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1、 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。1 证券研究报告 科技科技 全球全球半导体设备数据追踪：半导体设备数据追踪：展望展望 2024年，年，AI 及中国需求是看点及中国需求是看点 华泰研究华泰研究 电子电子 增持增持 (维持维持)半导体半导体 增持增持 (维持维持)研究员 黄乐平，黄乐平，PhD SAC No.S0570521050001 SFC No.AUZ066 +(852)3658 6000 研究员 丁宁丁宁 SAC No.S0570522120003 +(86)21 2897 2228 研究员 吕兰兰吕兰兰 SAC No.S0570523120003 +(86)

2、21 2897 2228 联系人 廖健雄廖健雄 SAC No.S0570122020002 +(86)755 8249 2388 行业行业走势图走势图 资料来源：Wind，华泰研究 重点推荐重点推荐 股票名称股票名称 股票代码股票代码 目标价目标价 (当地币种当地币种)投资评级投资评级 拓荆科技 688072 CH 336.70 买入 北方华创 002371 CH 395.39 买入 盛美上海 688082 CH 135.90 买入 华海清科 688120 CH 237.21 买入 资料来源：华泰研究预测 2024 年 3 月 04 日中国内地 专题研究专题研究 半导体半导体设备市场：设备市场

3、：2023 年全球下滑年全球下滑 3%，2024 年年 AI 及中国需求是看点及中国需求是看点 通过对全球及中国 31 家主要半导体制造企业和 22 家半导体设备企业 2023年业绩和市场一致预期的分析，我们得出以下结论 1）我们统计全球主要半导体制造企业资本开支同比下滑 7%；2）全球主要半导体设备企业收入同比下滑 3%，但海外设备企业中国区收入与中国设备企业收入合计同比增长30%，占全球总收入 37%；3）中国本土主要设备企业收入整体保持同比 32%稳健增长，2023 年总收入占中国市场的 14.8%。展望 2024 年全球半导体设备市场缓慢恢复，AI 及中国需求是看点，我们继续看好拓荆科

4、技（薄膜沉积）、北方（刻蚀，PVD）、盛美上海（清洗）、华海清科（CMP）等现有产品的份额提升和新产品拓展。资本开支：资本开支：2023 年年全球全球同比下滑同比下滑 7%，2024 年中国区有望保持高强度扩产年中国区有望保持高强度扩产 回顾 2023，我们统计全球主要半导体制造企业资本开支同比下滑 7%。除IDM 企业外，全球主要晶圆代工、存储及封测企业资本开支均同比下滑，主因半导体周期的影响。展望 2024 年，根据公司指引及彭博一致预期：1）中国大陆成熟制程扩产保持强劲，中芯国际指引 2024 年资本开支与 2023年持平，华虹为推进无锡二厂投产，进入资本开支高投入期，指引 2024 年

5、约 25 亿美元（同比+176%）；2）汽车、工业领域需求放缓以及去库存，全球 IDM 企业资本开支或同比下滑 17%；（3）先进封装为延续摩尔定律重要方法，各大封测厂加大相关方向投入，2024 年资本开支有望同比增长 9%。2023 年回顾：年回顾：AI 需求拉动设备需求，中国市场占比高达需求拉动设备需求，中国市场占比高达 37%回顾 2023 年，1）受益于 AI 需求拉动以及中国需求旺盛，2023 年全球半导体设备销售额好于 2023 年年初市场预期，Lam 将 2023 年 WFE（半导体晶圆制造设备）市场规模预测由 800 亿美元上调至略超 800 亿美元，TEL则将 2023 年

6、WFE 预测调高至 950 亿美元；2）在海外先进工艺设备投资疲软，以及中国区成熟工艺设备需求旺盛双重作用下，海外主要设备企业中国区收入与中国设备企业收入合计占比持续走高，2023 年全年达到 37%的高位，同比提升 9pct；3）国内本土主要设备厂商快速发展，2023 年收入同比增长 32%，2023 年总收入占中国市场的 14.8%。2024 年展望：全球半导体设备市场缓慢恢复，年展望：全球半导体设备市场缓慢恢复，AI 及中国需求是看点及中国需求是看点 根据以上 31 家企业的彭博一致预期、Wind 一致预期及华泰预测，我们预计2024 年全球主要半导体制造企业资本开支同比下滑 3%。根据

7、对以上 22 家设备企业的统计，2024 年全球主要设备企业收入同比增加 8%到 1220 亿美元。我们认为中国市场需求仍保持高位，海外主要设备企业中国区收入+中国企业收入预计 2024 年上升 9%。我们预计中国企业在中国市场份额会进一步提升，中国半导体设备企业 2024 收入预计同比增长 44%。在 AI 芯片及终端需求复苏的趋势下，我们认为 2024 年封测企业资本开支恢复增长，台积电、Intel 等加大先进封装投入，将共同拉动主要后道设备企业业绩修复。风险提示：贸易摩擦风险，半导体周期下行，测算和可得数据的局限性，本研报中涉及到未上市公司或未覆盖个股内容，均系对其客观公开信息的整理，并

