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1、证券研究报告公司深度研究半导体 东吴证券研究所东吴证券研究所 1/32 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 中科飞测-U(688361)产品线持续丰富完善,引领半导体量产品线持续丰富完善,引领半导体量/检测设检测设备进口替代备进口替代 2023 年年 08 月月 09 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书:S0600515110002 证券分析师证券分析师 马天翼马天翼 执业证书:S0600522090001 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元)74.28 一年最低/最高价 65.00/87.98 市净率(倍)2
2、9.63 流通 A 股市值(百万元)4,451.45 总市值(百万元)23,769.60 基础数据基础数据 每股净资产(元,LF)2.51 资产负债率(%,LF)66.29 总股本(百万股)320.00 流通 A 股(百万股)59.93 相关研究相关研究 增持(首次)Table_EPS 盈利预测与估值盈利预测与估值 2022A 2023E 2024E 2025E 营业总收入(百万元)509 747 1,059 1,447 同比 41%47%42%37%归属母公司净利润(百万元)12 53 114 187 同比-78%351%115%64%每股收益-最新股本摊薄(元/股)0.04 0.17 0.
3、36 0.58 P/E(现价&最新股本摊薄)2,024.07 448.77 208.63 127.19 Table_Tag 关键词:关键词:#进口替代进口替代 Table_Summary 投资要点投资要点 引领量引领量/检测设备进口替代,收入规模持续快速增长检测设备进口替代,收入规模持续快速增长 公司是本土量公司是本土量/检测设备龙头,检测设备龙头,成功成功供货中芯国际、长江存储、福建晋华供货中芯国际、长江存储、福建晋华等主流半导体客户,引领进口替代同时,收入规模实现快速增长。等主流半导体客户,引领进口替代同时,收入规模实现快速增长。1)收入端:)收入端:2018 年营收仅为 2985 万元,
4、2022 年达 5.09 亿元,期间 CAGR 高达 103%,2023Q1 实现营收 1.62 亿元,同比+255%,加速增长。2)利润端:)利润端:与收入端高速增长形成对比的是,公司利润端波动较大。2022 年实现归母净利润 0.12 亿元,同比-78%;2023Q1 归母净利润达 0.31 亿元,同比+259%。2022 年公司扣非净利率为-17.25%,同比-18.22pct,真实盈利大幅下降,主要系高强度研发投入所致,2022 年研发费用率达到 40.40%,同比+14.04pct;2023Q1 公司扣非净利率为-0.49%,受益于规模效应,真实盈利有所回升。我们注意到公司整体毛利率
5、呈上升趋势,2021-2023Q1 分别达到 48.96%、48.67%和 55.26%,优于行业平均水平,表现出色。截至 2023Q1 末,公司存货和合同负债分别达 9.19 亿元和 5.45 亿元,充足订单有望支持公司业绩持续快速增长。前道设备弹性最大环节之一,迎国产替代最佳机遇前道设备弹性最大环节之一,迎国产替代最佳机遇 量量/检测设备产品技术壁垒高、种类多,在半导体设备中价值量占比仅次检测设备产品技术壁垒高、种类多,在半导体设备中价值量占比仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀,达到于薄膜沉积、光刻和刻蚀,达到 11%。我们预计。我们预计 2023 年中国大陆量年中国大陆量/检测设备检测设备市场规
6、模将达到市场规模将达到 222 亿元,市场需求广阔。亿元,市场需求广阔。全球范围内来看,KLA 在半导体量/检测设备领域一家独大,2020 年市场份额高达 51%。此外,在半导体前道设备中,量/检测设备盈利水平尤为出色,2022 财年 KLA 净利率高达 36%,明显优于 AMAT、LAM 等半导体设备龙头。中科飞测、上海精测、睿励科学等本土厂商虽已经实现一定突破,但量/检测设备仍是前道国产化率最低的环节之一,上述三家企业 2022 年营收合计 7.46 亿元,对应市场份额不足 3%,远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。展望未来,在美国制裁升级展望未来,在美国制裁升级背景下,背景下,K
7、LA 在中国大陆业务将受到一定冲击,本土晶圆厂加速国产设备导在中国大陆业务将受到一定冲击,本土晶圆厂加速国产设备导入,量入,量/检测设备有望迎来国产替代最佳窗口期。检测设备有望迎来国产替代最佳窗口期。国产替代加速国产替代加速&产品线持续完善,公司具备持续快速扩张潜力产品线持续完善,公司具备持续快速扩张潜力 公司在稳固现有产品竞争优势同时,积极布局先进制程设备,并不断拓展公司在稳固现有产品竞争优势同时,积极布局先进制程设备,并不断拓展量量/检测设备品类,成长空间持续打开。检测设备品类,成长空间持续打开。1)公司主营四大类系列设备相关技术指标可对标海外一线龙头,当前市占率仍较低,有较大提升空间。此
8、外,公司积极拓展先进制程,14-10nm 无图形晶圆缺陷检测设备研发项目正在快速推进,28nm 以下的套刻精度测量设备已经发往客户验证,并获得 2 家客户订单。2)公司积极布局纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备、晶圆金属薄膜量测设备等新产品线,覆盖面进一步拓宽。此外,公司 IPO 募投可新增检测设备产能 150 台、量测设备产能 80 台,对应销售收入约 6.42 亿元,大幅提升公司产能水平,支撑收入规模持续扩张。盈利预测与投资评级:盈利预测与投资评级:我们预计 2023-2025 年公司营业收入分别为 7.47、10.59 和 14.47 亿元,当前市值对应动态 PS 分别为 32、
9、22 和 16 倍。考虑到公司成长性较为突出,首次覆盖,给予“增持”评级。风险提示:风险提示:晶圆厂资本开支不及预期,设备研发验证进度不及预期等。-9%-6%-3%0%3%6%9%12%15%18%21%2023/5/192023/6/152023/7/122023/8/8中科飞测-U沪深300 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 2/32 内容目录内容目录 1.引领量引领量/检测设备进口替代,收入规模持续快速增长检测设备进口替代,收入规模持续快速增长.5 1.1.引领量/检测设备进口替代,产品供货主流半导体客户.5 1
10、.2.背靠中科院微电子所具备得天优势,掌握多项量/检测核心技术.9 1.3.收入规模持续快速增长,高研发投入短期压制盈利水平.11 2.前道设备弹性最大环节之一,迎国产替代最佳机遇前道设备弹性最大环节之一,迎国产替代最佳机遇.15 2.1.量/检测设备国内市场规模超过 200 亿元,KLA 市场份额超过 50%.15 2.1.1.量/检测设备细分种类众多,国内市场规模超过 200 亿元.15 2.1.2.KLA 全球市场份额超过 50%,量/检测设备盈利水平极为出色.18 2.2.量/检测设备是国产化率最低环节之一,本土企业正在快速突破.19 3.国产替代加速国产替代加速&产品线完善丰富,公司
11、具备持续扩张产品线完善丰富,公司具备持续扩张潜力潜力.23 3.1.成熟产品技术指标对标海外龙头,仍具备较大国产替代空间.24 3.2.前道量/检测设备产品线持续拓宽,进一步打开成长空间.25 3.3.募投项目加码产能扩张&研发中心,夯实核心竞争力.27 4.盈利预测与投资评级盈利预测与投资评级.28 5.风险提示风险提示.29 YYtU0UUUlVwVbRcMbRsQpPoMpMfQrRuMiNrQpP9PrQoOvPrMnPMYsRuM 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 3/32 图表目录图表目录 图 1:公司在半
12、导体检测设备和量测设备领域持续取得突破.5 图 2:CHEN LU(陈鲁)、哈承姝夫妇为公司实际控制人(截至 2023.5.19).6 图 3:公司主营产品涵盖检测设备和量测设备两大类.7 图 4:2022 年公司检测设备营收占比达 75.53%.8 图 5:无图形晶圆缺陷检测设备是公司最大收入来源.8 图 6:2019-2021 年公司前道领域收入占比快速提升.8 图 7:公司量/检测设备供货国内主流集成电路厂商,客户集中度逐年降低.9 图 8:公司核心技术人员均有中科院微电子所任职经历.9 图 9:2022 年年末公司研发人员占比 43.03%.10 图 10:公司研发团队人员规模快速扩张
13、.10 图 11:2018-2022 年公司研发费用 CAGR 高达 55.64%.10 图 12:2022 年公司研发费用率高于其他前道设备公司.10 图 13:公司掌握 9 项光学&算法核心技术,技术水平国内领先.11 图 14:2018-2022 年公司营收 CAGR 高达 103%.12 图 15:2018-2022 年检测设备收入 CAGR 高于营收端.12 图 16:2019-2022 年无图形晶圆缺陷检测和图形晶圆缺陷检测设备量价齐升.12 图 17:2020 年公司归母净利润实现扭亏为盈.13 图 18:2018-2022 年公司盈利水平出现一定波动.13 图 19:2022
14、年公司销售毛利率持续提升.13 图 20:2018-2022 年公司检测设备毛利率持续提升.13 图 21:2020-2022 年公司期间费用率有一定提升.14 图 22:2022 年公司存货&合同负债大幅增长.14 图 23:2022 年末公司存货中发出商品占比达 48%.14 图 24:量/检测设备主要用于晶圆制造和先进封装过程中各类关键工艺参数的测量.15 图 25:量/检测设备主要包括检测和量测设备两大类.16 图 26:2020 年检测设备在量/检测设备中占 63%.16 图 27:光学检测为量/检测设备主要技术路径.16 图 28:光学技术在三维形貌测量、光刻套刻测量等领域具备较强
15、应用优势.17 图 29:量/检测设备在半导体设备中价值量占比约 11%.17 图 30:光学检测设备在量/检测设备中销售额占比 52%.17 图 31:2024 年中国大陆半导体量/检测设备市场规模有望达到 270 亿元.18 图 32:KLA 在全球半导体量/检测设备市场占比 51%.18 图 33:KLA 在部分检测设备领域全球市占率超过 70%.18 图 34:KLA 毛利率大幅高于 AMAT、LAM 等海外龙头.19 图 35:KLA 净利率整体处于行业领先地位.19 图 36:2022 年精测电子(半导体)和中科飞测在前道设备行业毛利率靠前.19 图 37:2020 年 KLA 在
16、本土量/检测设备市场占比 58%.20 图 38:2022 年华虹无锡量/检测设备国产化率仅 2%.20 图 39:2022 年上海睿励、上海精测和中科飞测合计市场份额不足 3%.20 图 40:中国大陆半导体设备企业已经基本覆盖主要的量/检测设备环节.21 图 41:中国大陆量/检测设备企业产业化进程快速推进.21 图 42:中科飞测、上海精测、睿励科学等厂商陆续取得中国大陆晶圆厂量/检测设备订单.22 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 4/32 图 43:美、荷、日相继加码半导体设备出口限制.22 图 44:202
17、2 财年 KLA 在中国大陆收入达 26.6 亿美元.23 图 45:2022 财年 KLA 对中国大陆收入占比达到 29%.23 图 46:公司在半导体量/检测设备领域的产品覆盖面达到 62.6%.23 图 47:公司四大核心量/检测设备产品技术指标较为领先.24 图 48:公司 28nm 以下制程相关产品研发&验证进展快速推进.24 图 49:公司三大成熟产品系列仍具备较大国产替代空间.25 图 50:公司积极布局纳米图形晶圆检测设备、OCD、金属薄膜量测设备等领域.25 图 51:纳米图形缺陷检测和 OCD 设备合计市场占比 35%.26 图 52:2024 年中国大陆两类设备市场规模合
