长江存储30k产能产线招标PVD设备中标厂商 原图定位 薄膜沉积设备国产化率整体较低,PVD 设备较 CVD 设备国产化率高。以长江存储 30k 产能产线招标为例,CVD 设备方面国产化率很低,仅沈阳拓荆中标 3 台 PECVD,占比 4%;PVD 设备方面,北方华创中标阻挡层 PVD 3 台,占比 18%,,中标铝垫 PVD 3 台,占比 100%。而从华力集成、华虹无锡厂和积塔半导体产线的设备招标情况看,薄膜沉积设备的国产化率分别为 6%、16%和 33%。整体来看,CVD 设备的国产化率约为 2%-5%,PVD 设备的国产化率约为 10%-15%,国产化率仍比较低。