部分真空镀膜设备企业介绍 原图定位 复合铜箔产业链上游原材料端主要有铜靶材、PET基膜、PP基膜,其中PET基膜相关企业有双星新材、东材科技、裕兴股份等,PP基膜厂商有东材科技等;上游设备端主要有PVD磁控溅射设备及电镀设备,前者主要厂商包括应用材料、爱发科、德国莱宝、腾盛科技等;后者龙头企业为东威科技。产业链中游即复合铜箔制造商,主要有重庆金美、诺德股份、嘉元科技、宝明科技等。产业链下游应用商主要覆盖动力电池、储能电池及3C消费电池,对应厂商主要有宁德时代、厦门海辰、ATL新能源等。上游设备端进口依赖度高,亟待实现国产替代。市场主要采用两步法工艺,核心设备包括前道的真空磁控溅射设备和后道的水电镀设备。前者主要被海外企业垄断,包括美国应用材料、日本爱发科、德国莱宝等。国内企业布局晚,但已陆续取得突破。根据东威科技公开资料显示,目前市场磁控建设设备以单面为主,东威已开发出适合产业化发展的磁控溅射类双面镀铜镀膜设备,2022年首台真空磁控溅射双面镀铜设备正式下线出货。