2022年-2027年半导体主要设备营收(单位:百万美元) 原图定位 刻 机以外最关键的微观加工设备,是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高的设备。由于光刻机的波长限制和2维芯片到3维芯片的发展,等离子体刻蚀设备越来越成为关键制约设备,也成为十大类关键设备市场最大的一类。