图表54.全球及中国量测设备市场规模 原图定位 量/检测是半导体制造重要的质量检查工艺,主要包括量测&缺陷检测两大类。涉及膜厚、折射率等参数测量、各类表面缺陷检测等需求,对硅片厂/晶圆厂保障产品良率、产品一致性、降低成本等至关重要。Chiplet 由于使用多颗 Die 堆叠,因此使用的量测设备相较于单片式的 SoC 将大大增加。根据 SEMI 数据,2019 年量/检测设备在半导体设备中价值量占比达到 11%,仅次于三大核心设备(薄膜沉积、光刻和刻蚀),排名第四。