18、计 94 亿元.26 图 53:公司纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备仍处于研发设计阶段.26 图 54:2018-2022 年公司产量 CAGR 高达 92%.27 图 55:2019-2021 年公司产能利用率持续上升.27 图 56:公司 IPO 募投项目重点加码“高端半导体质量控制设备产业化项目”.27 图 57:“高端半导体质量控制设备产业化项目”达产后销售收入预计可达 6.42 亿元.27 表 1:公司分业务收入预测(百万元).28 表 2:可比公司估值(PS,截至 2023/08/08 收盘股价).29 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东
19、吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 5/32 1.引领量引领量/检测设备进口替代,收入规模持续快速增长检测设备进口替代,收入规模持续快速增长 1.1.引领量引领量/检测设备进口替代,产品供货主流半导体客户检测设备进口替代,产品供货主流半导体客户 中科飞测成立于中科飞测成立于 2014 年,年,是是国内领先的高端半导体质量控制设备公司,专注于检国内领先的高端半导体质量控制设备公司,专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。成立 3 年后,公司无图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备分别通过中芯国际、长电科技产线验证;2018
20、和 2020年图形晶圆缺陷检测、薄膜膜厚量测设备分别通过客户验证,产品丰富进一步完善,引领量/检测设备进口替代,相关产品已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路产线。在产品技术突破在产品技术突破的的同时,公司企业品牌同时,公司企业品牌也在也在持续提升。持续提升。2020 年公司获评中芯天津“最佳供应商”称号,2020 年和 2021 年三维形貌量测设备和无图形晶圆缺陷检测设备又获得中国集成电路创新联盟颁发的“IC 创新奖”技术创新奖。2023 年公司登陆资本市场,开启新的发展篇章。图图1:公司在公司在半导体半导体检测设备和量测设备领域持续取得突破检测设备和量测设备领域持续取得突破 数据来源
21、:公司招股说明书,东吴证券研究所 CHEN LU(陈鲁)、(陈鲁)、哈承姝哈承姝夫妇夫妇为为公司实际控制人,公司实际控制人,背靠中科院微电子所背靠中科院微电子所。截至 2023年 5 月 19 日,CHEN LU(陈鲁)、哈承姝夫妇通过苏州翌流明持有公司 11.81%股份。此外,哈承姝直接持有公司 5.20%股份,小纳光持股比例约为 5.89%。我们注意到中科院微电子所我们注意到中科院微电子所直接直接持有公司持有公司 3.63%股份,包括董事长股份,包括董事长 CHEN LU(陈(陈鲁)鲁)在内核心技术骨干均来自中科院微电子所在内核心技术骨干均来自中科院微电子所。作为我国微电子科学技术与集成电
22、路领作为我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构域的重要研发机构,中科院微电子所中科院微电子所人才技术水平储备雄厚,背靠中科院微电子所使得人才技术水平储备雄厚,背靠中科院微电子所使得 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 6/32 公司人才技术资源优势明显公司人才技术资源优势明显。图图2:CHEN LU(陈鲁)、(陈鲁)、哈承姝哈承姝夫妇为公司实际控制人夫妇为公司实际控制人(截至(截至 2023.5.19)数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 公司主营产品包含检测设备和量测设备两大品类,公司主营产品包含检测设备和
23、量测设备两大品类,主要主要包括无图形晶圆缺陷检测设包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备等备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备等系列系列产品。产品。1)检测设备:)检测设备:无图形晶圆缺陷检测设备无图形晶圆缺陷检测设备:实现无图形晶圆表面的缺陷计数,识别缺陷的类型和空间分布,主要包括 SPRUCE-600 和 SPRUCE-800 两种型号,已成功进入中芯国际等知名晶圆制造厂商产线,对应 1Xnm 产线的 SPRUCE-900 型号设备正在研发中。图形晶圆缺陷检测设备图形晶圆缺陷检测设备:主要应用于晶圆表面亚微米量级的二维、
24、三维图形缺陷检测,主要包括 BIRCH-60 和 BIRCH-100 两种型号,已在长电先进、华天科技等先进封装厂商产线上实现无差别应用,并成功进入前道市场。2)量测设备:)量测设备:公司三维形貌量测设备公司三维形貌量测设备:主要应用于晶圆上的纳米级三维形貌测量、双/多层薄膜厚度测量、关键尺寸和偏移量测量,主要包括 CYPRESS-T910 和 CYPRESS-U950 两种型号,其中 CYPRESS-U950 重复性精度达 0.1nm,能够支持 2Xnm 及以上制程工艺,已 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 7/32
25、 在长江存储等知名晶圆制造厂商的产线上实现无差别应用。薄膜膜厚量测设备薄膜膜厚量测设备:主要应用于晶圆上纳米级的单/多层膜的膜厚测量,LATI-900重复性精度达 0.003 nm,已通过士兰集科产线验证。3D 曲面玻璃量测设备曲面玻璃量测设备:主要应用于 3D 曲面玻璃等构件的轮廓、弧高、厚度、尺寸测量,已通过蓝思科技验证。图图3:公司主营产品涵盖检测设备和量测设备两大类公司主营产品涵盖检测设备和量测设备两大类 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 检测设备检测设备占营收比重超过占营收比重超过 70%,其中其中无图形晶圆缺陷检测设备无图形晶圆缺陷检测设备是主要构成部分是主要构成部分。1)
26、分业务看,检测设备已成公司主要收入来源,2018-2022 年收入占比分别为 42.33%、59.70%、65.61%、73.56%和 75.53%,快速提升。2)就具体产品来看,无图形晶圆检测设备为公司主要营收构成,2018 年收入占比 25.51%,2022 年提升至 50.76%,2022 年图形晶圆缺陷检测占营收比重为 25.83%。3)若按照应用领域划分,2019-2021 年公司在前道领域收入占比分别为 54.48%、57.79%和 64.83%,持续快速提升。产品名称产品名称图示图示产品性能产品性能应用领域应用领域无图形晶圆缺陷检无图形晶圆缺陷检测设备系列测设备系列主要应用于硅片
27、的出厂品质管控、晶圆的入厂质量控制、半导体制程工艺和设备的污染监控。该系列的设备能够实现无图形晶圆表面的缺陷计数,识别缺陷的类型和空间分布集成电路前道制程图形晶圆缺陷检测图形晶圆缺陷检测设备系列设备系列主要应用于晶圆表面亚微米量级的二维、三维图形缺陷检测,能够实现在图形电路上的全类型缺陷检测。拥有多模式明/暗照明系统、多种放大倍率镜头,适应不同检测精度需求,能够实现高速自动对焦,可适用于面型变化较大翘曲晶圆集成电路前道制程和先进封装三维形貌量测设备三维形貌量测设备系列系列主要应用于晶圆上的纳米级三维形貌测量、双/多层薄膜厚度测量、关键尺寸和偏移量测量,配合图形晶圆智能化特征识别和流程控制、晶圆
28、传片和数据通讯等自动化平台集成电路前道制程和先进封装薄膜膜厚量测设备薄膜膜厚量测设备系列系列主要应用于晶圆上纳米级的单/多层膜的膜 厚测量,采用椭圆偏振技术和光谱反射技 术实现高精度薄膜膜厚、n-k 值的快速测 量集成电路前道制程3D曲面玻璃量测设曲面玻璃量测设备系列备系列主要应用于 3D 曲面玻璃等构件的轮廓、弧高、厚度、尺寸测量,采用光谱共焦技术,实现高精度、高速度的非接触式测量。搭载可配置的全自动测量件工具和完整的测试及结果分析界面精密加工检测检测设备设备量测量测设备设备 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 8/3
29、2 图图4:2022 年公司检测设备营收占比达年公司检测设备营收占比达 75.53%图图5:无图形晶圆缺陷检测设备是无图形晶圆缺陷检测设备是公司最大收入来源公司最大收入来源 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 图图6:2019-2021 年公司前道领域收入占比快速提升年公司前道领域收入占比快速提升 数据来源:公司公告,东吴证券研究所 公司量公司量/检测设备已供货国内半导体产业各细分环节龙头,客户群体持续扩张。检测设备已供货国内半导体产业各细分环节龙头,客户群体持续扩张。1)公司客户涵盖前道制程、先进封装、设备、材料等多个环节:前道制程客户:前道制
30、程客户:包括中芯国际、长江存储、福建晋华、青岛芯恩、广州粤芯等;先进封装客户先进封装客户:包含长电科技、华天科技、通富微电等;硅片厂(材料)客户硅片厂(材料)客户:包含中环、上海新昇、金瑞泓等。2)从收入占比来看,从收入占比来看,2018-2022年公司前五大客户年公司前五大客户营收营收占比分别为占比分别为97.43%、72.72%、51.21%、44.32%、33.27%,客户集中,客户集中度度逐渐降低,主要系客户群体持续扩张,中芯国逐渐降低,主要系客户群体持续扩张,中芯国际、长江存储等头部晶圆厂常年位列公司前五大客户际、长江存储等头部晶圆厂常年位列公司前五大客户,彰显出,彰显出公司产品公司
31、产品的的市场竞争力市场竞争力。0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%200212022其他业务量测设备检测设备0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%200212022其他(含薄膜膜厚量测设备)3D曲面玻璃量测设备三维形貌量测设备图形晶圆缺陷检测设备无图形晶圆缺陷检测设备54.48%57.79%64.83%34.58%37.75%33.53%10.95%4.46%1.64%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%201920202021精密加工领域先进封装领域前道制程领域
32、 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 9/32 图图7:公司量公司量/检测设备供货国内主流集成电路厂商,客户集中度逐年降低检测设备供货国内主流集成电路厂商,客户集中度逐年降低 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 1.2.背靠背靠中科院微电子所中科院微电子所具备得天优势具备得天优势,掌握多项量,掌握多项量/检测核心技术检测核心技术 公司核心技术人员曾就职于中科院微电子所公司核心技术人员曾就职于中科院微电子所,奠定了公司雄厚的技术和奠定了公司雄厚的技术和人才人才基础基础。公司核心技术 CHEN LU(陈鲁)、黄有为、杨
33、乐均曾就职于中科院微电子所,董事长CHEN LU(陈鲁)曾任微电子所研究员、博士生导师,首席科学家黄有为、杨乐曾任助理研究员。此外,王天民、张朝前等研发项目负责人也曾在微电子所担任助理研究员及高级工程师等职务。公司与中科院微电子所不仅在人员上多有往来,双方同时还有多个公司与中科院微电子所不仅在人员上多有往来,双方同时还有多个合作研发合作研发&共同申报的科研课题项目,始终保持密切的合作关系共同申报的科研课题项目,始终保持密切的合作关系。我们认为在中科院微。我们认为在中科院微电子所产学研资源加持下,有利于公司在量电子所产学研资源加持下,有利于公司在量/检测领域保持技术领先性检测领域保持技术领先性。