8、不代表本研究团队对该公司、该股票的推荐或覆盖。(32)(19)(6)821Mar-23Jul-23Nov-23Mar-24(%)电子半导体沪深300 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。2 科技科技 全球和中国半导体设备市场预测全球和中国半导体设备市场预测 我们以全球主要的 13 家（ASML、AMAT、LAM、KLA、TEL、SCREEN、中微、北方华创、拓荆、盛美、华海清科、芯源微、中科飞测）前道设备公司样本预测全球前道设备行业规模，我们以全球主要的 9 家（ASMPT、Disco、Besi、K&S、Advantest、Teradyne、Lasertec、长川、华峰

9、）后道设备公司样本预测全球前道设备行业规模，其中中国半导体设备市场规模取自海内外设备中国区收入计算（海外后道设备公司中仅 ASMPT、Advantest披露中国区占比），2023 年及 2024 年预测中中微、北方华创、拓荆、盛美、华海清科、华峰数据来自华泰预测，其余海外公司来自彭博一致预期，其他A股公司来自wind一致预期。我们选取全球主要的 10 家晶圆代工企业（台积电、联电、中芯国际、格罗方德、世界先进、高塔、力积电、华虹、中芯集成、晶合集成）、9 家 IDM 企业（德州仪器、ADI、意法半导体、英飞凌、安森美、恩智浦、瑞萨、华润微、士兰微）、4 家存储企业（三星、美光、海力士、西部数据

10、）和 8 家封测企业（安靠、日月光、长电科技、通富微电、华天科技、力成、京元电子、甬矽电子）为样本来统计全球主要半导体企业资本开支（CAPEX），其中长电科技、通富微电、华润微、士兰微、中芯国际、华虹为华泰覆盖，2023/2024 年资本开支为华泰预测，其余公司 2023/2024 年资本开支数据来自彭博一致预期。图表图表1：全球半导体全球半导体设备设备市场预测市场预测 资料来源：彭博，Wind，SEMI，华泰研究预测 十亿美金20222023202420232024202320241Q22 2Q22 3Q22 4Q22 1Q23 2Q23 3Q23 4Q23AEE前值前值调整调整AAAAAA

11、AE全球主要半导体企业资本开支71212.3%3.2%32330YOY14%-7%-3%-9%-4%9%7%25%17%10%9%-10%-24%代工54484749.243.7-2.1%8.6%2129YOY27%-10%-1%-8%-11%21%40%39%27%15%16%-8%-40%IDM13181517.716.70.3%-12%33444554YOY60%37%-17%36%-6%81%77%65%16%47%63%43%21%存储66595855.356.26.4%2.7%51315YOY2

12、%-10%-2%-16%2%-9%-12%16%12%5%-2%-23%-16%封测7554.54.99.3%9.8%22121111YOY-3%-30%9%-36%8%42%-4%-24%-1%-28%-27%-11%-45%全球半导体设备市场（SEMI预测）107.410010587.4100.0252629282726YOY-7%5%-19%14%全球主要半导体设备公司收入3.0120.2-0.3%1.4%27293YOY6%-3%8%-2%6%6%8%9%8%11%-4%-10%-4%前道设备0.2105.4-0.5%1

13、.8%2324272826242526YOY7%0%8%0%5%5%9%10%11%16%-1%-8%-4%后道设备16131512.814.80.8%-1.3%44443333YOY-1%-18%13%-18%16%13%3%-3%-14%-16%-23%-21%-8%中国半导体设备进口额（海关）29358886671112YOY0%-18%-3%-37%-28%-13%42%111%海外企业中国区收入+中国企业收入 32424640.643.13.4%6.5%8.37.88.67.56.88.713.213.3YOY-4%30%9%26%6%17%-15%0%-15%-19%12%54%7

14、7%中国区占比28%37%38%36%36%23%32%47%45%RUZY1XAYTUEYOY8OcM8OsQoOmOqMjMpPoNkPqQpR6MqRpPwMnOnQNZrNoN 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。3 科技科技 图表图表2：全球主要半导体企业资本开支一致预期变化情况全球主要半导体企业资本开支一致预期变化情况 注：新和旧的资本开支数据分别为 2024 年 2 月 27 日和 2023 年 11 月 21 日的彭博一致预期 资料来源：彭博，华泰研究 (1)中国大陆成熟制程扩产保持强劲，中芯国际指引 2024 年资本开支与 2023 年持平，华虹为推进

