半导体/行业专题报告/2024.01.18 请阅读最后一页的重要声明！AI 引领复苏，重视技术迭代增量 证券研究报告 投资评级投资评级:看好看好(维持维持)最近 12 月市场表现 分析师分析师 张益.

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半导体行业系列专题（三）之先进封装：半导体行业系列专题（三）之先进封装：先进封装大有可为，上下游产业链将受益先进封装大有可为，上下游产业链将受益证券研究报告20242024年年0101月月1515日日.

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行 业 研 究 2024.01.15 1 敬 请 关 注 文 后 特 别 声 明 与 免 责 条 款 电 子 行 业 专 题 报 告 半导体显示专题三：供给与需求下的价格周期 分析师 郑震湘 登记编号. 

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1半导体行业系列专题半导体行业系列专题（二二）之之碳化硅：碳化硅：衬底产能持续扩充，关注渗透加速下衬底产能持续扩充，关注渗透加速下的国产化机会的国产化机会证券研究报告分析师：付强S1060520070.

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本报告版权属于国投证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。1 20242024 年年 0101 月月 1010 日日 电子电子 行业专题行业专题 高端国产替代系列高端国产替代系列-光刻胶：半导体光. 

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 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 行业研究 东兴证券股份有限公司证券研究报告 电子电子行业行业：AIAI 半导体的新结构、新工艺、半导体的新结构、新工艺、新材料与投资新材料与投资建议.

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行行 业业 研研 究究 证证 券券 研研 究究 报报 告告 行行 业业 专专 题题 报报 告告 宏观宏观研究研究 把握把握 AI 创新及创新及国产化主线国产化主线 半导体半导体行业行业专题专题报告报. 

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行业研究行业研究 行业深度行业深度 证券研究报告证券研究报告 请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明 电子电子 Table_Reportdate 2023年年12月月.

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 分析师：王文瑞登记编号：S05005230100012023年12月28日半导体行业半导体行业AI成长可期，需求复苏可望成长可期，需求复苏可望核心观点核心观点 2024年市场展望：经历了漫长又痛苦的调.

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 行业研究行业研究 行业深度行业深度 电子电子 证券研究报告证券研究报告 请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明 Table_Reportdate 2023年年12月月.

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行 业 研 究 2023.12.26 1 敬 请 关 注 文 后 特 别 声 明 与 免 责 条 款 电 子 行 业 专 题 报 告 半导体显示专题二：降本+技术创新驱动，Mini/Micro 进入放. 

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请务必阅读最后一页股票评级说明和免责声明请务必阅读最后一页股票评级说明和免责声明1 1半导体半导体HBM 专题报告领先大市专题报告领先大市-A(维持维持)HBM 需求增长强劲，新技术带来设备、材料端升.

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请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 Intel 推出 Meteor Lake 处理器，开启 AI PC 新纪元 半导体行业 事件概述事件概述:当地时间 12 月 14 日，英特尔在纽约举行的“AI.

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周期回暖、创新驱动半导体年度策略证券分析师：方霁 执业证书编号：S0630523060001联系方式：2023年12月19日 2摘要 A股半导体在2023年处于周期与周期的底部，2024年大概率有所好.

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请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 2023.12.18 星闪加速万物互联，助力智驾汽车无线通信星闪加速万物互联，助力智驾汽车无线通信 半导体行业更新报告半导体行业更新报.  

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 Table_Yemei0行内偕作行业深度2023 年 11 月 30 日|研究院研究院 南通分行南通分行Table_Title1新能源电子之功率半导体篇新能源时代，国产功率半导体弯道超车新机遇 功率半. 

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免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。1 证券研究报告 半导体半导体 AI PC 风起，风起，英特尔英特尔发布发布 Meteor Lake 华泰研究华泰研究海外科技海外科技 半.

