1、2020 年深度行业分析研究报告目录索引前言5一、什么是一线，什么是二线？6（一） 国产半导体设备企业的分层6（二） 一线的半导体设备企业具备的特征8二、二线变一线的几个必要条件13（一） 赛道：产品所在的赛道市场空间大13（二） 客户：主流的产品突破、主流的客户认证14（三） 对标：具有全球比较大的对标企业16（四） 具备持续扩张的核心竞争力18图表索引图 1：国内半导体设备行业发展图谱5图 2：中国半导体设备销售规模及国产设备自足率水平6图 3：半导体制造工艺流程及对应的设备分类9图 4：10nm 多重模板工艺涉及多次刻蚀10图 5：刻蚀设备在 3D NAND 资本开支的份额10图 6：低

2、线宽时代刻蚀设备和 CVD 设备需求量增加（金额占比%）11图 7：北方华创和中微公司的持续研发投入（亿元）18图 8：美国 KLA 研发支出（百万美元）和研发支出强度水平19表 1：成熟的半导体设备企业龙头收入规模及收入占比（亿元）7表 2：国产装备在长江存储的中标情况（截止 2020 年 2 月）7表 3：长江存储、华力集成、华虹无锡、晶合集成国产化率8表 4：2017 年半导体设备价值量分部比例9表 5：全球半导体设备企业 2018-2019 年营收和利润状况（亿元人民币）11表 6：国产装备在华力集成的中标情况（台）12表 7：国产装备在华虹无锡厂的中标情况12表 8：国产装备在长江存

3、储的中标情况（截止 2020 年 2 月）12表 9：国内半导体设备未来需求情况测算（亿元）13表 10：海外半导体设备企业在国内的市场份额占比测算14表 11：国产装备在华力集成的中标情况（台）15表 12：国产装备在华虹无锡厂的中标情况15表 13：国产装备在长江存储的中标情况（截止 2020 年 2 月）15表 14：2019 年海外半导体设备企业产品和国内设备企业的对比分析16表 15：国内半导体二线设备企业的海外对标公司分析17表 16：二线半导体设备企业的研发投入力度（亿元）18前言中国的半导体设备行业，目前正处在快速发展的过程中，在整个过程中，国产半导 体设备企业需要走过从无到有

4、，从弱到强的路径。在整个替代的过程中，已经有一 批企业迈出了坚实的步伐，也取得了一定的成果，例如刻蚀机、清洗机等。当前半 导体业务规模超过10亿元的企业正在增加，这类企业是市场前期关注度最高的头部 企业。中国半导体产业化大潮中，除了头部企业之外，越来越多的新设备企业踊跃加入国 产化浪潮，他们来自于：面板设备、光伏设备、LED设备企业等等，大多数是来自 于泛半导体领域。在传统产业越来越接近天花板的过程中，越来越多的企业开始奔 向半导体设备行业。在这样的背景下，本文重点探讨的方向是：新进入的二线半导体设备企业跻身于一 线的半导体设备企业需要具备哪些条件，从投资角度看，需要哪些考察的维度。 图1：国

5、内半导体设备行业发展图谱数据来源：Wind，发展研究中心一、什么是一线，什么是二线？（一） 国产半导体设备企业的分层国内半导体设备从0到1，从1到N的过程，核心是市场份额的迁移。我们根据SEMI 的数据，对国内半导体设备，尤其是本土半导体设备企业的收入规模，进行国产化 率测算，发现：目前国内半导体设备总销售规模2019年达到865亿元（数据来源： SEMI），同比略微负增长，但是从国产化率角度看，中国本土的半导体设备企业国 产化率水平2019年约为7.2%，是近几年新高水平，从纵向数据看，2017年以后，国 内半导体设备企业的自主化率水平持续加快。图2：中国半导体设备销售规模及国产设备自足率水

6、平中国半导体设备销售规模（亿元）中国IC设备自给率（%）0060050040030020042001820198.00%7.00%6.00%5.00%4.00%3.00%2.00%1.00%0.00%数据来源：电子工业设备协会，SEMI，发展研究中心国产设备中，根据市场份额情况，我们可以大致划分为两类企业：（1） 成熟类设备企业。这类设备企业的特征是：所在产品在国内下游客户中已经 有一定市场份额和规模，同时自身在半导体设备领域有一定的业务体量。从 产品来看，包括中微公司的刻蚀设备、盛美半导体的清洗设备、北方华创的 氧化/扩散/热