15、无锡二厂投产，进入资本开支高投入期，指引 2024 年约 25 亿美元（同比增长176%）；（2）2024 年意法半导体/英飞凌资本开支一致预期下修 23%/10%，反映汽车、工业领域的需求放缓以及去库存担忧；（3）先进封装为延续摩尔定律的重要方法，因此各大封测企业加大相关方向资本开支投入，2024/2025 年一致预期合计上修 11%/14%。图表图表3：4Q23 各设备厂商中国各设备厂商中国大陆大陆收入占比收入占比处于高位处于高位 资料来源：各公司财报，华泰研究 百万美元百万美元20224E2025E2024E2025E2024E2025E旧旧旧旧变化变化变化变化晶圆

16、代工晶圆代工台积电30,079 36,339 30,474 29,800 33,701 28,364 33,277 5%1%中芯国际4,232 6,350 7,466 7,466 7,000 6,000 5,000 24%40%联电1,722 2,689 2,935 3,166 2,584 2,509 2,258 26%14%格罗方德1,698 3,059 1,804 703 938 1,002 1,343 -30%-30%世界先进476 628 218 121 173 231 271 -48%-36%华虹半导体939 996 907 2,500 2,100 2,150 1,500 16%40

17、%合计合计42,155 53,696 48,159 47,476 50,066 43,669 46,706 9%7%IDM英特尔20,329 25,050 25,750 22,370 23,128 23,608 22,054 -5%5%德州仪器2,462 2,797 5,071 5,008 4,995 4,921 4,888 2%2%意法半导体1,830 3,528 4,439 2,502 2,825 3,261 3,166 -23%-11%英飞凌1,516 2,225 2,925 3,127 3,426 3,479 3,804 -10%-10%安森美492 1,036 1,576 1,074

18、 1,085 1,097 1,040 -2%4%恩智浦800 1,068 827 930 1,014 872 960 7%6%合计合计8,123 12,989 17,756 14,689 15,381 16,680 16,860 -12%-9%存储存储三星41,174 38,368 44,115 39,082 41,037 38,826 40,094 1%2%海力士10,910 14,756 6,225 10,486 12,172 8,494 10,409 23%17%镁光10,557 11,251 7,676 7,785 9,631 8,064 9,703 -3%-1%西部数据1,704 1

19、,146 821 376 955 796 1,201 -53%-20%合计合计64,345 65,521 58,837 57,729 63,795 56,179 61,407 3%4%封测封测安靠780 908 750 750 750 750 750 0%0%日月光2,573 2,461 1,739 1,838 1,874 1,611 1,712 14%9%长电676 584 620 731 718 671 659 9%9%通富微电999 1,060 683 751 826 658 653 14%27%华天858 800 449 490 535 421 484 17%10%合计合计7,276

20、7,058 4,920 5,379 5,781 4,860 5,086 11%14%货币单位营业收入同比增速净利润同比增速中国大陆营收占比美国AMAT百万美元67070%201926%45%美国Lam research百万美元3758-29%954-30%40%美国KLA百万美元2487-17%583-41%41%日本TEL十亿日元464-1%101.519%47%日本SCREEN十亿日元1257%18.2550%38%日本爱德万十亿日元133-3%21.2-26%25%日本DISCO十亿日元7717%16.07-3%38%荷兰ASML百万欧元723713%204813%39%免责声明和披露以

21、及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。4 科技科技 AMAT：1QFY24 实现营业收入 67.1 亿美元，环比-0.2%，同比持平，符合公司此前指引，超过彭博一致预期（64.79 亿美元）；non-GAAP 毛利率 47.9%，环比+0.6pct，同比+1.1pct；GAAP 净利润 20.2 亿美元，超过彭博一致预期（15.82 亿美元）。公司指引 2QFY24 预计实现营收 61-69 亿美元，中位数同/环比下降 2.0%/3.1%，半导体/AGS/显示预计实现收入48/15/1.5 亿美元，non-GAAP 毛利率预计为 47.3%。此次业绩会上我们看到 1QFY24 中国大陆收

22、入占比 45%，AMAT 预计全年中国大陆占比将下降到 30%左右的常规水平；2）展望 2024 年全球半导体设备市场，公司认为先进制程相关需求强劲，ICAPS 因产能利用率同比下降，HBM 带动 DRAM 持续改善；NAND 需求有望同比增长但仍低于 2023 年水平且在整体 WFE 投资中占比低于 10%；3）HBM、GAA-FET 是半导体设备市场未来核心推动力。Lam research:4Q23 收入 37.6 亿美元，同/环比增长-28.8%/7.9%，符合前期指引 3440亿美元，基本符合彭博一致预期（37.0 亿美元），公司整体综合毛利率 46.8%。按终端应用分，存储收入占比从

