图120.2018-2022年ASML销售毛利率 原图定位 10.1.3.光刻机零部件市场约 79亿美元,光源、光学、双工台是核心系统 光刻机零部件市场规模约为 79 亿美元。全球的半导体设备市场集中度较高,TOP5 厂商的市占率之和超过 75%,其毛利率也较为稳定,因此我们参考 TOP5厂商的毛利率来估算半导体设备的成本率。除了第五大厂商科磊半导体毛利率超过 60%,前四大厂商毛利率基本都在 40%-50%。按照 2022年的营业收入对 TOP厂商的毛利率进行加权,得到半导体设备的毛利率约为48.65%,即成本率约为 51.35%。以 ASML为例,2023Q3净销售额为 67亿欧元,毛利率为 51.9%,ASML制造成本里 90%来自零部件,因此假设光刻机零部件成本占比 90%。2021年全球半导体市场规模为 1026.4亿美元,其中前道光刻设备市场规模为 172亿美元。根据公式:光刻机零部件市场规模=光刻机零部件市场规模*成本率*设备中零部件成本占比,结合以上分析,得到:2021年全球光刻机零部件市场规模=172亿美元 x51.35%x90%=79.49亿美元。