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Bickel 在美国田纳西州富兰克林市的施耐德电气公司工作，是一位多技术背景的卓越技术专家，也是一位资深爱迪生技术专家。他是施耐德电气公司数字电源团队的成员，致力于探索和培育面向硬件、软件和云系统的新应用程序和分析功能，从而推动基于数据的功能和业务的快速发展。他在堪萨斯州曼哈顿的堪萨斯州立大学获得电气和计算机工程学士学位（1987 年）和理学硕士学位(1999 年)，并且是阿拉巴马州的注册专业工程师。迄今为止，他已在全球范围内提交了 50 多项专利申请，并获得了40 多项授权。Ronald Payumo 在施耐德电气公司半导体部门工作，担任全球解决方案架构师，同时也是经过认证的施耐德电气系统和架构专家（SAE）。他主要负责开发解决客户痛点的方案，开展售前活动，以及制作技术参考文档以推动相关市场的业务增长。他已经在施耐德电气公司工作了 7 年多，并担任过多种职务。他在安吉利斯市的圣洁天 使 大学获得电子与通信工程专业 理学士学位（2008 年）。于方鸣 施耐德电气能效管理低压事业部行业应用与创新部门，Electra 能力中心系统架构师。20 年中/低压配电工作经验，熟悉供配电电气系统。现负责电子厂房和医疗行业客户应用需求挖掘，系统解决方案支持，助力行业业务发展。米丹参 施耐德电气数字能效业务部高级解决方案架构师。专注于电能质量方向，近 10 年相关领域工作经验，对冶金、数据中心、电子厂房等行业应用及解决方案有深入的研究。不断发掘行业客户的真实需求，并结合施耐德电气从硬件、软件到云服务的计算和分析功能，实现从 0-1 的行业应用解决方案，推动行业业务的快速发展。关于作者02半导体制造涉及到复杂的集成电路生产和组装工艺，这些集成电路广泛用于各类电子设备，其中包括我们日常生活中使用的移动电话以及汽车。在半导体生产工厂（经常被称为“晶圆厂”）中，生产周期长，操作复杂，成品生产过程持续数周，并且需要使用昂贵的专业自动化设备。由于集成电路生产工艺灵敏度高，因而对于所有集成电路生产设备而言，电能质量问题不容忽视，其中包括短时间的电压变化，例如电压暂升暂降事件。本文解释了为什么电压暂降是半导体生产工厂所面临的一个常见电能质量问题，产生此类问题的原因，如何进行检测，以及解决电压暂降的技术方案。一.概述半导体生产工艺需要使用高灵敏度的专业生产设备，并达到高精度工艺，半导体生产工艺需要电源具备很高的电能质量及可靠性。在半导体行业，电压问题（如：电压暂降、电压暂升，短时中断等）是最常见的电能质量问题。电压暂降会引起负载断电，导致生产中断，原材料报废，如果生产工厂对此没有充分的准备，其损失可能高达数百万美元。下文分析了由电压暂降以及短时间断电导致生产中断所产生的成本损失。这些研究量化分析并记录了电能质量问题对经济效益的影响程度，以及它们对半导体行业的总体影响。第一项研究评估了马来西亚的电能质量问题，并估算了与发生电压暂降相关的损失。在商业领域，此类事件对经济效益的影响最小，每次事件的损失为 24,124.00 美元，在半导体行业影响则最大，每次事件的损失约为 723,729.00 美元。第二项研究分析了电能质量问题（尤其是电压暂降）对中国用户的影响。通过问卷调查或个人访谈的方式，分析了用来计算电压暂降造成的经济损失的方法。本研究结论表明：在工业领域，每次电压暂降事件所导致的损失变化程度二.介绍03较大，其主要原因是成品的附加值不同。例如，在化学纤维行业，每次电压暂降事件导致的损失范围为29,000.00美元到172,000.00美元，而在半导体行业，其损失范围则为574,000.00美元到3,585,000.00美元。1第三项研究给出了电压暂降事件对各行业经济影响的估算值，如下面表1所示。在所有研究中，电压暂降事件等电能质量问题对半导体行业造成的经济损失最大。21因为电压暂降以及短时间断电而导致的生产中断所产生的损失。2泰国的金属、机械和设备生产行业与电能质量干扰相关的成本。为什么电压暂降对半导体行业的影响非常大？