CCZ和RCZ拉制硅棒的电阻率轴向均匀度对比 原图定位 电阻率、碳氧含量分布更均匀,切出的硅片参数更优异。与 RCZ相比,CCZ的轴向电阻率更稳定,轴向替位碳含量和间隙氧含量的分布都更均匀,因此最终产出的硅片性能更稳定。我们认为公司提前布局 CCZ,有望在硅片领域保持长期领先。