34、图图8:公司核心技术人员均有中科院微电子所任职经历公司核心技术人员均有中科院微电子所任职经历 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 序号客户名称主要销售内容销售金额(万元)营收占比序号客户名称主要销售内容销售金额(万元)营收占比1中芯国际检测设备4,160.128.17%1芯恩(青岛)集成电路有限公司检测设备、量测设备4,495.4512.47%2士兰集科检测设备、量测设备3,879.867.62%2长电先进检测设备、量测设备4,145.5911.50%3长江存储检测设备、量测设备3,212.366.31%3华天昆山检测设备、量测设备2,816.497.81%4芯恩(青岛)集成电路有限公司
35、检测设备、量测设备2,937.035.77%4中芯国际检测设备2,365.576.56%5浙江创芯集成电路有限公司检测设备、量测设备2,750.965.40%5福建省晋华集成电路有限公司检测设备2,155.005.98%16,940.3333.27%15,978.0944.32%序号客户名称主要销售内容销售金额(万元)营收占比序号客户名称主要销售内容销售金额(万元)营收占比1华天昆山检测设备、量测设备4,732.5819.92%1长电先进检测设备、量测设备1,186.0921.19%2客户B检测设备2,123.898.94%2长江存储量测设备853.115.24%3中芯国际检测设备、量测设备2
36、,097.998.83%3中芯绍兴检测设备806.414.40%4长江存储量测设备1,695.667.14%4通富微电检测设备667.3211.92%5士兰集科检测设备、量测设备1,516.226.38%5华天昆山检测设备558.419.97%12,166.3451.21%4,071.3172.72%2021合计2019合计2022合计2020合计序号姓名任职情况简历1CHEN LU(陈鲁)董事长兼总经理毕业于中国科学技术大学少年班,物理学专业学士学位;美国布朗大学物理学专业,博士研究生学位。2003年11月至2005年10月,任RudolphTechnologies(现创新科技)(现创新科技
37、)系统科学家;2005年11月至2010年2月,任科磊半导体科磊半导体资深科学家;2010年3月至2016年8月,任中科院微电子所中科院微电子所研究员、博士生导师;2014年12月至2017年5月,任公司董事兼总经理;2017年5月至今,任公司董事长兼总经理。2黄有为首席科学家毕业于北京理工大学光学工程专业,博士研究生学历。2010年9月至2012年7月,任清华大学博士后;2012年9月至2016年2月,任中科院微电子所中科院微电子所助理研究员;2016年2月至2016年6月,任北京中航智科技有限公司研发工程师;2016年6月至今,任公司首席科学家。3杨乐首席科学家毕业于中国科学院长春光学精密
38、机械与物理研究所光学工程专业,博士研究生学历。2012年7月至2020年2月,历任中科院微中科院微电子所电子所助理研究员、高级工程师;2015年3月至今,任公司首席科学家。请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 10/32 公司高度重视研发团队建设,公司高度重视研发团队建设,形成一支素质过硬的研发团队形成一支素质过硬的研发团队。半导体设备作为典型的技术密集型行业,人才队伍建设至关重要,2019 年公司研发人员 96 人,2022 年提升至 324 人,占员工总数 43%。为建立长效激励机制,吸引和留住优秀人才,公司设立小纳光
39、作为员工持股平台。截至 2023 年 5 月 19 日,小纳光持有公司 5.89%股份。图图9:2022 年年末公司研发人员占比年年末公司研发人员占比 43.03%图图10:公司研发团队人员规模快速扩张公司研发团队人员规模快速扩张 数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:Wind,东吴证券研究所 研发投入强度持续加大研发投入强度持续加大,研发费用率高于本土半导体设备同行。,研发费用率高于本土半导体设备同行。2018 年公司研发费用 0.35 亿元,2022 年达到 2.06 亿元,期间 CAGR 高达 55.64%,呈现快速增长态势。2022 年公司研发费用率为 40.40%,较 202
40、1 年提升 14.04pct,在收入规模持续扩张背景下,研发费用率仍大幅提升,高于同期北方华创、中微公司、拓荆科技、精测电子、芯源微、盛美上海等本土同行,研发投入力度可见一斑。我们认为高强度的研发投入有助于公司持续实现技术突破,不断缩小与国外先进水平的差距。图图11:2018-2022 年公司研发费用年公司研发费用 CAGR 高达高达 55.64%图图12:2022 年公司研发费用率高于其他前道设备公司年公司研发费用率高于其他前道设备公司 数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:Wind,东吴证券研究所 研发人员43.0%生产人员18.1%管理人员14.9%销售及技术支持人员24.0%0
41、%10%20%30%40%50%60%70%80%90%050030035020022研发人员(人)同比-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%140%0500200212022研发费用(百万元)同比(%)0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%202020212022 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 11/32 公司已掌握公司已掌握多项多项光学光学、算法核心技术,算法核心技术,相关相关技术水平
42、国内领先。技术水平国内领先。半导体半量/检测设备的主要技术壁垒在于光学检测技术、大数据检测算法以及自动化控制软件等。公司依靠自主研发,已掌握 9 项相关核心技术,公司产品在设备灵敏度/重复性精度、吞吐量、功能性等关键的性能指标上实现了持续提高和突破,可以与国际竞品相媲美。图图13:公司掌握公司掌握 9 项项光学光学&算法核心技术,技术水平国内领先算法核心技术,技术水平国内领先 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 1.3.收入规模持续快速增长,高研发投入短期压制盈利水平收入规模持续快速增长,高研发投入短期压制盈利水平 受益量受益量/检测设备快速放量,检测设备快速放量,公司收入规模快速增长。
43、公司收入规模快速增长。1)2018 年公司营业收入仅为2985 万元,2022 年达到 5.09 亿元,期间 CAGR 高达 103%,2023Q1 实现营业收入 1.62亿元,同比+255%。2)分产品来看,2022 年无图形晶圆缺陷检测设备和图形晶圆缺陷检测设备分别实现收入 2.55 亿元、1.30 亿元,2018-2022 年 CAGR 分别达到 142%和123%,高于营收端增速,是驱动公司收入快速增长的主要驱动力。一方面,量测一方面,量测设备设备通通过下游厂商验证过下游厂商验证后后销售快速放量;另一方面,公司销售快速放量;另一方面,公司无图形晶圆缺陷检测无图形晶圆缺陷检测设备迭代升级
44、,设备迭代升级,同时图形同时图形晶圆缺陷检测晶圆缺陷检测设备进入前道领域,设备进入前道领域,两类两类设备平均单价设备平均单价持续提持续提升。升。序号序号技术名称技术名称技术来源技术来源是否有专利保护是否有专利保护技术水平技术水平应用和贡献情况应用和贡献情况1深紫外成像扫描技术自主研发是国内领先已量产2高精度多模式干涉量测技术自主研发是国内领先已量产3基于参考区域对比的缺陷识别算法技术自主研发是国内领先已量产4晶圆正边背全维度检测技术自主研发是国内领先已量产5高深宽比结构的膜厚量测技术自主研发是国内领先已量产6高速目标定位和量测路径规划技术自主研发是国内领先已量产7光谱共聚焦多视角拼接三维重构技
45、术自主研发是国内领先已量产8高速扫描和成像中的对准及补偿技术自主研发申请中国内领先已量产9高精度宽光谱椭偏聚焦技术自主研发申请中国内领先已量产 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 12/32 图图14:2018-2022 年公司营收年公司营收 CAGR 高达高达 103%图图15:2018-2022 年检测设备收入年检测设备收入 CAGR 高于营收端高于营收端 数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 图图16:2019-2022 年无图形晶圆缺陷检测和图形晶圆缺陷检测设备量价齐升年无
46、图形晶圆缺陷检测和图形晶圆缺陷检测设备量价齐升 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究(注:销量为左轴,设备单价为右轴)在利润端,在利润端,由于由于高研发投入影响盈利表现,高研发投入影响盈利表现,公司公司扣非净利率扣非净利率有所有所承压承压,2023Q1 已已明显明显改善改善。与收入规模持续高增形成对比的是,高研发投入下,公司利润端波动较大。2018-2023Q1 公司归母净利润分别为-0.56 亿元、-0.97 亿元、0.40 亿元、0.53 亿元、0.12亿元和 0.31 亿元,其中 2022 年同比-78.02%,2023Q1 同比+258.93%。扣非销售净利率扣非销售净利率可以表征半
47、导体设备企业真实盈利情况,可以表征半导体设备企业真实盈利情况,2018-2023Q1 公司扣非销售净利率分别为公司扣非销售净利率分别为-194.45%,-129.30%,-0.56%,0.97%,-17.25%和和-0.49%,其中其中 2022 年真实盈利水平年真实盈利水平大幅下降大幅下降,2023Q1 有所回升,有所回升,下面我们将从毛利率和费用率两方面作进一步分析。0%50%100%150%200%250%300%350%005006002002120222023Q1营业收入(百万元)同比(%)0%100%200%300%400%0501001
48、50200250300200212022无图形晶圆缺陷检测设备(百万元)图形晶圆缺陷检测设备(百万元)无图形晶圆缺陷检测设备同比(%)图形晶圆缺陷检测设备同比(%)0050060005540455020022无图形晶圆缺陷检测设备销量(台)图形晶圆缺陷检测设备销量(台)无图形晶圆缺陷检测设备(百万元/台)图形晶圆缺陷检测设备(百万元/台)请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 13/32 图图17:2020 年公司归母净利润实现扭亏为盈年
49、公司归母净利润实现扭亏为盈 图图18:2018-2022 年公司盈利水平出现一定波动年公司盈利水平出现一定波动 数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:Wind,东吴证券研究所 1)毛利端:)毛利端:2018-2023Q1 公司销售毛利率分别为 23.67%、33.90%、41.12%、48.96%、48.67%、55.26%,整体呈现上升趋势,2021-2023Q1 公司整体毛利率甚至高于行业平均水平,表现较为出色,毛利率持续改善主要系高毛利率的检测设备营收占比持续上升、且自身毛利率不断优化,受益于规模效应以及产品结构升级优化。2)费用端:)费用端:2018-2020 年公司期间费用率
50、分别为 257.61%,245.48%和 37.68%,呈显著下降趋势,主要受益于规模效应。2021-2023Q1 公司期间费用率分别为 45.18%、62.67%和 53.26%,有一定提升,主要系研发投入大幅提升,进而影响净利率表现。图图19:2022 年公司销售毛利率持续提升年公司销售毛利率持续提升 图图20:2018-2022 年年公司公司检测设备毛利率持续检测设备毛利率持续提升提升 数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:Wind,东吴证券研究所 (55.66)(97.47)39.59 53.43 11.74 31.37-150-1820192020
