ALD、PVD与CVD在薄膜沉积设备上的优劣势比较 原图定位 ALD 用于 PERC 电池生产中的氧化铝钝化膜沉积。TOPCon 和 IBC 电池也存在氧化铝钝化层,所以也要用到 ALD设备,ALD未来还有望用于 TOPCon隧穿氧化层沉积和 HJT电池的某些环节。