台积电12/16nm产线对应CMP设备需求(2万片/月) 原图定位 国内在建及规划产能对 CMP 设备需求超 300 亿元,成长空间广阔。台积电南京 12 寸晶圆产线(一期)为 12nm/16nm 的先进制程工艺,月产能 2 万片,目前已满产,根据《台积电(南京)有限公司环境风险评估报告》,该项目环评设计所需 CMP 设备 32 台,分别为12 台 Cu CMP、16 台氧化层 CMP 和 4 台 W CMP,因此我们可以判断月产能 1 万片的12nm/16nm 产线大约需要 16 台 CMP 抛光设备。保守假设中国大陆 12 寸晶圆产线平均每万片扩产需要 8 台 CMP 设备,根据 ITTBANK 数据显示国内 12 寸晶圆产线扩产规划约为 206万片/月,假设产线产能与设备投入量线性相关,对应的 CMP 设备需求量至少为 1648 台,假设 12寸 CMP设备单价为 2000万元,则规划 12寸线对应国内 CMP设备价值量将达到 330亿元人民币;假设规划产能平均在 5 年内进行设备招标,则对应平均每年国内的 CMP 设备的采购需求为 66 亿元。