在很多行业中，电压暂降是用户面临的最严重的问题之一。相比之下，电压暂降对半导体行业的影响最为显著。要深入了解其背后的原因，首先要探讨半导体产品和晶圆的生产方式。半导体工厂需要 24/7 运行，批量生产晶圆。这些工厂用晶圆的月产量来衡量生产能力，具体的产量取决于生产工厂的产品类型和产能，每月产量可高达数十万个晶圆。单个 300mm 晶圆可能有成百上千个裸片，具体数量取决于产品类型。一个裸片就是一小块半导体材料，在其上制造具有指定功能的电路。3最新一代的半导体工艺范围为 5nm（很快将达到3nm）到 7nm，一个常规晶圆包含数百万到数十亿个晶体管。相比之下，人类头发的直径约为 75,000nm，比一个 5nm 晶体管大 15,000 倍。4因为晶体管尺寸微小，所以很难想象如何才能生产出这些超高精度和精密度的微型器件，也正因为如此，半导体行业成为一个独特而专业的行业。表1 本表说明了电压暂降对各行业的影响半导体行业信用卡中心设备制造汽车行业化工行业2,500,000.00250,000.00100,000.0075,000.0030,000.00行业损失（美元）043 https:/en.wikipedia.org/wiki/Die_(integrated_circuit)4 https:/ =1c95eb806fb05 https:/ 85 天，包含一千多个步骤。5 通过逐层注入的方式，在晶圆上制造晶体管，并且这些重复的工艺步骤中必须始终确保很高的精密度，直至最后一道工艺步骤完成为止。晶圆的整个生产过程高度自动化，需要使用可靠的供电电源作为保证，即使是微小的偏差和变化，也可能影响最终的产品质量。因此在整个生产过程中，供电电源必须保持稳定可靠。鉴于产品本身的复杂性，稳定可靠的供电电源至关重要，即使是细微的电压干扰，也可能会影响生产设备的工作或系统功能，从而影响生产工艺。电压干扰所导致的经济损失可能具有叠加效应，具体影响取决于出现干扰的时间（在生产工艺的哪个阶段出现干扰）。如果在经过了连续数周的晶圆生产，整个生产活动接近尾声时发生电压暂降事件，那么就只能将材料报废，不仅耗费大量工时，而且可能导致产品延期交付，生产商的信誉受到质疑，生产设备也可能损坏。抗电压暂降标准（例如 SEMI-F47-0706）规定了半导体生产设备，在如图 1 所示（绿线限值上方）发生电压暂降事件的情况下，设备应能正常工作。最新一代的半导体生产设备必须遵守特定的标准，例如 SEMI F47。不过，标准并不能保证设备可以承受更剧烈的电压变化。此外，一些晶圆生产工厂目前仍在使用以往几代的半导体生产设备，这些设备更容易受电压暂降事件的影响。05等离子体密度下降 游离基反射减少在刻蚀和沉积过程中产生均匀度问题电压下降影响电极离子轰击减少在晶圆生产工厂中，电压暂降可能会直接影响光刻机、化学机械抛光（CMP）、以及刻蚀工艺等晶圆生产设备的操作，从而导致设备故障。与此同时，这些生产设备还可能会受辅助设备和公用设备的间接影响。如果因为电压暂降而影响辅助设备（例如真空系统、排放控制设备）或公用设备（例如排气系统、压缩干燥空气 CDA、工艺冷却水 PCW）的功能，可能导致空气、气体和其他系统资源的供给标准偏离工艺要求，进而使生产设备发生操作中断。半导体晶圆生产工厂中的电压暂降事件可能会影响工艺，并波及产品质量。电源电压应始终保持稳定。发生电压暂降之后，可能会出现各种后果，具体的后果取决于电压暂降出现在产品加工的哪个环节：002030405060708090（周期）电压暂降程度/标称电压百分比（%）电压暂降对工艺质量的一些影响：图1 SEMI F47-0706在50 Hz频率下的抗电压暂降要求06内部通信错误计算机重新启动工艺控制器重新启动传感器和仪表故障以及通信错误断路器脱扣变频器（VFD）错误如果配电系统遇到异常电压，会对晶片的一致性产生影响。生产工艺中的其他系统也可能会受电压暂降事件的间接影响，这些影响包括：图2 半导体生产工艺步骤综述晶圆生产的一些工艺步骤可能不适用于某些类型的产品。