23、 38%环比提升至 48%，主要由 DRAM 推动，代工占比环比上升 2pct至 38%，逻辑及其他占比下降至 14%。从地区来看，中国大陆占比环比减少 8pct 至 40%，韩国、日本、中国台湾占比分别为 19%、14%、13%。公司预计 1Q24 收入为 373 亿美元，符合彭博一致预期（36.9 亿美元）。Non-GAAP 毛利率为 48.0%1pct，高于彭博一致预期（46.2%）。Lam 将 2023 年全球 WFE 市场规模预期从约 800 亿美元上调至略高于 800亿美元，并预测 2024 年 WFE 市场规模约为 850-900 亿美元，DRAM 的增长将来源于对高带宽内存的进

24、一步需求以及节点演进，2023 年 NAND capex 因稼动率下滑而大幅削减，但 2024 年行业需求有望受益于技术升级。ASML:4Q23 实现营收 72.37 亿欧元，同比+13%，环比+8.45%，略超此前指引的 6771亿欧元，毛利率 51.4%，略超指引的 5051%。EUV、ArFi、KrF、ArF Dry、i-line 收入占比分别为 40%、38%、12%、5%、2%。当前公司在手订单为 390 亿欧元，4Q 新签订单92 亿欧元（Q3 新签订单 26 亿），其中 EUV 新签订单 56 亿欧元，DUV 新签订单 36 亿欧元。按下游分，存储新签 43 亿欧元；逻辑新签 4

25、8.7 亿欧元，环比+28 亿欧元。ASML 预计 2024Q1 收入为 5055 亿欧元，毛利率预计在 48-49%。ASML 预期 2024 年收入同比持平，对 2025 年预期乐观；2024 年 WFE 市场规模约为 850-900 亿美元；3）4Q23 中国大陆收入占比有所下降，但仍维持 40%左右的高位。TEL：Q3FY24 收入 4636 亿日元，同/环比增长-0.9%/8.4%，营业利润 1324 亿日元，同/环比增长 15.4%/37.8%。Q3FY24SPE 收入 3530 亿日元，占总体收入的 76%，其中逻辑/代工及其他收入占 SPE 的 65%，DRAM 占比 31%。

26、解决方案收入 1044 亿日元，环比持平。此次业绩会上我们看到 1）公司季度营收依然保持强劲，毛利率环比持续提升至 47.9%；2）Q3FY24中国大陆收入占比创历史新高达到46.9%，TEL预计中国约占 2024 年 全球WFE 市场规模的 40%；3）受益于中国区需求拉动，TEL 将 2023 年 WFE 市场规模预测上调至950 亿美金，预期 2024 年 WFE 市场规模为 1000 亿美金。5）公司预计 2024 年全球 DRAM的需求增长率约为 30%至 40%，2H24 开始恢复。NAND 投资将基本持平，逻辑/代工投资将略有增长，预计 2025 年 WFE 市场规模将实现两位数

27、的增长。Lasertec：4Q23 收入 476.84 亿日元，同/环比增长 62.3%/0.8%。半导体/服务收入/其他产品收入占比分别为 82.35%（环比降低 5.81pct）/15.97%（环比增加 4.77pct）/1.47%，半导体收入同比增长 70.0%，服务收入同比增长 48.7%。4Q23 毛利率回升至 56.1%，环比提升 20pct。此次业绩会上我们看到 1）公司季度营收依然保持强劲，但受限于市场环境，新签订单量有所下滑；2）随着 ACTIS 首批出货完成，公司毛利率回升至正常水平，并带动归母净利润环比增加 111.6%；3）high-NA 产品进展顺利，公司认为高端 A

28、CTIS 设备的需求将驱动订单回升；4）公司看到下游资本开支保持谨慎，中国及 AI 需求拉动下，公司预计 2024 年下半年市场复苏。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。5 科技科技 爱德万：爱德万：1）3QFY23（9-12 月）营收 JPY133.2bn，高于彭博一致预期的 JPY121.1bn，主因 AI 拉动 HBM、DDR5 等高端存储测试机需求增加，推动 3QFY23 储测试机营收增长；毛利率环比提高 0.7pct 至 50.6%，基本符合彭博一致预期的 51.0%；2）上修 FY2023 全年营收指引 7.5%至 JPY480bn，其中上修存储测试机和机电

29、一体化系统营收指引（因 HBM等高端存储测试机及相关接口方案产品需求增长）、下修 SoC 测试机营收指引（当前下游封测企业等客户采购意愿仍低迷）；3）公司预计 2024 年全球 SoC 测试机市场将小幅增长至 33-36 亿美元（中位数同比增长 3.0%）；预计生成式 AI 需求带动 HBM 测试机市场未来几年保持 50%年均复合增速、HBM 和 DDR5 等扩产需求有望带动存储测试机市场 2024 年增长至 13-16 亿美元（中位数同比增长 32%）。泰瑞达：泰瑞达：1）4Q23 营收 6.71 亿美元，略低于彭博一致预期的 6.76 亿美元，处于此前指引区间，其中公司存储测试机需求和机器