51、202120222023Q1归属母公司股东的净利润(百万元)-250%-200%-150%-100%-50%0%50%2002120222023Q1销售净利率(%)扣非后销售净利率(%)23.67%33.90%41.12%48.96%48.67%55.26%0%10%20%30%40%50%60%2002120222023Q1中微公司芯源微盛美上海华海清科行业平均中科飞测0%10%20%30%40%50%60%200212022检测设备毛利率(%)量测设备毛利率(%)请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部
52、分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 14/32 图图21:2020-2022 年公司期间费用率有年公司期间费用率有一定一定提升提升 数据来源:Wind,东吴证券研究所 在手订单同比大幅提升在手订单同比大幅提升,公司,公司收入端将持续快速收入端将持续快速增长。增长。截至 2022 年末,公司存货和合同负债分别达 8.61 亿元和 4.85 亿元,分别同比增长 60%和 212%,其中存货中发出商品占比达 48%,达到 4.14 亿元,接近公司 2022 年营收体量。截至 2023Q1 末,公司存货和合同负债分别为 9.19 亿元和 5.45 亿元,分别较 2022 年末增长 7%和
53、12%。合同负债对在手订单有较强表征意义,在充足的发出商品及高速增长的在手订单支撑下,我们判断公司营收端有望延续快速增长势头。图图22:2022 年公司存货年公司存货&合同负债大幅增长合同负债大幅增长 图图23:2022 年末公司存货中发出商品占比达年末公司存货中发出商品占比达 48%数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 257.61%245.48%37.68%45.18%62.67%53.26%-50%0%50%100%150%200%250%300%2002120222023Q1销售费用率管理费用率研发费用率财务费用率期间费用率
54、02004006008001,0002002120222023Q1存货(百万元)合同负债(百万元)0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%200212022合同履约成本发出商品库存商品在产品委托加工物资原材料 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 15/32 2.前道设备弹性最大环节之一,迎国产替代最佳机遇前道设备弹性最大环节之一,迎国产替代最佳机遇 2.1.量量/检测设备检测设备国内市场规模超过国内市场规模超过 200 亿亿元,元,KLA 市场份额超过
55、市场份额超过 50%2.1.1.量量/检测设备细分种类众多检测设备细分种类众多,国内市场规模超过,国内市场规模超过 200 亿元亿元 量量/检测是半导体制造重要的质量检查工艺,涉及膜厚、折射率、膜应力等参数测检测是半导体制造重要的质量检查工艺,涉及膜厚、折射率、膜应力等参数测量,以及各类表面缺陷检测等,量,以及各类表面缺陷检测等,广泛应用于薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、广泛应用于薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、CMP 等等环节的工艺控制,环节的工艺控制,对硅片厂对硅片厂/晶圆厂保障晶圆厂保障产品良率、产品一致性、降低成本等至关重要。产品良率、产品一致性、降低成本等至关重要。图图24:量量/检
56、测设备主要用于晶圆制造检测设备主要用于晶圆制造和先进封装和先进封装过程中各类关键工艺参数的测量过程中各类关键工艺参数的测量 数据来源:公司公告,东吴证券研究所 根据应用场景的不同,量根据应用场景的不同,量/检测设备主要分为量测、检测两大类,检测设备占比高达检测设备主要分为量测、检测两大类,检测设备占比高达63%。1)检测设备:)检测设备:主要用于检测晶圆结构中是否出现异质情况,如颗粒污染、表面划伤、开短路等特征性结构缺陷;2)量测设备:)量测设备:指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理参数的测量。薄膜沉积薄膜沉积 光刻光刻 掩膜掩
57、膜 刻蚀刻蚀 离子注入离子注入 CMP 清洗清洗 光刻光刻 刻蚀刻蚀 电镀电镀 键合键合掩膜版缺陷检测设备掩膜版缺陷检测设备-无图形晶圆缺陷检测设备无图形晶圆缺陷检测设备-图形晶圆缺陷检测设备图形晶圆缺陷检测设备-纳米图形晶圆缺陷检测设备纳米图形晶圆缺陷检测设备-电子束缺陷检测设备电子束缺陷检测设备-电子束缺陷复查设备电子束缺陷复查设备-关键尺寸量测设备关键尺寸量测设备-电子束关键尺寸量测设备电子束关键尺寸量测设备-套刻精度量测设备套刻精度量测设备-晶圆介质薄膜量测设备晶圆介质薄膜量测设备-X光量测设备光量测设备-掩膜版关键尺寸量测设备掩膜版关键尺寸量测设备-三维形貌量测设备三维形貌量测设备-
58、晶圆金属薄膜量测设备晶圆金属薄膜量测设备-48276745554计数计数主要产品主要产品前道制程前道制程先进封装先进封装检检测设备测设备量测设备量测设备 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 16/32 图图25:量量/检测设备主要包括检测和量测设备两大类检测设备主要包括检测和量测设备两大类 图图26:2020 年检测设备在量年检测设备在量/检测设备中占检测设备中占 63%数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 按照技术原理划分,量按照技术原理划分,量/检测设备可分为光学、电子束
59、、检测设备可分为光学、电子束、X 光三大类,其中光学占比光三大类,其中光学占比高达高达 75%。1)光学:)光学:对晶圆破坏性小,同时具备批量、快速检测的优点,广泛应用于晶圆表面杂质颗粒、图案缺陷等检测,以及膜厚、关键尺寸、套刻精度、表面形貌等测量;2)电子束:)电子束:精度高于光学技术,但是速度较慢,适用于部分核心工艺的抽检;3)X 光:光:穿透力强、无损探测,适用于超薄薄膜测量、特定金属成分检测等少数特殊场景。图图27:光学检测为量光学检测为量/检测设备主要技术路径检测设备主要技术路径 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 检测设备62.6%量测设备33.5%其他设备3.9%光学75.
60、2%电子束18.7%X光2.2%其他3.9%请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 17/32 图图28:光学技术在三维形貌测量、光刻套刻测量等领域具备较强应用优势光学技术在三维形貌测量、光刻套刻测量等领域具备较强应用优势 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 量量/检测设备在半导体制造设备中检测设备在半导体制造设备中价值量价值量占比达占比达 11%,各类图形缺陷检测设备是最各类图形缺陷检测设备是最大细分赛道大细分赛道。1)量/检测设备在半导体设备中价值量占比较高,仅次于三大核心设备(薄膜沉积、光刻和刻蚀),排名第四,占
61、比达到 11%,明显高于清洗、涂胶显影、CMP 等环节。2)细分设备类别来看,2020 年各类缺陷检测类设备占据量/检测设备过半市场份额,其中纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩模版缺陷检测设备、无图形缺陷检测设备、图形缺陷检测设备价值量占比分别达到 24.7%、11.3%、9.7%和 6.3%。此外,关键尺寸量测设备(OCD)也是前道量/检测设备重要组成部分,2020 年价值量占比达到 10.2%。图图29:量量/检测设备在半导体设备中价值量占比约检测设备在半导体设备中价值量占比约 11%图图30:光学检测设备在量光学检测设备在量/检测设备中销售额占比检测设备中销售额占比 52%数据来源:华经产业研
62、究院,东吴证券研究所 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 2023 年中国大陆半导体量年中国大陆半导体量/检测设备市场规模达到检测设备市场规模达到 222 亿元亿元,2024 年有望达到年有望达到 270亿元,重回快速增长通道亿元,重回快速增长通道。对于公司已布局的无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、晶圆介质及金属薄膜量测设备,2024 年本土市场规模分别达到 26、17、2 和 9 亿元。此外,公司纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备正处于设计阶段,2024 年本土市场规模分别有望达到 67 和 27 亿元。技术种类技术种类应用原理应用原理优势优势劣势
63、劣势光学检测技术光学检测技术基于光学原理,通过对光信号进行计算分析以获得检测结果,具有速度快、精度高,无损伤的特点精度高,速度快,能够满足全部先进制程的检测需求,符合规模化生产的速度要求,并且能够满足其他技术所不能实现的功能,如三维形貌测量、光刻套刻测量三维形貌测量、光刻套刻测量和多层膜厚测量和多层膜厚测量等应用与电子束检测技术相比,精度存在一定的劣势电子束检测技术电子束检测技术通过聚焦电子束扫描样片表面产生样品图像以获得检测结果,具有精度高、速度较慢的特点,通常用于部分线下抽样测量部分关键区域精度比光学检测技术更高速度相对较慢,适用于部分晶圆的部分区域的抽检应用,在满足规模化生产存在一定的劣
64、势X光量测技术光量测技术基于 X 光的穿透力强及无损伤特性进行特定场景的测量具有穿透性强,无损伤的特点,在特定应用场景的检测具有优势,如检测超薄膜检测超薄膜厚度厚度,可以检测特定金属成分检测特定金属成分等速度相对较慢,应用场景相对较少,只限于特定应用需求刻蚀设备22%薄膜沉积设备21%光刻机21%检测设备11%清洗设备5%涂胶显影设备4%CMP设备3%热处理设备2%离子注入机2%其他9%类别类别技术技术设备类型设备类型2020年全球销售额占比(年全球销售额占比(%)检测光学纳米图形晶圆缺陷检测设备24.7%检测光学掩膜版缺陷检测设备11.3%检测光学无图形晶圆缺陷检测设备9.7%检测光学图形晶
65、圆缺陷检测设备6.3%检测电子束电子束缺陷检测设备5.7%检测电子束电子束缺陷复查设备4.9%62.6%量测光学关键尺寸量测设备10.2%量测电子束电子束关键尺寸量测设备8.1%量测光学套刻精度量测设备7.3%量测光学晶圆介质薄膜量测设备3.0%量测X光X光量测设备2.2%量测光学掩膜版关键尺寸量测设备1.3%量测光学三维形貌量测设备0.9%量测光学晶圆金属薄膜量测设备0.5%33.5%3.9%其他检测设备合计量测设备合计 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 18/32 图图31:2024 年中国大陆半导体量年中国大陆半
66、导体量/检测设备市场规模有望达到检测设备市场规模有望达到 270 亿元亿元 数据来源:SEMI,VLSI Research,QY Research,东吴证券研究所测算(注:美元:人民币取 1:7)2.1.2.KLA 全球市场份额超过全球市场份额超过 50%,量量/检测设备检测设备盈利水平极为出色盈利水平极为出色 全球前道晶圆量全球前道晶圆量/检测设备市场长期由检测设备市场长期由 KLA、AMAT、Hitachi 等海外龙头主导等海外龙头主导,其,其中中 KLA 一家独大,一家独大,2020 年全球市场份额高达年全球市场份额高达 51%,尤其是在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域,
