP设备300系列CMP设备200系列配套材料及技术服务 敬请阅读末页的重要说明 11 公司深度报告 2020 和 2021 年在长江存储客户端实现放量，因此公司耗材及维保业务在 2020 年至今高速成长，收入从 2019 年的0.16 亿元快速提升至 2021 年 1.1 亿元。未来随着公司配备 7 分区抛光头的高端机型逐渐发货，耗材和维保业务将成为最主要的收入来源之一。同

44、时公司也拥有少量再生晶圆业务，在 2020 年实现规模化量产，伴随着国内晶圆产线扩产及制程进步而发展。 图图 7：公司公司 2018-2021 年年 CMP 设备销量（台）设备销量（台） 图图 8：公司公司 2018-2021 年年 CMP 设备平均售价（万元）设备平均售价（万元） 资料来源：华海清科招股书，招商证券 资料来源：华海清科招股书，招商证券 长江存储长江存储和华虹集团分别为公司第一和第二大客户，和华虹集团分别为公司第一和第二大客户，2021 年年 300 X 大批量订单在长江存储实现验收大批量订单在长江存储实现验收。公司 300 Dual 机型和 300 X 机型分别在华虹及长江存

45、储放量带来公司 2019 年之后营收的高增长，同时公司不断拓展新客户，自 2020 年起，浙江驰拓、北方创新、广州粤芯、上海积塔等客户也开始贡献收入。1）300 Plus：2016 年 6 月正式投产首台设备，2017 年发货至中芯国际大生产线进行验证并于 2017 年 12 月完成验收。2019/2020/2021 年分别售出 8/4/8 台；2）300 Dual：在 300 Plus 基础上对机台内部单元布局和传输路线进行优化并新增了一套清洗单元，于2017 年 11 月正式投产，于 2018 年 10 月发往长江存储验证，首台 300 Dual 至今尚未验收。但 300 Dual 设备于

46、2019 年在长江存储验收了另外 4 台，2020 年销量增长至 9 台；3）300 X：面向 14nm 及 128 层 NAND 等，于2020 年 2 月正式投产，于 2020 年 6 月发往长江存储验证并于 2020 年 9 月完成验收，于 2021 年在长存确认了 22台收入，为公司 2021 年收入最主要增长动力；4）200 Plus：于 2019 年开发并于 2020 年 1 月发货至上海新微验证，于 2020 年 6 月实现验收。 表表 3：华海清科华海清科 CMP 设备客户端销售情况设备客户端销售情况 主要客户名称主要客户名称 产品类型产品类型 2018 年年 2019 年年

47、2020 年年 2021 年年 华虹集团 CMP 设备数量设备数量 1 4 5 6 300 Plus 1 4 2 5 300 Dual 3 300 X 1 销售收入（万元） 2156 6517 10083 12008 中芯国际 CMP 设备数量 1 2 2 300 Plus 1 1 300 Dual 1 2 销售收入（万元） 46 1924 3937 5178 上海新微技术研发中心 CMP 设备数量设备数量 1 200 Plus 1 销售收入（万元） 1018 长江存储 CMP 设备数量设备数量 5 5 23 300 Plus 1 300 Dual 4 1 1 300 X 4 22 销售收入（

48、万元） 8887 12819 53424 大连英特尔 CMP 设备数量设备数量 1 300 Plus 1 销售收入（万元） 1232 0554020021300系列200系列9009500500255020021300系列200系列（右轴） 敬请阅读末页的重要说明 12 公司深度报告 主要客户名称主要客户名称 产品类型产品类型 2018 年年 2019 年年 2020 年年 2021 年年 客户 1 CMP 设备数量设备数量 1 300 Plus 1 销售收入（万

49、元） 1715 6 厦门联芯 CMP 设备数量设备数量 1 300 Plus 1 销售收入（万元） 2.6 986 6 77 睿力集成 CMP 设备数量设备数量 2 300 Dual 2 销售收入（万元） 14 3924 80 浙江驰拓 CMP 设备数量设备数量 1 300 Dual 1 销售收入（万元） 2310 北方创新 CMP 设备数量设备数量 1 300 Dual 1 销售收入（万元） 2179 240 广州粤芯 CMP 设备数量设备数量 1 1 300 Plus 1 1 销售收入（万元） 1761 1824 河北工业大学 CMP 设备数量设备数量 1 300 B 1 销售收入（万元）

50、 262 9 上海积塔 CMP 设备数量设备数量 1 200 Plus 1 销售收入（万元） 1217 客户 3 CMP 设备数量设备数量 1 300 X 1 销售收入（万元） 2378 客户 5 CMP 设备数量设备数量 1 300 Plus 1 销售收入（万元） 1856 客户 7 CMP 设备数量设备数量 1 300 Plus 1 销售收入（万元） 1686 合计合计 CMP 设备数量设备数量 2 12 19 36 300 Plus 2 8 4 8 300 Dual 4 9 3 300 X 4 24 300 B 1 1 200 Plus 1 1 销售收入（万元） 3437 20044 3