7、处理设备等。根据招标网数据显示，截止2020年2月，在长江 存储，中微公司刻蚀设备的占有率达到15.8%；盛美半导体的清洗设备占有 率达到18.4%；北方华创的氧化/扩散/热处理设备的占有率达到32.2%。同时，北方华创、中微公司和盛美半导体在各自所在的产品领域，收入规模 体量也已经初具规模。我们根据几家公司2018-2019年年报数据口径做了测 算，北方华创和中微公司2019年半导体相关业务收入规模已经超过了10亿 元，按照订单/收入比平均比值1.5计算，这两家企业2019年在半导体业务相 关领域的订单量也大幅度超过10亿元，并且从半导体业务占整个公司收入的 比例来看，也达到了50%的水平，

8、盛美半导体作为清洗设备的国内龙头品牌， 气收入规模2019年达到了7.53亿元（人民币美元汇率按照7：1测算）。（2） 新进类设备企业。新进类设备企业具备几个新的特征：大多数设备企业是原有泛半导体设备企业，亦或者是初创型企业，过去很少进入到大型晶圆厂或 者先进制程领域，近几年通过外部合作、技术研发创新取得了首台套或者大 客户的产品认证通过。这类设备企业在2019年取得了比较大的突破，我们以长江存储2019-2020年 的招标中标数据为例，2019年出现了多个公司、多种设备获得首次中标的情 形，且数量多数超过5台，显示国产化率加速明显。包括武汉精测的ATE（合 计中标6台）、膜厚量测设备（合计中

9、标3台）、中科飞测的光学检测设备（合 计中标5台）、华海清科的研磨抛光设备（合计中标10台）、沈阳拓荆的薄 膜沉积设备（合计中标8台）。半导体业务收入规模（亿元）半导体业务收入规模占比核心产品业务领域2018 年2019 年2018 年2019 年表1：成熟的半导体设备企业龙头收入规模及收入占比（亿元）北方华创16.0020.0048.13%49.29%刻蚀机、氧化设备，PVD 等中微公司6.0010.0036.59%51.28%刻蚀机盛美半导体5.237.53100.00%100.00%清洗设备数据来源：Wind，发展研究中心注：中微公司 2019 年半导体业务是根据总业务扣除 MOCVD

10、子公司相关企业的规模后的结果；北方华创的半导体收入规模业务根据 2017年的占比进行测算。表2：国产装备在长江存储的中标情况（截止2020年2月）公司设备类型20020-02合计国产化率中微公司刻蚀设备5111393815.8%北方华创刻蚀设备6393.7%薄膜沉积设备21251.2%氧化/扩散/热处理设备13173932.2%清洗设备222.3%武汉精测ATE5161.7%膜厚量测000330.9%中科飞测光学检测3251.6%盛美半导体清洗设备35621618.4%华海清科研磨抛光设备551014.9%屹唐半导体氧化/扩散/热处理设备110.8%沈阳拓荆薄膜沉积设备6

11、282.0%上海睿励膜厚检测220.6%数据来源：中国招标网，发展研究中心根据中国招标网披露的国内几条晶圆厂的主要国产装备中标看，截止2020年2月： 长江存储国产化率7.3%，其中2020年前两个月长江存储国产装备的中标比例达到 15.7%，提升显著；上海华力集成国产化率7.0%；华虹宏力（无锡厂）国产化率23.7%， 主要由于华虹无锡厂一期技术节点90-65nm，国产装备更早实现突破；晶合集成国产化率1.8%。对比看，长江存储目前整体国产化率仍然处在较低位置，随着后期国 产装备逐步验证通过，以及晶圆厂工艺顺利进展、逐步提升产能，国产化率有较大 提升空间。表3：长江存储、华力集成、华虹无锡、

