3D结构促使ALD市场需求增大 原图定位 ALD设备,未来ALD市场需求将会持续增大。我国半导体产业还处于追赶阶段,目前逻辑芯片处于向14nm节点转型,3D存储也刚刚有所突破,14nm以下节点ALD有望成为薄膜工艺的核心角色,我国在ALD设备目前也有一定布局。