中微刻蚀机进入台积电产线的历史成绩 原图定位

一线设备公司逐步走出海外。中微公司已进入到台积电的 5nm制程产线。根据集微网、DRAMeXchange等，作为 5家刻蚀设备供应商之一，2017年底中微被 TSMC纳入 7nm制程设备采购名单，2018年底其自主研发的等离子体刻蚀机经 TSMC验证通过并于 2021年初确认进入 5nm生产线。在台积电 5nm制程产线扩能和 3nm工艺即将量产期内，中微的等离子体刻蚀机台已突破 5nm技术，且可用于 3nm制程的刻蚀机 Alpha原型机评估已经完成，需求有望延续并享受先进制程工艺不断迭代带来的需求增长。根据盛美股份招股书，盛美半导体 2019年销售收入中，SK海力士为其贡献收入 1.52亿元占比20%，是公司第三大客户，同时 2021Q1业绩报告中透露，SK海力士已经成为盛美的第一大主要客户且将投入 1070亿美元建设 4座新的存储芯片生产基地，盛美半导体将获得很好的业绩空间。