PECVD和ALD设备对比 原图定位 ALD 设备虽然市场份额有限,但或是未来降本提效的方向所在。尽管 PECVD 设备长期占据市场的主流地位,但 ALD 设备的优势也同样明显:1)每小时的硅片吞吐量高于 PECVD,电池摊销的单位固定成本更低;2)可以精控薄膜厚度,成膜质量更好;3)前驱体材料 TMA 消耗更少,可减少运营成本。因此,在优化 PERC 电池效率,压缩前运营成本的背景,ALD 设备有望成为新一代的背钝化设备,抢占更多市场份额。