2019年PVD工艺下游应用 原图定位 外延设备方面,根据 Yole,外延设备市场规模约 9.4 亿美元,预计 2023 年超过 20 亿美元,其中约 70%为 MOCVD 设备,金属应用于大多数 III-V 化合物半导体外延,例如砷化镓和氮化镓器件。外延设备需求增长主要受 LED 和电源应用驱动,未来的增长动力主要为电源、激光器、MEMS、Mini/Micro LED 和射频器件。