PECVD两种技术路径对比 原图定位 ②PECVD(等离子增强化学气相沉积):主要进行本征和掺杂非晶硅薄膜的多层堆叠,并在纳米尺度上对其控制。PECVD现在主要分为 RFCVD与 VHFCVD技术,两者在射频频率上存在差异,主要用到 PECVD设备。