前端晶圆厂需要保证较高的电能可用性和电能质量，因为其工艺灵敏度和复杂度都很高。大部分工艺步骤都会逐层重复若干次，另外还会使用超纯水（UPW）和炉管退火来完成。将 芯片 组 装 和 封 装 成个体集成电路。最终产品用于各种电子设备。纯硅晶圆生产生长抛光切片晶圆生产（前端工艺）外延光刻刻蚀扩散注入抛光测量和检查金属沉积晶圆针测芯片生产（后端工艺）切割粘接引线接合组装和封装最终测试07如何应对电压暂降问题？1.配置合适的电能质量监控系统IEEE 标准 1159-2019 将电压暂降定义为“工频情况下，电压下降幅度为 0.1 到 0.9 pu，持续时间为 0.5 个周期到 1 分钟”。电压暂降通常属于意外情况，通常由于线路故障或大容量负载起动而导致。电压暂降对不同用户和不同设备装置影响也不尽相同。例如，电压暂降事件可能对某个客户的某个生产装置产生很大的影响，但是对另外一个客户同一环节影响很小，或者几乎没有实质影响。电压暂降也可能对客户电气系统的不同部分产生不同的影响。关于电压暂降的更多信息，请参阅 电压暂降分析和负载损失检测 白皮书。6解决配电系统电压暂降问题的第一步是确保能够快速准确的检测和记录相关事件。因为电压暂降事件是归属于电力暂态事件，所以需要借助特殊的设备和软件进行记录和分析。可以根据相关标准（例如 ITIC/CBE-MA、SEMI F47、IEEE-1159-2019、GB 等），以标准为依据来评估电压暂降事件。高端电能质量监测仪表 ION9000、PM8000 系列能够监测并记录这些电能质量问题。了解事件的来源、深度和持续时间，有助于经验丰富的电气系统专家确定问题的根本原因，并拟定合适的解决方案。现场工程师可以借助新专利技术，利用最 先进的控制软件进行 分析（如：PO 高端电能质量仪表，进行精确时间戳进行事件分析）从而更从容地评估、量化分析、解决电压暂降问题及其影响。可指导现场人员快速发现问题，并解决问题，现场供电连续性。2.电压暂降治理如前文所述，电源侧的电能质量问题（例如电压暂降、暂升等）可能损坏设备，并影响生产运营。与电能质量事件相关的电气、机械、热应力通常会导致电气设备中的部件损坏，并可能导致长期设备问题甚至灾难性故障。此外，还会使设备在其设计公差范围以外运行，引发误操作或意外的离线脱扣。6 Bickel,Jon：电压暂降分析和损失，施耐德电气白皮书，_GMA，2020年3月7日08根据 SEMI F47-0706 标准，半导体加工设备、子系统和部件的抗电压暂降能力需要满足上表 2 中规定的幅度和持续时间。7可以使用不同类型的电气设备来帮助解决电压暂降和其他电能质量问题。一些常用的解决方案包括：动态电压补偿装置 DVR（非储能型）、动态电压补偿装置 DVRS（储能型）、不间断电源（UPS）。图 3a-3c 中的基本图示说明了各种解决方案之间的特征差异。虽然每种方案都采用了类似的部件，但是它们都有各自的优势和劣势。电压暂降程度/标称电压的%在50赫兹的持续时间在60赫兹的持续时间50p个周期25个周期50个周期12个周期30个周期60个周期表2 SEMI F47-0706标准规定的抗电压暂降要求来源：SEMI F47标准图3a 动态电压补偿装置（DVR非储能型）图示图3b 动态电压补偿装置（DVRS储能型）图示图3c 在线不间断电源（UPS）图示7 SEMI F47-0706标准：半导体加工设备抗电压暂降规格输入输出输出输入注入注入电源储能关键负载关键负载关键负载储能（电池）源源旁路开关串联变压器串联变压器旁路开关整流逆变逆变器输入输出整流器逆变 图3a 图3b 图3c 09持续调节电压，针对电压暂降进行防护（在有源电压调节器的设计规格范围内）一些制造商会采用“符合SEMI F47标准”的标志效率高（98% ）电压补偿持续时间长，30S持续补偿过载容量大通过通讯功能（例如Modbus TCP/IP、以太网等）监控设备合理的空间要求维护量低（不使用电池）动态电压补偿装置 DVR 会连续监控三相电压，并通过电力电子功率部件自动进行电压调节解决电压暂降问题。动态电压补偿装置与负载电路串联。