触控屏中应用磁控溅射的ITO导电膜的位置 原图定位 历史上,磁控溅射用于:1)光学工业中的 TiO2、SiO2、Ta2O5 等硬质膜;2)电子工业中的 ITO 透明导电膜、SiO2、Si3N4 和 Al2O3 等钝化膜、隔离膜或绝缘末;3)建筑中在玻璃上使用的 ZnO、SnO2、TiO2、SiO2 等介质膜;4)TiC、TiN、TiAlN、CrN、TiCN 等表面加硬膜和装饰膜。