12、晶合集成国产化率20020-02合计中标总数量（台）455291长江存储国产装备（台）国产化率2.2%9.6%7.2%15.7%7.3%华力集成中标总数量（台）8331217010575国产装备（台）111216140国产化率13.3%3.8%9.4%10.0%7.0%中标总数量（台）37305342华虹宏力国产装备（台）8181国产化率26.6%23.7%晶合集成中标总数量中标总数量（台）415国产化率3.4%0.9%1.8%数据来源：中国招标网，发展研究中心在上述两类设备企业中，成熟类设备企业是过去市场

13、关注度最高的一线设备企业， 新进设备类企业大多数是二线设备，这种分层并不是对企业规模、未来潜在空间以 及产品技术实力的划分，而是根据他们各自进入产业链的顺序以及当前能参与的深 度、市场份额的大小来进行的划分。在当前的上市公司体系中，我们认为一线的设备企业主要包括：北方华创、中微公 司和盛美半导体。二线的设备企业主要分为两类：（1）上市企业：主要来自于检测 设备领域、清洗设备领域、硅片拉晶设备、涂胶设备等，包括至纯科技、晶盛机电、 芯源微等；（2）非上市企业，主要聚焦在镀膜设备、CMP设备、检测设备、涂胶 设备等领域，包括沈阳拓荆、中科飞测、上海微电子等。（二） 一线的半导体设备企业具备的特征我

14、们总结目前的一线半导体设备企业具备几个共同的特征：（1）所在的产品赛道市 场空间大；（2）产品处于核心工艺环节，且海外有大公司可以对标；（3）已经取 得了相应的市场份额，并且竞争力持续放大。特征一：所在赛道的市场空间很大半导体设备是根据半导体制造工艺衍生而来，从工艺角度讲，主要可以分为：光刻、镀膜、薄膜沉积、清洗、CMP、离子注入、氧化、PC工艺控制等环节，如果广义一 些还可以包括上游的拉晶设备、后道的封装设备、检测设备等等。不同的工艺节点， 针对的是不同的赛道。在全球的半导体设备企业中，全能型设备企业比较少，大多 数是以专业型工艺类设备为主。图3：半导体制造工艺流程及对应的设备分类数据来源：

15、SEMI，发展研究中心从各个产品的价值量分布来看，价值占比越高的赛道，企业的潜在天花板越高。根 据SEMI2017年的数据显示，2017年全球半导体制造设备中，刻蚀设备占比达到19%， 薄膜沉积设备达到22%，光刻设备达到19%，三大核心类设备累计占比达到了60%。 此外，CMP/清洗为主的湿法设备占比为11%，前道的检测设备和后道测试设备合计 占比19%。根据SEMI的数据，2019年国内半导体设备需求量为129.1亿美元，大概对应900亿 元人民币，市场空间较大。按照2017年的各产品结构占比拆分，薄膜沉积、刻蚀设 备、光刻设备的需求量都是在150-200亿左右的体量，前道PC检测设备95

16、亿元，封 装设备54亿元，测试设备72亿元。表4：2017年半导体设备价值量分部比例半导体设备种类价值量拆分比例 1价值量拆分比例 22019 年市场需求量（亿元）晶圆制造设备81%其中：光刻其中：23%19%167.67刻蚀设备24%19%174.96薄膜沉积27%22%196.83CMP/表面处理/清洁13%11%94.77检测设备13%11%94.77封装设备6%6%54.00测试设备8%8%72.00其他设备5%5%45.00数据来源：SEMI，发展研究中心工艺和产品变化会改变各个产品的潜在赛道。整个半导体制造领域，影响各个产品 潜在赛道的主要是：（1）工艺节点的变化，在28nm、14

17、纳米到10纳米、7纳米甚至5纳米的制程演进中， 现在市场上普遍适用色沉浸式光刻机受光波厂的限制，关键尺寸无法满足要求，因 此需要通过多次沉积+刻蚀的方式来实现更小的尺寸，多重模板工艺增加了刻蚀设备 的需求。同时由于关键尺寸的减小，对刻蚀的各种指标的要求也更加苛刻，随着制 程的不断演进，刻蚀设备的占比近年来也呈现快速提升趋势（2）产品端的变化。以存储器为例，2D存储器件线宽接近物理极限，NAND闪存进 入3D时代，而3D NAND需要增加堆叠的层数，需要刻蚀加工更深的孔以及更深的挖 槽，增加了对刻蚀设备的投资需求。根据东京电子的统计，3D NAND中刻蚀设备的 支出占比达到50%，远高于此前工艺