67、KLA 在全球的市场份额更是分别高达 85%、78%、72%,在掩膜版测量、套刻误差测量领域的全球市场份额超过 60%。图图32:KLA 在全球在全球半导体量半导体量/检测设备市场占比检测设备市场占比 51%图图33:KLA 在部分检测设备领域全球市占率超过在部分检测设备领域全球市占率超过 70%数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所(注:按销售额)数据来源:Gartner,智研咨询,东吴证券研究所(注:按销售额,2021 年)此外,我们注意到,在半导体前道设备中,此外,我们注意到,在半导体前道设备中,量量/检测检测设备盈利水平较高,设备盈利水平较高,KLA 盈利盈利水平明显优于水平明显优于
68、 AMAT、LAM 等半导体设备等半导体设备龙头。龙头。1)毛利端:)毛利端:KLA 毛利率中枢常年保持在约 60%,2022 财年达到 61%,远超 AMAT、LAM、ASML 和 TEL(中枢 40-50%);2000222023E2024E4774100064.582.2131134.5187.329628328835016%15%20%23%26%29%28%33%35%7.08.412.816.921.032.631.131.738.5495990822227020%53%3
69、2%24%55%-5%2%21%10.8%10.2%9.8%12.6%11.2%11.0%11.0%11.0%11.0%纳米图形晶圆缺陷检测设备(亿元)(24.7%)6545567掩膜版缺陷检测设备(亿元)(11.3%)67530关键尺寸量测设备(亿元)(10.2%)5697无图形晶圆缺陷检测设备(亿元)(9.7%)5696电子束关键尺寸量测设备(亿元)(8.1%)4572套刻精度量测设备(亿元)(7.3%)44791117161620其他设备(亿元)(28.7%)1417263442
70、65626477中国大陆半导体检测和量测设备市场规模(亿美元)中国大陆半导体设备销售额(亿美元)中国大陆半导体设备市场销售额全球占比中国大陆半导体检测和量测设备市场规模(亿元)中国大陆半导体检测和量测设备市场规模(亿元)全球半导体设备销售额(亿美元)其中同比(%)检测和量测设备价值量占比(%)KLA51%AMAT11%Hitachi9%雷泰光电6%创新科技6%ASML5%其他12%85%78%72%66%65%50%45%0%20%40%60%80%100%请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 19/32 2)净利端:)净
71、利端:2022 财年 KLA 净利率高达 36%,同样领先于其他半导体设备龙头。图图34:KLA 毛利率大幅高于毛利率大幅高于 AMAT、LAM 等海外龙头等海外龙头 图图35:KLA 净利率整体处于行业领先地位净利率整体处于行业领先地位 数据来源:wind,东吴证券研究所 数据来源:wind,东吴证券研究所 国内量国内量/检测设备公司同样呈现更胜一筹的盈利水平检测设备公司同样呈现更胜一筹的盈利水平。国内量/检测设备企业普遍处于业务起步阶段,还未形成规模效应,净利率水平普遍较低。但从毛利端我们发现,2022年中科飞测销售毛利率为 48.67%,精测电子半导体业务毛利率达到 51.14%,与其他
72、前道设备公司相比,当前毛利率水平已经处于靠前水平,进一步验证量进一步验证量/检测是半导体设备检测是半导体设备中竞争格局较好、技术附加值较高的环节之一。中竞争格局较好、技术附加值较高的环节之一。图图36:2022 年精测电子(半导体)和中科飞测在前道设备行业毛利率靠前年精测电子(半导体)和中科飞测在前道设备行业毛利率靠前 数据来源:Wind,东吴证券研究所 2.2.量量/检测设备是国产化率最低环节之一,本土企业正在快速突破检测设备是国产化率最低环节之一,本土企业正在快速突破 量量/检测设备是前道国产化率最低的环节之一,检测设备是前道国产化率最低的环节之一,2022 年国产化率仍不足年国产化率仍不
73、足 3%。1)中科飞测、上海精测、上海睿励三家企业 2022 年销售收入合计约为 7.46 亿元,对应中国0%10%20%30%40%50%60%70%2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022KLAAMATLAMASMLTEL-10%0%10%20%30%40%2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022KLAAMATLAMASMLTEL48.90%49.27%47.72%45.74%51.14%38.40%43.83%48.67%0%10%20%30%40%50%60%请务必阅读正
74、文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 20/32 大陆市场份额不足 3%。2)若以批量公开招标的华虹无锡为统计样本,据我们不完全统计,2022 年华虹无锡完成量/检测设备招标 47 台,其中国产设备中标 1 台,国产化率仅2%,远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。图图37:2020 年年 KLA 在本土量在本土量/检测设备市场占比检测设备市场占比 58%图图38:2022 年华虹无锡量年华虹无锡量/检测设备国产化率仅检测设备国产化率仅 2%数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 数据来源:中国国际招标网,东吴证券研究所 图图
75、39:2022 年年上海睿励、上海精测和中科飞测合计市场份额不足上海睿励、上海精测和中科飞测合计市场份额不足 3%数据来源:公司招股说明书,SEMI,公司公告,东吴证券研究所测算 本土半导体设备企业正在量本土半导体设备企业正在量/检测领域积极布局,已经基本覆盖主流量检测领域积极布局,已经基本覆盖主流量/检测设备类检测设备类型。型。1)中科飞测:)中科飞测:涵盖无(有)图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量备(介质)和套刻精度量测等系列设备,并积极研发纳米图形晶圆缺陷检测、金属薄膜量测等设备。2)上海精测:)上海精测:覆盖薄膜测量、光学关键尺寸量测、电子束缺陷检测等设备类别。3)睿励科学:)
76、睿励科学:包括光学薄膜测量和缺陷检测设备两大类,可对多类半导体薄膜实现精准的厚度、折射率、成分比率和应力测量,以及图形&无图形外观缺陷检测。4)东方晶)东方晶源:源:拳头产品包括电子束缺陷检测 EBI、关键尺寸量测设备 CD-SEM。5)赛腾股份:赛腾股份:收购日本 Optima,对硅片、晶圆的边缘、正背面外观缺陷检测具备全球竞争力。KLA58%AMAT12%Hitachi5%ASML6%Onto3%Nova Measuring3%其他13%80%33%23%15%11%10%6%2%0%0%0%20%40%60%80%100%2022年国产化率收入(亿元)收入(亿元)市场占有率市场占有率 收
77、入(亿元)收入(亿元)市场占有率市场占有率 收入(亿元)收入(亿元)市场占有率市场占有率 收入(亿元)收入(亿元)市场占有率市场占有率上海睿励0.120.10%0.200.14%0.410.18%0.720.31%上海精测0.040.03%0.570.39%1.110.49%1.650.71%中科飞测0.560.47%2.381.62%3.611.58%5.092.18%合计合计0.720.61%3.152.15%5.132.25%7.462.88%20192022企业企业20212020 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度
78、研究 21/32 图图40:中国大陆半导体设备企业已经基本覆盖主要的量中国大陆半导体设备企业已经基本覆盖主要的量/检测设备环节检测设备环节 数据来源:各公司官网,中科飞测招股说明书,东吴证券研究所(注:公开信息搜集梳理,可能存在误差)自主可控自主可控&技术协同进步驱动下,量技术协同进步驱动下,量/检测设备国产替代进展快速推进。检测设备国产替代进展快速推进。中科飞测多款产品通过 28nm 产线验收,2Xnm 产线设备正在验证,1Xnm 产线设备正在研发。此外,上海精测电子束检测设备已经进入 1Xnm 验证,上海睿励自主研发的光学薄膜量测设备也已进入 14nm 产线验证。图图41:中国大陆量中国大
79、陆量/检测设备企业产业化进程快速推进检测设备企业产业化进程快速推进 数据来源:各公司官网,各公司公告,东吴证券研究所(注:公开信息搜集梳理,可能存在误差)具体来看,中科飞测、上海精测、睿励科学、东方晶源等中国大陆半导体量具体来看,中科飞测、上海精测、睿励科学、东方晶源等中国大陆半导体量/检测设检测设备企业已经相继取得主流晶圆厂小批量订单,下游涵盖逻辑、存储主流客户群体。备企业已经相继取得主流晶圆厂小批量订单,下游涵盖逻辑、存储主流客户群体。公司公司膜厚膜厚应力应力电子束电子束关键尺寸关键尺寸形貌形貌无图形晶圆无图形晶圆缺陷检测缺陷检测有图形晶圆有图形晶圆缺陷/外观检测缺陷/外观检测套刻误差套刻
80、误差中科飞测中科飞测上海精测上海精测睿励科学睿励科学东方晶源东方晶源赛腾股份赛腾股份上海微电子上海微电子埃芯半导体埃芯半导体南京中安南京中安企业企业设备种类设备种类制程制程进度进度膜厚测量设备28nm FEOL(14nm BEOL)取得一线客户批量订单关键尺寸测量设备(OCD)28nm多家客户验证通过,顺利进入量产线电子束晶圆缺陷复查设备(Review-SEM)取得一线客户批量订单电子束晶圆缺陷复检设备(eView)10 x nm取得一线客户批量订单光学形貌量测(TG 300IF)2022年9月向大客户交付有图形晶圆缺陷检测设备(BFI100)65nm-180nm2022年3月获得2台订单晶圆
81、外观缺陷光学检查设备2021年8月成功交付客户半导体硅片应力及外貌检测设备进入客户验证光学薄膜测量设备65/55/40/28 nm逻辑;64L 3D NAND已应用在 65/55/40/28 nm逻辑,并在进行 14 nm工艺验证,在 3D 存储芯片产线支持 64 层 3DNAND,并正在验证 96 层 3D NAND关键尺寸测量设备(OCD)研发中有图形/无图形外观缺陷检测设备100nm取得一线客户批量订单关键尺寸量测设备(CD-SEM)12英寸已完成成熟制程量产验证电子束缺陷检测设备(EBI)28nm2022年6月顺利交付上海客户电子束复检设备(DR-SEM)28nmAlpha机通过验证,
82、已取得订单多台设备28nm通过验收十八型号设备1Xnm正在研发十七型号设备2Xnm以下生产线验证并取得订单上海精测上海精测上海睿励上海睿励东方晶源东方晶源中科飞测中科飞测 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 22/32 图图42:中科飞测、上海精测、睿励科学等厂商陆续取得中国大陆晶圆厂量中科飞测、上海精测、睿励科学等厂商陆续取得中国大陆晶圆厂量/检测设备订单检测设备订单 数据来源:中国国际招标网,东吴证券研究所 继继 2022 年年 10 月美国对中国大陆半导体设备制裁升级后,月美国对中国大陆半导体设备制裁升级后,202
83、3 年荷兰、日本相继年荷兰、日本相继加入限制阵营,海外制裁升级背景下,我们看好晶圆厂加速国产设备导入,加入限制阵营,海外制裁升级背景下,我们看好晶圆厂加速国产设备导入,2023 年半导年半导体设备国产化率提升有望超出市场预期体设备国产化率提升有望超出市场预期。图图43:美、荷、日相继加码半导体设备美、荷、日相继加码半导体设备出口限制出口限制 数据来源:METI,BIS 等,东吴证券研究所 美国制裁升级美国制裁升级或或影响影响 KLA 中国大陆业务开展,量中国大陆业务开展,量/检测设备将迎来国产替代最佳窗检测设备将迎来国产替代最佳窗口期。口期。2022 年 10 月 7 日美国对中国大陆半导体产
