全球 CMP 设备市场被海外厂商垄断,呈现应用材料和日本荏原双寡头格局,据 SEMI 数据,2020 年两家合计全球 93%市场份额。华海清科是目前唯一量产销售 12 寸 CMP 设备的国产厂商,已在先进集成电路制造商的国内大生产线上批量应用,2020 年在国内份额达 12.64%。
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