18、NAND的15%。SEMI的数据显示，2015年以后， 全球半导体设备销售额的占比，刻蚀设备开始超过薄膜沉积类设备，2017年后进一 步超过光刻机占比，更为价值量占比最大的关键工艺类设备。基于全球的动态视角看各个赛道的变化趋势。SEMI的数据显示，2015年以后，全球 半导体设备销售额的占比，刻蚀设备开始超过薄膜沉积类设备，2017年后进一步超 过光刻机占比，更为价值量占比最大的关键工艺类设备。图4：10nm多重模板工艺涉及多次刻蚀图5：2019年刻蚀设备在3D NAND资本开支的份额数据来源：SEMI，发展研究中心数据来源：东京电子官网，发展研究中心图6：低线宽时代刻蚀设备和CVD设备需求量

19、增加（金额占比%）数据来源：SEMI，发展研究中心特征二：核心工艺环节，海外有对标大企业前文所述，半导体的核心工艺环节，其价值量都是足够支撑一家较大的设备企业的， 核心工艺环节，价值量占比更大，相对来讲也更容易诞生大公司。要满足一线半导 体设备的另一个特征就是海外有对标的大企业，而且产品聚焦在核心工艺环节。目前国内的一线半导体设备企业，基本都诞生于核心工艺环节，比如北方华创所在 的产品系列直接与海外的应用材料对标，中微公司的产品与LAM/东京电子对标，盛 美半导体的产品与SCREEN对标。企业国家2018 年2019 年营业收入净利润营业收入净利润总市值表5：全球半导体设备企业2018-201

20、9年营收和利润状况（亿元人民币）应用材料美国1199.26230.291033.50191.453165.76阿斯麦荷兰858.81203.37923.79202.608542.79TOKYO ELECTRON日本667.88120.71778.03151.092255.63拉姆研究(LAM RESEARCH)美国717.83154.28663.65150.652487.40HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES日本445.0029.47445.0029.47726.67科天半导体(KLA CORP)美国267.0953.08314.1080.821721.82SCREEN HOL

21、DINGS日本221.7010.99221.7010.99166.10ASM PACIFIC新加坡172.1419.42143.225.55301.99ADVANTEST日本122.4010.69628.5934.69657.21泰瑞达美国144.1831.01160.1032.61695.35数据来源：Wind，发展研究中心 注：根据历史汇率进行换算，市值数据更新至最新交易日特征三：已经取得了相应的市场份额，并且竞争力持续放大从产品来看，目前国内半导体设备企业取得突破的主要集中于刻蚀设备、清洗设备 以及氧化/扩散/热处理设备。我们整理了国产装备在华力微、无锡华虹厂以及长江存 储中，国内一线半

22、导体设备企业的中标情况，发现：（1）一线设备企业中标时间偏 早，中微公司从2017年开始一直都有持续的中标，从中标梳理来看，有逐渐提升放 大的趋势；（2）一线设备企业在下游客户的市场份额已经具备相当的体量，以中微 公司为例，其刻蚀设备在华力集成、华虹无锡厂、长江存储的市占率分别达到了 15.52%、15.38%和15.8%，北方华创的氧化/扩散/热处理设备在长江存储的占有率 超过30%，盛美半导体的清洗设备在华力集成、华虹无锡厂、长江存储的占有率分 别为17.11%、13.64%和18.4%。表6：国产装备在华力集成的中标情况（台）公司设备类型201720182019合计国产化率中微公司刻蚀设

23、备513915.52%北方华创刻蚀设备111.72%薄膜沉积设备222.00%氧化/扩散/热处理设备226.25%盛美半导体清洗设备5351317.11%数据来源：中国招标网，发展研究中心表7：国产装备在华虹无锡厂的中标情况公司设备类型中标数量（台）国产化率中微公司刻蚀设备615.38%北方华创刻蚀设备25.13%薄膜沉积设备12.63%氧化/扩散/热处理设备23.77%盛美半导体清洗设备313.64%薄膜沉积设备37.89%数据来源：中国招标网，发展研究中心表8：国产装备在长江存储的中标情况（截止2020年2月）公司设备类型20020-02合计国产化率中微公司刻蚀设备5