30、人设备需求均有所增长，但被 SoC 测试设备营收下降所抵消。公司 1Q24 营收指引中位数环比下降 22.8%，和彭博一致预期一致；2）泰瑞达预计 24 年全年营收将和 23 年持平，其中下半年 SoC 测试需求预计将会有所改善，24 年全球存储测试设备预计增长 10%左右，机器人设备也有望实现增长；3）中长期来看，泰瑞达预计公司营收将在2326年实现17%的复合增速、毛利率预计维持在59%60%范围内，主因移动终端测试需求的不断复苏和其他业务的稳健增长。ASMPT：1）4Q23 营收环比下降 2%至 34.0 亿港元，超出彭博一致预期的 33.1 亿港元，毛利率提升至 42.3%，超出彭博一

31、致预期的 37.4%，主因是第三季度的毛利率基数较低及产品组合的改善；2）公司指引 Q1Booking 环比提升 20%，显示出下游需求呈现复苏态势；3）ASMPT 看好 2024 年生成式 AI 带动的先进封装设备需求，表示 TCB 设备开始给全球领先的晶圆代工企业以及存储厂商出货；4）混合键合方面，公司已获得 2 台设备订单，公司预计 1Q24 将有更多订单。Disco：1）3QFY23（10-12月）实现营收 JPY77.0bn，基本符合彭博一致预期的 JPY78.4bn，同比增长 16.9%，环比增长 6.5%。毛利率 68.4%，超彭博一致预期的 67.0%，环比持平，同比增长 2.

32、9pct，主因产品结构优化、有利的汇率等因素；但净利润 JPY16.1bn，低于彭博一致预期的 JPY18.4bn，主因拆除羽田研发中心计提的资产减值损失 JPY7.5bn；2）3QFY23 AI 相关收入占比超 10%。公司看到 AI 需求能见度将持续至 FY2Q24，同时认为自身市场龙头地位较为牢固（尤其在 HBM 领域），2024 财年累计将带来 JPY50bn 的订单；3）在新能源需求持续推动下，公司表示 SiC 相关设备需求旺盛（尤其是中国市场），驱动FY3Q23 公司中国大陆区域收入占比提升至近 8 个季度最高的 38%（同比提升 4pct，环比提升 2pct）；4）公司表示 3Q

33、FY23 CIS 领域对研磨机需求旺盛，尤其是中国客户，但认为4QFY23 将回归正常化。Besi：1）4Q23 营收环比上升 15.9%至 1.60 亿欧元，超出彭博一致预期的 1.49 亿欧元，主因是混合键合、光电和 AI 相关 2.5D 应用的出货量增加；2）毛利率上升到 65.1%，超出彭博一致预期的 63.5%，主因是先进封装产品组合、外汇收益以及成本控制；3）Besi 预计1Q24 收入将同比下降 5%-15%，毛利率将在 64%-66%之间；3）混合键合设备方面，2023年底装机量已达 40+个，比 2022 年约翻了一倍，客户数量从 3 个增加到 9 个，包括北美，欧洲、中国台

34、湾和韩国的 IDM、代工厂等客户，并且 4Q23 约一半的混合键合订单是最先进的第一代 Plus 精度（100nm）混合键合系统；4）Besi 认为当前正处于封装复苏的早期，预计 2024-2026 年将出现反弹，主因是主流封装设备和中国市场的复苏，下一代人工智能、逻辑和内存应用拉动需求，以及新晶圆厂上线需要先进封装产能。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。6 科技科技 2024 主要看点主要看点（全球全球）：）：1）下游代工厂及存储厂周期复苏，目前来看下游的产能利用率处于低位，已经逐步趋稳；2）AI 需求驱动下，AI 等新兴增长动力将成为未来几年内存和逻辑代工工厂增加

35、投资的基础，Lam research 预计 AI 服务器和数据中心的渗透率每增加 1个百分点，预计将增加 10-15 亿美元的 WFE 投资；3）台积电 CoWoS 及 SoIC 产能持续扩张。建议关注台积电先进封装产能扩充带给先进封装设备供应商的业绩兑现情况，以及HBM 需求增长带来的测试机企业业绩增长情况。2024 主要看点主要看点（国内国内）：）：1）建议关注国内下游厂商资本开支力度及国产厂商关键设备突破；2）建议关注国内封测企业资本开支复苏节奏。随着 2023 年底半导体去库存接近尾声，以及需求逐步复苏，我们预计国内封测企业资本开支有望于 2024 年进入上行周期。免责声明和披露以及分

36、析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。7 科技科技 全球和中国半导体设备市场回顾全球和中国半导体设备市场回顾 2024 年初至年初至 3 月月 4 日，日，SCREEN（+63%）、）、东京电子东京电子（+52%）领涨）领涨前道前道设备板块。设备板块。一方面因为日本股市持续走高，年初至 3 月 4 日，日经 225 指数上涨 20%，尤其科技股走势强劲。另一方面，东京电子主营刻蚀、ALD、涂胶显影、清洗设备；SCREEN 清洗设备具有竞争力，2023 年上半年受中国区拉动业绩表现强劲。图表图表4：应用材料应用材料 VS 拉姆研究拉姆研究 VS 东京电子东京电子 VS 阿斯麦阿斯麦 VSSCR