84、业制裁升级,KLA 在大陆中国大陆业务将受到一定冲击。展望未来,我们看好在此轮制裁升级下,本土晶圆厂加速国产设备导入,二者协同合作解决先进制程工艺产业化瓶颈,量/检测设备作为前道国产化率最低设备供应商设备供应商中标时间中标时间项目编号项目编号招标晶圆厂招标晶圆厂设备类别设备类别设备名称设备名称数量(台)数量(台)2022/06中芯绍兴检测/量测设备晶圆表面颗粒检测机320190668-1940H0100005长江存储检测/量测设备光学表面三维形貌量测设备220190668-1940H0100012长江存储检测/量测设备光学表面三维形貌量测设备120200613
85、-204522153369/07中芯绍兴检测/量测设备RDL/PI 厚度量测机12085/06中芯绍兴检测/量测设备晶圆缺陷自动检测设备120200668-1940H0100048长江存储检测/量测设备晶圆表面凹陷检测系统120200668-1940H0100048长江存储检测/量测设备光学表面三维形貌量测设备120214197-2140SHJT0001/59积塔半导体检测/量测设备微粒测量设备12012/11中芯绍兴检测/量测设备晶圆缺陷自动检测设备220224197-2140JHICC001/44福建晋华检测/量测设备膜厚
86、量测机台320224197-2140SHJT0001/149积塔半导体检测/量测设备微粒测量设备320200668-1940H0100067长江存储检测/量测设备集成式膜厚光学关键尺寸量测仪320200668-2040H0100001长江存储检测/量测设备集成式膜厚光学关键尺寸量测仪220224197-2140JHICC001/39福建晋华检测/量测设备12吋扫描式电子显微镜120224197-2140SHJT0001/126积塔半导体检测/量测设备厚度测量设备120224197-2140JHICC001/53福建晋华检测/量测设备12吋扫描式电子显微镜120170668-1740H01000
87、38长江存储检测/量测设备介质薄膜测量系统220200714-1840SHJT0001/97积塔半导体检测/量测设备薄膜厚度测量设备120214197-2140JHICC001/13福建晋华检测/量测设备关键尺寸量测扫描电子显微镜120224197-2140SHJT0001/134积塔半导体检测/量测设备线宽量测显微镜1中科飞测中科飞测上海精测上海精测(精测电子)(精测电子)睿励科学睿励科学东方晶源东方晶源时间时间国家国家内容内容2022年10月7日美国对128层及以上3D NAND芯片、18nm半间距及以下DRAM内存芯片、16nm或14nm或以下非平面晶体管结构(即FinFET或GAAFE
88、T)逻辑芯片相关设备进一步管控。在没有获得美国政府许可的情况下,美国国籍公民禁止在中国从事芯片开发或制造工作,包括美国设备的售后服务人员。2023年3月8日荷兰荷兰政府以“国家安全”为由,宣布将对包括“最先进的”深紫外光刻机(DUV)在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制,并加入美国对华芯片出口管制的阵营2023年3月31日日本清单拟对六大类23种先进半导体制造设备追加出口管制,主要包括极紫外线(EUV)相关产品的制造设备和用于存储元件立体堆叠的刻蚀设备。按线宽来看,均为1014nm以下的先进制程制造设备。此次新增的23种半导体制造设备及技术在从日本对外出口时均会触发出口许可证要求,而这些新
89、增物项在出口至中国大陆、中国香港和中国澳门时将仅能申请流程较为复杂、审批更加严格的许可证类型。请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 23/32 的环节之一,有望迎来国产替代最佳机遇。图图44:2022 财年财年 KLA 在中国大陆收入达在中国大陆收入达 26.6 亿美元亿美元 图图45:2022 财年财年 KLA 对中国大陆收入占比达到对中国大陆收入占比达到 29%数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:Wind,东吴证券研究所 3.国产替代加速国产替代加速&产品线完善丰富,公司具备持续扩张潜力产品线完善丰富,公司具
90、备持续扩张潜力 作为量作为量/检测设备国产龙头之一,公司充分受益国产替代趋势,同时新产品线快速检测设备国产龙头之一,公司充分受益国产替代趋势,同时新产品线快速拓展,不断打开成长空间。拓展,不断打开成长空间。公司现有产品线已成功涵盖无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质薄膜膜厚量测设备和套刻精度量测设备等,对应市场占比合计约 27.2%,国产替代驱动下仍具备较大成长空间。此外,公司正在积极研发&拓展纳米图形晶圆缺陷检测、晶圆金属薄膜量测、OCD 等设备类别,现有产品布局合计对应的产品覆盖面可以达到 62.6%,巩固行业龙头地位。图图46:公司在半导体量公司在半导体量
91、/检测设备领域的产品覆盖面达到检测设备领域的产品覆盖面达到 62.6%数据来源:公司公告,东吴证券研究所 4.3 4.1 6.4 12.2 14.6 18.3 26.6-20%0%20%40%60%80%100%0500022KLA中国大陆收入(亿美元)同比(%)14%12%16%27%25%26%29%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%200022其他亚洲国家欧洲和以色列中国大陆韩国 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东
92、吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 24/32 3.1.成熟产品技术指标对标海外龙头,仍具备较大国产替代空间成熟产品技术指标对标海外龙头,仍具备较大国产替代空间 我们在我们在 1.1 章节已作过详细介绍,章节已作过详细介绍,公司无图形缺陷检测设备、介质薄膜量测设备、公司无图形缺陷检测设备、介质薄膜量测设备、图形缺陷检测设备和三维形貌量测设备四大类图形缺陷检测设备和三维形貌量测设备四大类成熟成熟产品已正式实现产品已正式实现批量产业化批量产业化,更难能更难能可贵的是可贵的是相关技术指标可对标海外一线龙头。相关技术指标可对标海外一线龙头。图图47:公司四大核心量公司四大核心量/检测设备产品技术
93、指标较为领先检测设备产品技术指标较为领先 数据来源:公司公告,东吴证券研究所 从工艺节点来看,公司从工艺节点来看,公司成熟制程产品成熟制程产品已形成已形成批量批量产业化供应,并积极拓展产业化供应,并积极拓展 14nm 及及以下先进制程领域。以下先进制程领域。公司已有多台设备在 28nm 产线通过验收,14-10nm 无图形晶圆缺陷检测设备研发项目正在快速推进,对应 1Xnm 产线的 SPRUCE-900 正在研发中。此外,公司 28nm 以下的套刻精度测量设备已经发往客户验证,并获得 2 家客户订单。图图48:公司公司 28nm 以下制程相关产品研发以下制程相关产品研发&验证进展快速推进验证进
94、展快速推进 数据来源:公司公告,东吴证券研究所 公司成熟产品市场份额仍处于低位,国产替代成长空间较大。公司成熟产品市场份额仍处于低位,国产替代成长空间较大。1)整体来看,若以销售额为统计口径,我们估算 2019-2022 年公司在本土量/检测设备市场的份额分别仅为0.5%、1.6%、1.6%和 2.3%;2)细分产品类别来看,公司在无图形晶圆缺陷检测设备、设备类型设备类型公司型号公司型号竞品型号竞品型号竞争对手竞争对手技术对标技术对标SPRUCE-600Surfscan SP1TBI工艺节点:工艺节点:SPRUCE-600和Surfscan SP1TBI均为130nm及以上;最小灵敏度:最小灵
95、敏度:SPRUCE-600和Surfscan SP1TBI均为60nm;吞吐量:吞吐量:SPRUCE-600为100wph(灵敏度102nm),Surfscan SP1TBI未披露SPRUCE-800Surfscan SP3工艺节点:工艺节点:SPRUCE-800和Surfscan SP3均为2Xnm或以上;最小灵敏度:最小灵敏度:SPRUCE-800和Surfscan SP3均为23nm;吞吐量:吞吐量:SPRUCE-800为25wph(灵敏度 26nm);Surfscan SP3未披露膜厚量测设备膜厚量测设备LATI-900Aleris 8500工艺节点:工艺节点:LATI-900 和 A
96、leris 8500 适用制程均覆盖 32-45nm;重复性精度:重复性精度:LAPI-900 约0.003nm,远小于硅的晶格结构的特征长度,实现了半导体工艺对于超薄膜膜厚精准控制的工艺要求,已在士兰集科等知名制造厂商产线上应用;Aleris 8500未披露。三维形貌量测设备三维形貌量测设备 CYPRESS-U950NX Wafer帕克公司CYPRESS-U950型号设备重复性精度达到0.1nm,能够支持2Xnm及以上制程工艺中的三维形貌测量,已在长江存储等产线上实现无差别应用。图形晶圆缺陷检测图形晶圆缺陷检测设备设备BIRCH-100F30创新科技最小灵敏度:最小灵敏度:BIRCH-100
97、为0.5m;F30为0.5m;吞吐量:吞吐量:BIRCH-100为80wph(灵敏度3m);F30为120wph(灵敏度10m)公司设备与国际竞品整体性能相当,已在长电先进、华天科技等知名先进封装厂商的产线上实现无差别应用。KLA无图形晶圆缺陷检无图形晶圆缺陷检测设备测设备产品系列产品系列研发进度研发进度验证情况验证情况无图形晶圆缺陷检测设备型号十八型号设备已完成部分研发内容,正在对模块组装测试与系统集成和软件算法进行研发尚未在客户处进行验证套刻精度量测设备型号十七型号设备已完成装配调试以及性能测试等正在客户产线进行验证,已取得两家客户的订单 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后
98、的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 25/32 图形晶圆缺陷检测设备和三维形貌量测设备领域市场竞争力突出,2022 年在中国大陆市场份额分别达到 12.1%、9.4%和 21.1%,仍具备较大国产替代空间。图图49:公司三大成熟产品系列仍具备较大国产替代空间公司三大成熟产品系列仍具备较大国产替代空间 数据来源:SEMI,VLSI Research,wind,东吴证券研究所测算 3.2.前道量前道量/检测设备产品线持续拓宽,进一步打开成长空间检测设备产品线持续拓宽,进一步打开成长空间 公司在稳固现有产品市场竞争力的同时公司在稳固现有产品市场竞争力的同时,积极布局纳米图形晶
99、圆缺陷检测设备(,积极布局纳米图形晶圆缺陷检测设备(市市场占比场占比 24.7%)、关键尺寸量测设备()、关键尺寸量测设备(市场占比市场占比 10.2%)、晶圆金属薄膜量测设备()、晶圆金属薄膜量测设备(市场市场占比占比 0.5%)等)等新产品线新产品线,持续完善,持续完善量量/检测设备检测设备产业布局,进一步打开成长空间。产业布局,进一步打开成长空间。图图50:公司积极布局纳米图形晶圆检测设备、公司积极布局纳米图形晶圆检测设备、OCD、金属薄膜量测设备等领域、金属薄膜量测设备等领域 数据来源:公司公告,东吴证券研究所 20022中国大陆量/检测设备市场规模(亿元)118
100、147228218中科飞测营业收入(亿元)0.562.383.615.09中科飞测市场份额(%)0.5%1.6%1.6%2.3%中国大陆无图形晶圆缺陷检测设备市场规模(百万元)1144.61425.92211.62114.6无图形晶圆缺陷检测设备销售额(百万元)21.8103.6170.3254.9中科飞测无图形晶圆缺陷检测设备市场份额(%)1.9%7.3%7.7%12.1%中国大陆图形晶圆缺陷检测设备市场规模(百万元)743.4926.11436.41373.4图形晶圆缺陷检测设备销售额(百万元)11.652.294.9129.7中科飞测图形晶圆缺陷检测设备市场份额(%)1.6%5.6%6.