24、111393815.8%北方华创刻蚀设备6393.7%薄膜沉积设备21251.2%氧化/扩散/热处理设备13173932.2%清洗设备222.3%盛美半导体清洗设备35621618.4%数据来源：中国招标网，发展研究中心光刻设备54.673.394.7150.7148.4209.6302.7390.9刻蚀设备57.076.598.8157.3154.8218.7315.9407.9沉积设备64.186.1111.2176.9174.2246.1355.4458.9二、二线变一线的几个必要条件对于当前国内的二线半导体设备企业而言，要想从二线晋升一线，我们认为需要满 足几个必要条件：（1）所在的产

25、品赛道市场空间大；（2）主流的产品认证突破， 主流的客户认证突破；（3）全球范围内同类产品拥有大的对标公司；（4）核心竞 争力具备持续扩张的能力，未来市占率有进一步提升可能性。要同时满足这几个条件，需要二线半导体设备企业在产品选择、产品力、研发能力 上做足储备。（一） 赛道：产品所在的赛道市场空间大 国内半导体设备行业正处在行业景气向上的阶段，各个产品赛道还逐渐呈现放大的 趋势，总体上看，行业需求总量仍在上行。但是由于半导体设备的工艺分类不同，对设备的需求密度有所差异。导致各个细分赛道市场空间差别较大。我们汇总了国内逻辑芯片厂和存储器厂的投资规划，绘制了未来3年国内半导体行业 需求情况表格。从

26、总投资来看，行业经历了2019年的短暂调整，预计从2020年开始， 行业投资体量将会保持每年30%的复合增速水平。总金额方面，预计2020年国内设 备总投资金额达到1125亿元，2022年达到2099亿元，增幅明显。在结构中，存储器 的扩产逻辑更加确定，增速也更快，2020-2022年行业增速保持在55%/61%和38%。各产品赛道中，“百亿”级以上都是长赛道。在各个产品中，光刻设备、刻蚀设备 和沉积设备是核心设备，以2022年为例，我们预计三大类设备的需求量分别为391 亿、408亿和459亿元。除此之外，过程工艺控制类检测设备2020年市场需求量为221 亿元，清洗设备市场规模类似，后道测

27、试设备市场需求量为168亿元。这些产品赛道 领域都是未来有持续的增长潜力的领域。结合海外来看，我们认为未来在国内诞生 “巨头”的可能性是较高的。在目前的二线标的设备中，处于清洗设备、检测设备（包括后道测试设备）、薄膜 沉积设备领域都具备诞生未来一线设备的潜力。表9：国内半导体设备未来需求情况测算（亿元）200182019E2020E2021E2022E设备总投资（亿元）293.3393.6508.4809.0796.41125.21625.02098.5同比增速10%34%29%59%-2%41%44%29%其中：逻辑芯片投资144.5244.8376.8456.0474

28、.7625.0819.1982.2同比增速167%69%54%21%4%32%31%20%存储器投资148.8148.8131.6353.1321.7500.2806.01116.3同比增速-30%0%-12%168%-9%55%61%38%其中本土存储器厂投资0.00.082.0191.688.3297.2519.7860.4同比增速134%-54%237%75%66%检测设备（过程工艺控制）30.941.553.585.283.9118.5171.1221.0清洗设备30.941.553.585.283.9118.5171.1221.0测试设备23.531.540.764.763.790.

