设备的良率缺陷会在数百道生产工序中巨幅累积放大 原图定位 一块芯片通常需要上百台设备紧密配合,历经 400-500道工序,若单工序良率仅能做到 99%,则历经 500 道工序最终良率不足 1%;提升至小数点后两位的水平才能使良率达到 95%以上。