机械式激光雷达(左)、MEMS激光雷达(中)和OPA激光雷达(右)扫描方式对比 原图定位 MEMS 激光雷达的微振镜芯片技术门槛相对较高,且由于 MEMS 微振镜的尺寸和偏转角度较小,MEMS 激光雷达视场角偏小。