公司的半导体晶圆退火产品供货顶级设备厂商 原图定位 泛半导体市场,公司的产品不断突破新的应用领域,依靠尖端技术打破国外公司垄断地位。在光刻领域,公司为客户提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件广场匀化器,是荷兰 ASML 光学设备核心供应商的重要供应商。在晶圆退火领域,28nm以下制程的晶圆制造过程中激光退火必不可少,该工艺需要采用近红外波段的半导体激光光源在不到一毫秒内将晶圆表层原子加热到 1000℃以上,再急速冷却,使得晶圆表面形成超浅结和高激活结,从而起到提升良率的目的。公司推出的 DLightS 系列半导体集成电路退火系统,可产生一条长宽比为 160:1 的极窄光斑,并在光斑长度方向达到 95%的能量均匀性和 98%以上的能量稳定性,应用在半导体前道工序中,完成动态表面退火(DSA)和激光尖峰退火(LSA)两类工艺。产品已经进入上海微电子、北京华卓精科、韩国 DIT 等客户供应体系。在显示面板生产领域,激光剥离是柔性 OLED 面板生产的关键制程之一,公司固体激光剥离紫外线光斑系统可帮助企业提升产能 30%以上,目前已经取得国际主流面板厂商如韩国 LG 电子、京东方、日本夏普生产线中部分份额,固体激光退火紫外线光斑系统 2020 年已经交付第一台样机,打破相干公司准分子激光退火过去十年来在该领域的全球优势地位。