2021年MEMS行业市场结构 原图定位 ➢ MEMS技术助力传感器实现高度集成化。通过MEMS技术,可以在同一衬底上集成多种敏感元件,使其能同时检测多种物理量并能输出多个信号,提高MEMS芯片的集成度。