图表19.台积电先进制程扩产将持续多年 原图定位 先进制程设备的投入弹性大。以台积电为例,每个节点的投资额迅速攀升,其中 16nm制程 1万片产能投资 15亿美元,而 7nm制程 1万片产能投资估计 30亿美元,5nm制程 1万片产能投资估计 60亿美元。根据 IBS,一条年产 5万片晶圆的 28nm制程生产线,设备投资需要 39.5亿美元,14nm制程需要62.72亿美元,7nm、5nm制程均超一百亿美元。