37、EEN VS KLA 相对涨跌幅相对涨跌幅 注：以 2023 年 1 月 1 日股价为基数 100 计算相对涨跌幅 资料来源：Wind,华泰研究 2024 年初至年初至 3 月月 4 日日，爱爱德万测试德万测试（+54%）、）、DISCO（+47%）领涨后道设备板块。）领涨后道设备板块。由于AI 芯片推动配套 HBM 需求高速增长，同时市场预期 AI PC 和 AI 手机芯片将对测试需求有所提高，爱德万测试作为全球 SoC 及存储测试机的龙头企业，股价表现强势。由于生成式AI 的需求驱动，台积电 CoWoS 先进封装产能持续扩张。Disco 在全球后道划片机及研磨机的市场占据较高的市场份额，作

38、为全球核心供应商持续受益于先进封装产能扩充趋势，同时全球碳化硅企业需求旺盛，因此股价表现强势。图表图表5：ASMPT VS DISCO VS BE SEMICONDUTOR VS 库力索法半导体库力索法半导体 VS 爱德万测试爱德万测试 VS 泰瑞达泰瑞达 vs Lasertec 股价相对涨跌幅股价相对涨跌幅 注：以 2024 年 1 月 1 日股价为基数 100 计算相对涨跌幅 资料来源：Wind,华泰研究 02040608001802024-01-012024-01-032024-01-052024-01-072024-01-092024-01-112024-01-1

39、32024-01-152024-01-172024-01-192024-01-212024-01-232024-01-252024-01-272024-01-292024-01-312024-02-022024-02-042024-02-062024-02-082024-02-102024-02-122024-02-142024-02-162024-02-182024-02-202024-02-222024-02-242024-02-262024-02-282024-03-012024-03-03(相对涨跌幅)东京电子中微公司北方华创应用材料阿斯麦SCREEN60708090100110120

40、02024-01-012024-01-032024-01-052024-01-072024-01-092024-01-112024-01-132024-01-152024-01-172024-01-192024-01-212024-01-232024-01-252024-01-272024-01-292024-01-312024-02-022024-02-042024-02-062024-02-082024-02-102024-02-122024-02-142024-02-162024-02-182024-02-202024-02-222024-02-242024-02-

41、262024-02-28ASMPTDISCOBE SEMICONDUCTOR库力索法半导体爱德万测试泰瑞达Lasertec 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。8 科技科技 图表图表6：全全球半导体前道设备企业销售情况统计和球半导体前道设备企业销售情况统计和 2024/25 一致预期一致预期 注：图中业绩均采用自然年，预测数据采用彭博一致预期 资料来源：彭博，公司公告,华泰研究 图表图表7：全球半导体后道设备企业销售情况统计和全球半导体后道设备企业销售情况统计和 2024/25 一致预期一致预期 注：图中业绩均采用自然年，预测数据采用彭博一致预期 资料来源：彭博，公司公

42、告,华泰研究 代码代码公司公司1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23202320242025AAAAAAAAA AA AE EE E收入（百万美元）收入（百万美元）ASML USASML556463985372237398062982737455AMAT USAMAT55826624565206749673966306425672369629705LRCX USLam Research38484406046

43、365074527838703207348237609054KLAC USKLA42353228924872724298424332355239724879434035 JPTEL3980246233468492235884328761677735.JPScreen9488745809878945750832883333135223803合计28723547259662624925301230752

44、34632469117714收入同比增速收入同比增速ASML USASML90.9%30.1%31.6%11.3%-23.9%19.5%-6.5%21.4%84.6%29.9%25.6%17.2%46.1%0.1%25.6%AMAT USAMAT123.0%121.9%92.7%81.4%11.9%5.2%10.2%7.5%6.2%-1.5%-0.4%-8.4%-1.9%2.8%12.1%LRCX USLam Research-2.8%-5.7%-8.2%-18.1%5.5%11.8%17.9%24.9%-4.7%-30.8%-31.4%-28.8%-26.2%12.4%

45、20.6%KLAC USKLA26.7%31.9%35.4%42.5%26.9%29.2%30.7%26.8%6.3%-5.3%-12.0%-16.7%-10.0%6.9%14.3%8035 JPTEL16.1%-15.2%14.7%-20.1%-9.1%-15.0%-41.4%-6.5%-27.8%15.1%17.6%7735.JPScreen5.5%20.4%30.4%27.9%5.0%-0.5%-13.2%-2.8%-4.4%0.7%2.8%0.6%-2.6%5.7%8.0%合计4%8%9%10%14%-2%-10%-6%-1.9%5.5%18.3%收入环比增速收入环比增速ASML US