101、6%9.4%中国大陆三维形貌量测设备市场规模(百万元)106.2132.3205.2196.2三维形貌量测设备销售额(百万元)16.160.870.241.4中科飞测三维形貌量测设备市场份额(%)15.2%45.9%34.2%21.1%序号序号设备类型设备类型2020年全球销售额年全球销售额(亿美元)(亿美元)销售占比销售占比 公司产品推出情况公司产品推出情况1纳米图形晶圆缺陷检测设备18.924.7%2021 年开始研发2掩膜版缺陷检测设备8.611.3%暂未涉及3关键尺寸量测设备7.810.2%2021 年开始研发4无图形晶圆缺陷检测设备7.49.7%已推出5电子束关键尺寸量测设备6.28
102、.1%暂未涉及6套刻精度量测设备5.67.3%已推出7图形晶圆缺陷检测设备4.86.3%已推出8电子束缺陷检测设备4.45.7%暂未涉及9电子束缺陷复查设备3.84.9%暂未涉及10晶圆介质薄膜量测设备2.33.00%已推出11X 光量测设备1.72.20%暂未涉及12掩膜版关键尺寸量测设备11.30%暂未涉及13三维形貌量测设备0.70.90%已推出14晶圆金属薄膜量测设备0.40.50%2020年开始研发15其他2.93.90%-请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 26/32 特别地,纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺
103、寸量测设备价值量占比高、市场规模特别地,纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备价值量占比高、市场规模大,将彻底打开公司在量大,将彻底打开公司在量/检测设备领域的成长空间。检测设备领域的成长空间。1)从价值量占比来看,纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备在量/检测设备中价值量占比分别为 24.7%和10.2%,合计高达 34.9%。2)从市场规模来看,我们预估 2024 年中国大陆纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备市场规模分别为 67 和 27 亿元,合计高达 94 亿元。图图51:纳米图形缺陷检测和纳米图形缺陷检测和 OCD 设备合计市场占比设备合计市场占比 35%图图52:
104、2024 年中国大陆两类设备市场规模合计年中国大陆两类设备市场规模合计 94 亿元亿元 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 数据来源:SEMI,东吴证券研究所测算 公司纳米图形晶圆缺陷检测公司纳米图形晶圆缺陷检测和关键尺寸量测设备和关键尺寸量测设备研发研发进展快速推进进展快速推进。2018 年 1 月-2021 年 7 月公司牵头承担国家科技重大专项 20-14nm 晶圆缺陷光学在线检测的研发与产业化项目。在此基础上,公司后续重点加码纳米图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆光学关键尺寸测量设备研发项目,目前仍处于设计阶段,技术水平国内领先。此外,对于金属薄膜量测设备,公司已经进入产业化验证阶段
105、,有望逐步实现业绩兑现。图图53:公司纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备仍处于研发设计阶段公司纳米图形晶圆缺陷检测设备和关键尺寸量测设备仍处于研发设计阶段 数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 纳米图形晶圆缺陷检测设备24.7%掩膜版缺陷检测设备11.3%关键尺寸量测设备10.2%无图形晶圆缺陷检测设备9.7%其他设备44.1%2229365654556797007080902020202120222023E 2024E关键尺寸量测设备(亿元)纳米图形晶圆缺陷检测设备(亿元)序号序号研发项目研发项目拟达到的主要目标拟
106、达到的主要目标进展情况进展情况应用应用技术水平技术水平1纳米图形晶圆缺陷检测系列设备研发及产业化研发能够实现在极复杂的集成电路纳米图层结构中快速检测和定位纳米量级缺陷的检测设备设计阶段集成电路前道国内领先2图形晶圆光学关键尺寸测量设备研发及产业化研发光学关键尺寸测量关键技术和设备,实现半导体工艺制程中关键尺寸的纳米量级精度测量设计阶段集成电路前道国内领先3晶圆金属薄膜量测系列设备研发及产业化研发能够测量单层和多层金属薄膜厚度的金属薄膜量测设备,实现快速并且无损伤测量晶圆表面单层和多层金属膜厚产业化验证集成电路前道国内领先 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证
107、券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 27/32 3.3.募投项目加码产能扩张募投项目加码产能扩张&研发中心,夯实核心竞争力研发中心,夯实核心竞争力 公司产能吃紧,具备较强扩产诉求。公司产能吃紧,具备较强扩产诉求。1)从产量角度来看,2018 年公司产量仅为 17台,2022 年快速上升至 232 台,期间 CAGR 高达 92%。2)从产能利用率来看,2019-2021 年公司产能利用率分别为 52%、83%和 105%,快速提升。往后来看,随着量/检测设备国产替代推进,公司订单加速放量,产能瓶颈将愈发明显,具备较强产能扩充诉求。图图54:2018-2022 年公司产量年公司产量 CAGR
108、高达高达 92%图图55:2019-2021 年公司产能利用率持续上升年公司产能利用率持续上升 数据来源:公司公告,东吴证券研究所(单位:台)数据来源:公司公告,东吴证券研究所 IPO 募投重点加码产能扩充,达产后销售收入可达募投重点加码产能扩充,达产后销售收入可达 6.42 亿元。亿元。公司 IPO 拟募集 10亿元,用于建设“高端半导体质量控制设备产业化项目”、“研发中心升级建设项目”和“补充流动资金”。量化来看,“高端半导体质量控制设备产业化项目”可新增检测设备产能 150 台、量测设备产能 80 台,对应销售收入约 6.42 亿元,打开新成长空间。图图56:公司公司 IPO 募投项目重
109、点加码“高端半导体质量控制设备产业化项目”募投项目重点加码“高端半导体质量控制设备产业化项目”数据来源:公司招股说明书,东吴证券研究所 图图57:“高端半导体质量控制设备产业化项目”“高端半导体质量控制设备产业化项目”达产后销售收入预计可达达产后销售收入预计可达 6.42 亿元亿元 数据来源:公司公告,东吴证券研究所 72255877910%20%40%60%80%100%120%140%160%180%0500200212022量测设备产量检测设备产量总产量yoy51.69%82.71%104.92%82.86%0%20%40
110、%60%80%100%120%20022产能利用率产能利用率项目名称项目名称项目投资总额项目投资总额(亿元)(亿元)拟使用募集资金金额拟使用募集资金金额(亿元)(亿元)高端半导体质量控制设备产业化项目3.093.08研发中心升级建设项目1.461.42补充流动资金5.505.50合计合计10.0510.00设备类型设备类型主要生产产品型号主要生产产品型号预计新增产能预计新增产能(台)(台)预计销售单价预计销售单价(万元)(万元)预计达产后销售收入预计达产后销售收入(亿元)(亿元)检测设备检测设备S1、S2、型号一、B2等1503004.50量测设备量测设备型号二、C2等8
111、02401.92230-6.42合计合计 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 28/32 4.盈利预测与投资评级盈利预测与投资评级 核心假设:核心假设:1)无图形缺陷检测无图形缺陷检测设备设备:在 SPRUCE-600 的市场竞争力的基础上,2020 年公司推出的更高精度型号 SPRUCE-800,有望逐步进入放量期。我们假设 2023-2025 年收入同比增速分别为 54%、43%和 22%。随着重复订单的放量、规模效应显现,产品成本有望逐步降低;同时随着设备功能配置提升,产品售价有所上调,毛利率稳步提升。假设 202
112、3-2025 年毛利率分别为 56.8%、57.9%和 60.0%。2)图形缺陷检测图形缺陷检测设备设备:随着升级型号 BIRCH-100 持续放量,假设 2023-2025 年收入同比增速分别为 70%,40%和 33%。随着重复订单放量后规模效应显现,产品成本有望逐步降低,同时随着向重点客户销售占比下降,产品单价有所回升,假设 2023-2025 年毛利率分别为 44.5%、48.5%和 53.1%。3)三维形貌量测三维形貌量测设备设备:公司已具备较强市场竞争力,我们假设 2023-2025 年收入同比增速分别为 45.6%,28.4%和 18.9%,毛利率分别为 38.9%、38.9%和
113、 39.0%。4)其他设备及业务:其他设备及业务:假设 2023-2025 年收入同比增速分别为 33%,44%和 64%,假设 2023-2025 年毛利率分别为 43.6%,44.8%,45.9%。盈利预测:盈利预测:基于以上假设,我们预计公司 2023-2025 年营业收入分别为 7.47、10.59 和 14.47 亿元,分别同比增长 47%、42%和 37%;2023-2025 年归母净利润分别为 0.53、1.14 和 1.87亿元,分别同比增长 351%、115%和 64%。表表1:公司分业务收入预测(百万元)公司分业务收入预测(百万元)2021A 2022A 2023E 202
114、4E 2025E 无图形晶圆缺陷检测无图形晶圆缺陷检测设备设备 收入收入 170.31 254.90 393.75 561.60 684.00 yoy(%)64.32%49.67%54.47%42.63%21.79%毛利率(毛利率(%)57.88%58.38%56.80%57.92%60.00%图形晶圆缺陷检测设备图形晶圆缺陷检测设备 收入收入 66.06 26.26 44.56 62.34 82.84 yoy(%)46.89%-60.26%69.72%39.90%32.88%毛利率(毛利率(%)37.33%42.75%44.52%48.46%53.06%三维形貌量测设备三维形貌量测设备 收入
115、收入 69.62 41.39 60.27 77.36 92.00 yoy(%)16.83%-40.55%45.62%28.36%18.92%请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 29/32 毛利率(毛利率(%)41.88%36.48%38.88%38.92%38.97%其他设备及业务其他设备及业务 收入收入 54.57 186.69 248.45 357.60 588.23 yoy(%)85.71%242.12%33.08%43.93%64.49%毛利率(毛利率(%)44.22%38.96%43.63%44.83%45.9
