等离子体源的频率范围 原图定位 低频端的射频放电,除重离子外,等离子体中的其他各种荷电粒子运动均可以跟上射频电磁场变化;高频端的射频放电,等离子体中只有电子可以响应射频电磁场变化,离子由于惯性大,只能响应时间平均的电场。