46、ASML1.3%-7.4%27.7%-7.2%-30.7%45.5%-0.1%20.5%5.4%2.3%-3.3%12.4%AMAT USAMAT61.5%11.0%-1.2%2.4%-0.4%4.4%3.5%-0.1%-1.6%-3.1%4.6%-8.2%LRCX USLam Research-25.5%7.7%3.8%-1.8%-4.0%14.2%9.4%4.0%-26.7%-17.1%8.6%8.0%KLAC USKLA9.3%6.7%8.3%12.9%-2.7%8.7%9.5%9.5%-18.5%-3.2%1.8%3.8%8035 JPTEL2.7%5.0%2.6%5.0%-25.0%

47、41.9%-28.5%19.4%-29.8%-2.1%14.0%7735.JPScreen33.3%-20.4%24.4%-3.1%9.4%-24.6%8.6%8.5%7.6%-20.6%10.9%6.1%合计2.7%8.9%-0.1%-7.1%6.5%10.3%1.1%-3.6%-8.8%1.7%4.9%毛利率毛利率ASML USASML53.9%50.9%51.7%54.2%49.0%49.1%51.8%51.5%50.6%51.3%51.9%51.4%AMAT USAMAT46.3%46.2%45.9%46.8%44.7%45.3%46.1%45.0%41.5%46.3%47.1%47.

48、8%LRCX USLam Research47.5%47.9%48.1%47.2%46.9%46.1%46.0%46.7%46.7%46.3%47.5%46.8%KLAC USKLA60.7%60.0%61.0%61.0%61.0%62.0%61.8%59.5%58.7%59.1%60.5%60.7%7735.JPScreen28.0%30.4%31.4%32.7%35.1%35.9%34.0%32.5%32.6%33.3%32.6%38.1%代码代码公司公司1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q232023A2024E2025EAAAAA

49、AAAA 收入（百万美元）收入（百万美元）522 HKASMPT556664799795676668585555508782 TTDisco500248965875464Besi NABesi5276268341171KLIC USK&S34042448546766857 TTAdvantest829560100

50、8693784945342935714254TER USTeradyne78255848470467436920 TTLasertec386合计3348537254032837212收入同比增速收入同比增速522 HKASMPT45.1%19.1%45.2%43.0%21.4%0.5%-26.8%-30.2%-25.9%-25.3%-24.1%-21.6%

51、-24.4%16.4%15.2%6146 TTDisco40.6%32.0%37.1%36.9%20.2%11.8%6.0%-7.4%-10.2%-24.5%-25.1%1.3%-14.8%28.9%14.0%Besi NABesi61.1%87.1%86.2%48.7%33.0%-10.9%-23.7%-24.5%-33.8%-23.7%-26.6%20.7%-18.7%33.2%40.4%KLIC USK&S125.7%182.0%173.1%72.1%13.0%-12.3%-41.0%-61.8%-55.0%-48.7%-29.3%-2.8%-39.5%12.2%27.6%6857 TT

52、Advantest31.1%41.8%13.0%35.9%16.5%26.4%38.0%11.2%5.4%-37.8%-31.1%-16.4%-20.9%4.1%19.1%TER USTeradyne11.0%29.5%16.0%16.6%-3.4%-22.6%-13.0%-17.3%-18.3%-18.6%-14.9%-8.4%-15.2%1.7%22.9%6920 TTLasertec244.4%5.1%-33.4%38.1%-23.8%81.6%155.0%-4.6%22.2%66.6%51.4%40.6%49.2%17.0%30.0%合计40.8%40.1%34.1%36.4%11.5

53、%2.5%-2.9%-15.9%-15.5%-22.4%-20.8%-6.7%-16.6%12.5%21.3%收入环比增速收入环比增速522 HKASMPT0.0%19.4%20.4%-0.5%-15.1%-1.2%-12.3%-5.1%-9.9%-0.4%-10.9%-1.9%6146 TTDisco17.8%-12.6%40.4%-5.3%3.5%-18.7%33.1%-17.2%0.3%-31.7%32.1%12.0%Besi NABesi24.0%57.8%-7.9%-17.5%10.9%5.7%-21.1%-18.4%-2.7%21.8%-24.1%34.2%KLIC USK&S27

54、.0%24.7%14.4%-5.0%-16.6%-3.2%-23.1%-38.5%-1.8%10.3%6.0%-15.4%6857 TTAdvantest9.9%7.2%-6.4%23.3%-5.8%16.4%2.1%-0.6%-10.8%-31.3%13.2%20.5%TER USTeradyne3.0%38.9%-12.5%-6.9%-14.6%11.3%-1.6%-11.5%-15.6%10.8%2.8%-4.7%6920 TTLasertec-2.1%-7.2%-50.2%205.2%-46.0%121.2%-30.1%14.2%-30.8%201.7%-36.5%6.0%合计8.9%