29、0130.0167.9封装设备17.623.630.548.547.867.597.5125.9其他设备14.719.725.440.539.856.381.3104.9数据来源：SEMI，发展研究中心前文提到，半导体设备的制造工艺变化会在某些产品上改变产品的迭代速度。以中 芯国际、华虹集团为代表的国内头部晶圆代工厂，目标市场面向先进制程。包括中 芯国际北京12寸厂（28nm）、中芯南方上海12寸厂（14nm）、华力集成二期（28-14nm）、 弘芯武汉12寸厂（14nm）。从28nm到14nm甚至往5nm的工艺迭代过程中，半导体 设备的核心工艺环节变化较大，总体来看，刻蚀设备、过程工艺类控制

30、设备、清洗 设备的需求量会显著增加，对应赛道的产品斜率会略高于其他产品。目前国内市场需求大多数仍然被海外企业占据，我们从海外大企业的中国区收入规 模可以看到，海外龙头在各个细分领域的市场份额占比都超过了50%以上，部分产 品几乎实现了垄断，根据我们的数据测算，阿斯麦2019年来自中国市场的收入规模 占当年国内光刻机需求量的比例为96%，爱德万和泰瑞达两家企业的合计占比达到 了89%。企业中国大陆营业收入（亿元人民币）海外占比中国区业务收入占国内 市场份额比例测算应用材料355.4629.64%77.27%表10：2019年海外半导体设备企业在国内的市场份额占比测算阿斯麦144.6216.84%

31、95.97%东京电子137.7117.70%41.23%拉姆研究(LAM RESEARCH)115.6416.11%73.66%日立高新57.1012.83%21.71%科天半导体(KLA CORP)42.5515.93%50.06%SCREEN HOLDINGS60.7527.40%71.47%ASM PACIFIC120.3970.28%爱德万77.5445.10%62.03%泰瑞达34.5323.95%27.63%数据来源：Wind，发展研究中心 备注：应用材料、东京东子、日立高新等几个企业收入产品较多，我们做了汇总测算；同时部分 企业除了半导体设备之外，还包括LED、面板的收入规模，因

32、此分子分母均存在一定误差。对于 单一产品型企业的测算准确度更高（包括阿斯麦、科天半导体和SCREEN）（二）客户：主流的产品突破、主流的客户认证 对于二线设备厂商来说，面临最大的挑战在于无法提供成功的设备供应案例，所以 前期在客户端的产品认证过程缓慢。因此，想要完成跨越和突破，必须具备两个条件：产品本身性能达到国际同等先进水平，主流的客户完成认证并且获得重复订单。2019年是国产二线设备厂商突破的拐点之年。根据招标网数据显示，我们整理了来 自华力微、无锡华虹和长江存储三家典型的晶圆厂（或IDM厂）的招投标结果，发 现：2019年大多数新进入企业在众多新产品领域实现了突破。并且部分产品已经开 始

33、获得了重复订单。目前来看，华海清科的CMP设备、武汉惊鸿的ATE设备、沈阳拓荆的薄膜沉积设备 等都已经开始获得了客户的认证突破。核心的产品在重点客户获得认证通过，是二线半导体设备企业未来提升市占率的起 点。从目前二线设备企业所在产品领域计算，其国产化率大多是低于7%的（低于平 均水平），随着首次认证突破完成，我们认为后续产品放量的概率提升。表11：国产装备在华力集成的中标情况（台）公司设备类型201720182019合计国产化率华海清科研磨抛光设备1129.09%屹唐半导体氧化/扩散/热处理设备113.13%沈阳拓荆薄膜沉积设备2133.00%上海睿励膜厚检测110.69%沈阳芯源涂布/显影/

34、去胶设备1126.67%北京中科信离子注入设备113.13%数据来源：中国招标网，发展研究中心表12：国产装备在华虹无锡厂的中标情况公司设备类型中标数量（台）国产化率华海清科研磨抛光设备222.22%沈阳拓荆薄膜沉积设备25.26%上海微电子退火设备11.89%吉姆西半导体刻蚀设备12.56%过成功工艺控制11.85%研磨抛光设备111.11%数据来源：中国招标网，发展研究中心表13：国产装备在长江存储的中标情况（截止2020年2月）公司设备类型20020-02合计国产化率上海精测/武汉精鸿ATE5161.7%膜厚量测000330.9%中科飞测光学检测3251.6%华海清

