CVD是2022年薄膜沉积设备第一大细分市场 原图定位 薄膜沉积设备具有多个大细分市场,国内公司各有专精。根据中微公司 2022 年业绩说明会转引 的 Gartner 数据,2022 年全球薄 膜沉积设备市场空间 在 229 亿美元。其 中CVD/PVD/ALD 分别占到 118/48/30 亿美元。目前国产公司在薄膜沉积设备市场已取得较大技术突破,虽然相比 AMAT、LAM 和 TEL 等国际巨头市场份额仍较小。其中:1)北方华创:公司是国内 PVD 设备龙头,并逐渐拓展 CVD、ALD 设备;2)拓荆科技:公司在PECVD 和 PEALD 领域已达到较先进水平,并持续发展 SACVD 和 TALD 领域;3)微导纳米:公司在半导体领域主要覆盖 TALD 设备,并已达到较先进水平。