116、2%总营业收入总营业收入 360.55 509.24 747.03 1058.90 1447.07 yoy(%)51.76%41.24%46.70%41.75%36.66%毛利率(毛利率(%)48.96%48.67%50.24%51.55%52.54%数据来源:Wind,东吴证券研究所 投资建议:投资建议:北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、精测电子均为本土半导体设备龙头公司,与公司业务具备较强协同性,故选取为可比公司。我们预计 2023-2025 年公司营业收入分别为 7.47、10.59 和 14.47 亿元,当前市值对应动态 PS 分别为 32、22 和 16 倍。考虑到公
117、司半导体量/检测设备的国产稀缺性、市场空间广阔,成长性较为突出,首次覆盖,给予“增持”评级。表表2:可比公司估值(可比公司估值(PS,截至,截至 2023/08/08 收盘股价)收盘股价)股价股价 市值市值 营业收入营业收入(亿亿元)元)PS(元)(元)(亿亿元)元)2023E 2024E 2025E 2023E 2024E 2025E 002371.SZ 北方华创北方华创 283.39 1,502 211.7 275.1 353.0 7 5 4 688012.SH 中微公司中微公司 143.16 885 64.7 83.6 107.1 14 11 8 688082.SH 盛美上海盛美上海 1
118、06.41 461 40.0 51.7 64.4 12 9 7 688072.SH 拓荆科技拓荆科技 336.29 425 31.7 44.8 58.7 13 9 7 688120.SH 华海清科华海清科 211.10 336 27.3 36.3 47.0 12 9 7 300567.SZ 精测电子精测电子 94.82 264 34.0 43.6 57.2 8 6 5 可比公司平均可比公司平均-11 8 6 688361.SH 中科飞测中科飞测 74.28 238 7.47 10.59 14.47 32 22 16 数据来源:Wind,东吴证券研究所(注:盈利预测均来自东吴证券研究所)5.风险
119、提示风险提示 1、晶圆厂资本开支不及预期:、晶圆厂资本开支不及预期:公司产品需求与下游资本开支高度相关,若晶圆厂扩产、产线验证 Delay,可能对公司订单获取及收入确认造成负面影响。2、设备研发验证进度不及预期:、设备研发验证进度不及预期:量/检测设备技术壁垒高,设备种类丰富,公司长期保持高研发投入,研发人员规模快速扩大。如果新产品的研发、验证进度无法达到预 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 30/32 期,可能限制公司的收入增长速度,同时造成公司盈利能力下滑。3、海外制裁、海外制裁力度加大力度加大的风险。的风险。若海
120、外持续加码对于中国大陆半导体行业的制裁力度,则可能对中国大陆晶圆厂扩产,以及公司供应链安全造成一定不利影响。4、设备客户验证进展不及预期设备客户验证进展不及预期。公司在量/检测设备领域布局较多新品,若客户验证不及预期,则将会对后续批量订单落地节奏造成一定不利影响。请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 31/32 中科飞测中科飞测-U 三大财务预测表三大财务预测表 Table_Finance 资产负债表(百万元)资产负债表(百万元)2022A 2023E 2024E 2025E 利润表(百万元)利润表(百万元)2022A 2
121、023E 2024E 2025E 流动资产流动资产 1,410 2,097 2,962 3,951 营业总收入营业总收入 509 747 1,059 1,447 货币资金及交易性金融资产 240 399 543 760 营业成本(含金融类)261 372 513 687 经营性应收款项 215 287 411 567 税金及附加 1 1 2 2 存货 861 1,008 1,291 1,591 销售费用 54 75 98 123 合同资产 16 22 32 43 管理费用 60 82 106 145 其他流动资产 78 380 685 990 研发费用 206 261 328 434 非流动资
122、产非流动资产 242 272 299 323 财务费用 0 2 3 4 长期股权投资 0 0 0 0 加:其他收益 100 112 116 145 固定资产及使用权资产 160 146 131 113 投资净收益 1 1 1 1 在建工程 1 1 1 1 公允价值变动 0 0 0 0 无形资产 35 72 109 146 减值损失(15)(12)(11)(9)商誉 0 0 0 0 资产处置收益 0 0 0 0 长期待摊费用 21 26 31 36 营业利润营业利润 13 54 116 190 其他非流动资产 26 26 26 26 营业外净收支 (1)(1)(1)(1)资产总计资产总计 1,6
123、52 2,369 3,261 4,274 利润总额利润总额 12 54 115 189 流动负债流动负债 973 1,637 2,415 3,241 减:所得税 0 1 1 2 短期借款及一年内到期的非流动负债 184 284 364 424 净利润净利润 12 53 114 187 经营性应付款项 164 186 250 325 减:少数股东损益 0 0 0 0 合同负债 485 743 1,154 1,717 归属母公司净利润归属母公司净利润 12 53 114 187 其他流动负债 140 423 646 774 非流动负债 110 110 110 110 每股收益-最新股本摊薄(元)0
124、.04 0.17 0.36 0.58 长期借款 0 0 0 0 应付债券 0 0 0 0 EBIT 12(44)12 56 租赁负债 35 35 35 35 EBITDA 44(17)42 88 其他非流动负债 75 75 75 75 负债合计负债合计 1,083 1,747 2,525 3,351 毛利率(%)48.67 50.24 51.55 52.54 归属母公司股东权益 569 622 736 923 归母净利率(%)2.31 7.09 10.76 12.91 少数股东权益 0 0 0 0 所有者权益合计所有者权益合计 569 622 736 923 收入增长率(%)41.24 46.
125、70 41.75 36.66 负债和股东权益负债和股东权益 1,652 2,369 3,261 4,274 归母净利润增长率(%)(78.02)351.03 115.11 64.02 现金流量表(百万元)现金流量表(百万元)2022A 2023E 2024E 2025E 重要财务与估值指标重要财务与估值指标 2022A 2023E 2024E 2025E 经营活动现金流 67 122 130 223 每股净资产(元)2.37 2.59 3.07 3.84 投资活动现金流(76)(57)(56)(55)最新发行在外股份(百万股)320 320 320 320 筹资活动现金流 39 94 71 4
126、9 ROIC(%)1.58(5.07)1.14 4.41 现金净增加额 29 159 145 216 ROE-摊薄(%)2.06 8.52 15.48 20.25 折旧和摊销 33 27 30 32 资产负债率(%)65.57 73.75 77.43 78.41 资本开支(117)(53)(52)(52)P/E(现价&最新股本摊薄)2,024.07 448.77 208.63 127.19 营运资本变动 2 43 48 161 P/B(现价)31.34 28.67 24.23 19.32 数据来源:Wind,东吴证券研究所,全文如无特殊注明,相关数据的货币单位均为人民币,预测均为东吴证券研究所
127、预测。免责及评级说明部分 免责声明免责声明 东吴证券股份有限公司经中国证券监督管理委员会批准,已具备证券投资咨询业务资格。本研究报告仅供东吴证券股份有限公司(以下简称“本公司”)的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为客户。在任何情况下,本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议,本公司及作者不对任何人因使用本报告中的内容所导致的任何后果负任何责任。任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。在法律许可的情况下,东吴证券及其所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券并进行交易,还可能为这些公司提供投资银行服务或其他服务。市场有风险,投资需
128、谨慎。本报告是基于本公司分析师认为可靠且已公开的信息,本公司力求但不保证这些信息的准确性和完整性,也不保证文中观点或陈述不会发生任何变更,在不同时期,本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。本报告的版权归本公司所有,未经书面许可,任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制和发布。经授权刊载、转发本报告或者摘要的,应当注明出处为东吴证券研究所,并注明本报告发布人和发布日期,提示使用本报告的风险,且不得对本报告进行有悖原意的引用、删节和修改。未经授权或未按要求刊载、转发本报告的,应当承担相应的法律责任。本公司将保留向其追究法律责任的权利。东吴证券投资评级标准东吴证券投资评级标准 投资评级
129、基于分析师对报告发布日后 6 至 12 个月内行业或公司回报潜力相对基准表现的预期(A 股市场基准为沪深 300 指数,香港市场基准为恒生指数,美国市场基准为标普 500 指数,新三板基准指数为三板成指(针对协议转让标的)或三板做市指数(针对做市转让标的),具体如下:公司投资评级:买入:预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准在 15%以上;增持:预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准介于 5%与 15%之间;中性:预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准介于-5%与 5%之间;减持:预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准介于-15%与-5%之间;卖出:预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准在-15%以下。行业投资评级:增持:预期未来 6 个月内,行业指数相对强于基准 5%以上;中性:预期未来 6 个月内,行业指数相对基准-5%与 5%;减持:预期未来 6 个月内,行业指数相对弱于基准 5%以上。我们在此提醒您,不同证券研究机构采用不同的评级术语及评级标准。我们采用的是相对评级体系,表示投资的相对比重建议。投资者买入或者卖出证券的决定应当充分考虑自身特定状况,如具体投资目的、财务状况以及特定需求等,并完整理解和使用本报告内容,不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。东吴证券研究所 苏州工业园区星阳街?5 号 邮政编码:215021 传真:(0512)62938527