2022年半导体ALD设备销量大幅增加 原图定位 公司半导体业务在手订单充裕,存储为主要来源。2021 年 9 月,公司半导体 ALD 设备在前道工艺产线上完成验证,之后订单纷至沓来,从 2020 的 1 台增加到 2022 年 6台;根据公司 2023 年半年报,截止 2023 年年中,公司半导体设备在手订单为 5.48亿元,增长势头迅猛。