35、科研磨抛光设备551014.9%屹唐半导体氧化/扩散/热处理设备110.8%沈阳拓荆薄膜沉积设备6282.0%上海睿励膜厚检测220.6%数据来源：中国招标网，发展研究中心（三）对标：具有全球比较大的对标企业海外半导体行业更加成熟，同时也培育了一大批本土的配套设备企业。我们发现， 海外的半导体设备企业，呈现出了一个重要特征：在各个工艺段设备，大多数都诞 生了龙头。同时，全能型的设备企业比较少（应用材料除外）。光刻机领域的龙头 是阿斯麦、刻蚀机领域涌现出了应用材料、东京电子、LAM和日立高新，镀膜设备 领域包括应用材料、东京电子等，清洗机主要是日本SCREEN、CMP设备领域主要 是应用材料和东

36、京电子，检测设备环节的龙头是KLA、爱德万和泰瑞达。众多龙头 企业在全球的占有率水平超过了50%。二线的半导体设备企业要逐渐走入一线，海外的对标公司提供了更加清晰的发展路 径。我们罗列了部分二线设备企业，根据其业务梳理了对应的全球对标企业：（1） 清洗设备：国内清洗设备中，至纯科技从高纯系统导入清洗机业务领域，2019 年开始逐渐陆续有了收入贡献，海外的清洗机业务对标公司是日本SCREEN， 其占全球单片式清洗机领域市场份额超过50%，2019年实现业务收入221.7 亿元，实现净利润规模为10.99亿元，总市值超过150亿元人民币（数据截止 至5月7日）。（2） 检测设备：检测设备分为前道P

37、C过程工艺控制设备，和后道ATE设备。前 道过程工艺控制类设备全球对标公司是美国KLA，其2019年实现营业收入规 模314亿元，实现净利润水平80.82亿元，盈利能力较强，毛利率和净利率水 平分别为60%和26%，最新市值超过1700亿元人民币。后道ATE领域全球有 两家行业龙头对标公司，分别是日本爱德万和美国泰瑞达。日本爱德万2019 年营业收入规模171.92亿元，实现净利润34.69亿元，毛利率水平达到55%， 净利率为20%，市值超过600亿元人民币。美国泰瑞达2019年营业收入规模 为160.1亿元，净利润为32.61亿元，毛利率水平为58%，净利率为25%，总 市值规模超过了65

38、0亿元。检测设备领域是除了三大核心设备领域之外最广 阔的赛道，国内目前涌现出了多家企业在这个领域耕耘突破。（3） 镀膜设备和CMP设备：全球镀膜设备和CMP设备龙头是应用材料，除了镀 膜和CMP设备之外，应用材料还涉及到离子注入、刻蚀机和检测设备、氧化 设备等，是全球比较少有的全能型半导体设备企业。应用材料在镀膜设备领 域的市占率超过50%，在CMP设备领域的市占率超过70%，其2019年营业 收入规模达到了1033.50亿元，净利润规模达到191.45亿元，市值规模超过 3000亿元。表14：2019年海外半导体设备企业产品和国内设备企业的对比分析企业光刻机刻蚀机镀膜设备清洗机CMP 设备检

39、测设备离子注入氧化设备封装设备应用材料阿斯麦TOKYO ELECTRON拉姆研究(LAM RESEARCH)日立高新科天半导体(KLA CORP)SCREEN HOLDINGSASM PACIFICADVANTEST泰瑞达国内对标公司国内上市企业中微公司北方华创北方华创-武汉惊鸿万业企业北方华创联得装备北方华创-至纯科技-华峰测控-光力科技-华兴源创-上海精测-长川科技-国内非上市企业上微沈阳拓荆盛美华海清科上海睿励-北京屹唐中电科-数据来源：Wind，各公司官网，发展研究中心表15：国内半导体二线设备企业的海外对标公司分析国内二线设备企业海外对标公司对标企业市占率2019 年营业收入规模20

40、19 年净利润毛利率净利率清洗设备至纯科技SCREEN51%221.710.9930%8%SEMES19%检测设备武汉惊鸿爱德万26%171.9234.6955%20%泰瑞达37%160.132.6158%25%上海精测KLA50%314.180.8260%26%应用材料12%1033.5191.4544%19%华峰测控泰瑞达37%160.132.6158%25%爱德万26%171.9234.6955%20%长晶设备晶盛机电镀膜设备沈阳拓荆应用材料50%1033.5191.4544%19%CMP 设备华海清科应用材料70%1033.5191.4544%19%日本荏原25%数据来源：Wind，发展研究中心（四）