在 DVR 的输入侧存在电压变化之后，DVR 输出侧电压增加一个补偿电压，通过注入方式来抵消系统电压的变化。补偿电压可以校正一相、两相或三相系统电压的幅值、相位角、甚至是波形（如改善电压畸变），从而使 DVR 输出侧电压恢复到标称电压。如图 3a 所示，补偿电压是通过动态电压补偿装置经过一系列的整流逆变产生。其内部工作原理是：将输入侧（即系统电压）经过能量转换整流为直流电压信号，然后通过逻辑运算将直流逆变成交流补偿电压，将补偿电压注入原有系统电压，从而补偿原系统电压中存在的异常。可以在动态电压补偿装置中集成一个旁路开关，在出现内部故障的情况下，断开 DVR 装置，确保系统持续运行。动态电压补偿装置（非储能型）通常用于低压系统，能够针对单相、两相及三相电电压 30-40%剩余电压的电压暂降提供补偿能力，并持续将电压调整到标称系统电压的 90%-100%的能力。动态电压补偿装置（非储能性）可以用于多种工业应用领域，其中包括半导体工厂。动态电压补偿装置（非储能型）有如下优势和限制条件：2.1 动态电压补偿装置DVR（非储能型）优势：电压暂降穿越范围有限（无储能功能）只适合某些应用（与尺寸有关）劣势：10持续调节电压，针对电压暂降进行防护（在动态电压补偿装置的设计规格范围内）制造商会“符合SEMI F47标准”维护量低（一般处于待机状态）运行效率高，99%补偿范围广0-130%，时间可调整（增加储能单元容量）超级电容50万次投切寿命优势：适合某些应用（与尺寸有关）劣势：在系统电压发生短暂变化期间，动态电压补偿装置 DVRS 会 3ms 内快 速 释放储 能 单元 能 量，补 偿 系 统 电 压 至标 称 电 压。如图 3b 所 示，DVRS 采用一个储能单元来实现更长时间的电压补偿能力。另外，DVRS 还能注入非基频电压，从而控制和减轻电路中的电压谐波畸变。可实现电压暂降从 0%-130%补偿至 100%的的电压补偿能力。上图（图 3b）显示了动态电压补偿装置 DVRS 的运行情况。当发生电压暂降时，储能单元（例如超级电容器）迅速释放能量，然后通过逆变单元，将其转化为所需的补偿电压，将补偿电压注入到原系统中，完成电压暂降治理。逆变单元具有快速、准确的响应能力，可以在 3ms 中完成电压补偿，最大限度降低电压暂降对负载的影响。当使用在电压敏感型负载和关键工艺段时，可保证系统电压的稳定与连续性，避免因电压暂降事件带来的生产损失。动态电压补偿装置 DVRS 针对电压变化事件的补偿能力取决于其储能单元的容量。它们可以用来解决电压暂降并持续若干周期的单相、两相及三相电压暂降事件。同时在使用中必须考虑具体电压变化事件的特征以及动态电压补偿装置 DVRS 的实际能力。动态电压补偿装置 DVRS 有如下优势和限制条件：2.2 动态电压补偿装置（DVRS储能型）112.3 不间断电源（UPS）IEEE 标准 1409-2012 中对不间断电源（UPS）的定义是“使用储能系统保护负载免受断电的备用储能系统”。不间断电源所采用的能源可能是化学能（例如电池）、机械能（例如飞轮）、电能（例如电容器）、或其他可随时操作、转化和使用的能量技术。不间断电源是实现如下功能的最佳设备：解决电源短时中断，或者在切换到应急发电机或其他辅助电源的过程中确保关键负载的持续运行。如图 3c 所示，不论是在正常期间，还是在电源电压中断期间，都可以使用不间断电源持续为下游负载供电。另外配置一个旁路开关，在 UPS检修期间，保证对负载持续供电。因为电源电压会被整流成直流，通过逆变器重新转换为一个交流信号，并且进行滤波，所以不间断电源的输出波形通常是非常好。不间断电源的补偿时间可以从几分钟到几个小时，具体时间取决于其储能单元的容量。不间断电源广泛用于多种工商业领域，其中包括数据中心、金融机构、医院、商务办公楼，当然还有半导体工厂。UPS 容量可选范围广，有如下优势和限制条件：在断电情况下提供长时间的电压补偿能力（与储能容量有关）具有电压暂降和暂升补偿能力丰富的通讯接口（例如 Modbus TCP/IP、以太网等）容量扩展性强优势：电池维护和更换成本电池反复使用会降低预期寿命劣势：12上述三种解决电压暂降问题的方案都是广为人知，并且经过验证的技术。如上文所述，每一种技术都有各自的优缺点，需要根据具体的应用来选择。每一种方案的投资回报率（ROI）都取决于众多可变因素（比如电压暂降程度、电压暂降发生在生产过程的哪个阶段、产能规模、每次电压暂降发生的损失等）。在选择用来解决电压暂降治理方案时，应该充分了解这些可变因素。在半导体生产工厂中，因为其设备和工艺控制的灵敏度高，对电源的电能质量要求高。为此制定了相关标准（例如 SEMI F47-0706：抗电压暂降标准），从而为如何限制电压暂降/暂升提供指导。各半导体生产设备（SME）供应商都在努力满足该标准。不过，该标准并不能保证设备可以承受更剧烈的电压暂降事件。研究表明：电压暂降事件是半导体生产工厂所面临的常见电能质量问题之一，不仅会影响生产，而且会导致经济损失。如本章所述，通过合理的措施，可以解决电压暂降问题，不过在考虑和设计解决方案的过程中，应该谨慎周密。首先要借助合适的电能质量监测仪表，同时通过软件进行事件分析（PO ION9000/PM8000），确定是否存在干扰，并分析干扰的特征属性，选择最优的治理方案，来更好的满足半导体工厂的要求。三.结论Cost of Industrial Process Shutdowns Due to Voltage Sag and Short Interruption.The Costs of Power Quality Disturbances for Industries Related to Fabricated Metal,Machines and Equipment in Thailand.https:/en.wikipedia.org/wiki/Die_(integrated_circuit)https:/ r/?sh=1c95eb806fb0https:/ Sag Analysis and Load Loss Detection,Schneider Electric White Paper,_GMA,March 7,2020SEMI F47-0706,Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity.参考文件1 2 3 4 5 6 7 本手册采用生态纸印刷客户关爱中心热线：400 810 1315施耐德电气（中国）有限公司Schneider Electric(China)Co.,Ltd北京朝阳区望京东路6号施耐德电气大厦邮编：100102电话：(010)8434 6699传真：(010)8450 1130Schneider Electric Building,No.6,East Wangjing Rd.,Chaoyang DistrictBeijing 100102 P.R.C.Tel:(010)8434 6699Fax：(010)8450 1130www.schneider-由于标准和材料的变更，文中所属性和本资料中的图像只有经过我们的业务部门确认以后，才对我们有约束ECATA10682019 11

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行业研究行业研究 行业深度行业深度 电子电子 证券研究报告证券研究报告 请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明 Table_Reportdate 2023年年12月月.

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行 业 研 究 2023.11.27 1 敬 请 关 注 文 后 特 别 声 明 与 免 责 条 款 电 子 行 业 专 题 报 告 半导体显示专题一：技术创新周期，Mini LED+OLED 双轮齐.

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