55、17.1%2.0%4.8%-11.0%7.7%-3.4%-9.2%-10.5%-1.2%-1.3%6.9%免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。9 科技科技 图表图表8：海外前道半导体设备企业中国区销售情况统计海外前道半导体设备企业中国区销售情况统计 注：图中业绩均采用自然年，财报非美元货币的 ASML、TEL、Screen 采用期末历史期汇率换算 资料来源：公司公告,华泰研究 代码代码公司公司1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23收入（百万美元）收入（百万美元）ASML USASML5564

56、6398537223739171458030AMAT USAMAT5582662456520674967396630642567236170LRCX USLam Research3848440604636507452783870320734823760KLAC USKLA42353228924872724298424332355239724878035 JPTEL398024623346849223588432877735.JPScreen941749932903

57、988745809878945750832883合计287235472596626249253024617收入同比增速收入同比增速ASML USASML91%30%32%11%-24%20%-6%21%85%30%26%17%AMAT USAMAT123%122%93%81%12%5%10%7%6%-1%0%-8%LRCX USLam Research-3%-6%-8%-18%6%12%18%25%-5%-31%-31%-29%KLAC USKLA27%32%35%43%27%29%31%27%6%-5%-12%-17%8035

58、 JPTEL33%30%28%56%16%-15%15%-20%-9%-15%-41%-7%7735.JPScreen5%20%30%28%5%-1%-13%-3%-4%1%3%1%合计86%69%62%48%4%8%9%10%14%-2%-10%-6%中国区收入中国区收入ASML USASML77873132AMAT USAMAT6597LRCX USLam Research32101589781

59、386616711504KLAC USKLA366337075 JPTEL94597415427735.JPScreen2352622052082676158400336合计5339686362428607247058110309中国区收入占比中国区收入占比ASML USASML15%17%10%22%34%10%15%9%8%24%46%39%AMAT USAMAT32%37%37%26%31%3

60、1%30%24%22%26%44%45%LRCX USLam Research33%36%34%32%34%27%20%17%21%27%48%40%KLAC USKLA20%32%33%23%31%29%31%23%26%30%43%41%8035 JPTEL23%37%25%29%24%22%26%23%25%39%43%47%7735.JPScreen25%35%22%23%27%23%19%14%26%21%48%38%合计25%31%26%26%30%23%23%18%19%27%45%42%中国区收入同比增速中国区收入同比增速ASML USASML73%-30%40%-50%-57

61、%212%285%408%AMAT USAMAT8%-12%-11%-1%-25%-17%46%72%LRCX USLam Research9%-16%-31%-34%-41%-31%65%68%KLAC USKLA97%17%23%27%-11%-2%22%49%8035 JPTEL6%-50%20%-32%4%66%4%99%7735.JPScreen13%-35%-25%-41%-8%-8%160%173%合计24%-21%-2%-23%-28%16%74%119%免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。10 科技科技 国内方面，后道设备板块股价明显跑输前道设备。国内

62、方面，后道设备板块股价明显跑输前道设备。长川科技及华峰测控 2024 年初至 3 月 4日分别下跌 24%/23%。我们认为主要反映下游封测企业景气度下行，较晶圆代工企业更先及更积极的收缩资本开支。前道设备方面，估值水位较低的北方华创及华海清科领涨，分别上涨 19%/7.6%。图表图表9：中微公司中微公司 vs 北方华创北方华创 vs 拓荆拓荆 vs 华海清科华海清科 vs 盛美上海盛美上海 vs 芯源微芯源微 vs 中科飞测中科飞测 vs 长川科技长川科技 vs 华峰测控相对涨跌幅华峰测控相对涨跌幅 注：以 2024 年 1 月 1 日股价为基数 100 计算相对涨跌幅 资料来源：Wind,

63、华泰研究 02040608024-01-012024-01-032024-01-052024-01-072024-01-092024-01-112024-01-132024-01-152024-01-172024-01-192024-01-212024-01-232024-01-252024-01-272024-01-292024-01-312024-02-022024-02-042024-02-062024-02-082024-02-102024-02-122024-02-142024-02-162024-02-182024-02-202024-02-222024-02

64、-242024-02-262024-02-282024-03-012024-03-03(相对涨跌幅)北方华创中微公司盛美上海华峰测控芯源微华海清科拓荆科技中科飞测长川科技 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。11 科技科技 图表图表10：国内主要上市半导体设备企业业绩统计国内主要上市半导体设备企业业绩统计 注：北方华创为华泰预期，长川科技为 wind 一致预期，其余公司均采用业绩快报数值 资料来源：公司公告,华泰研究预测 1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23收入（百万元）E002371 CH北方华创1,4232

65、,1852,5653,5102,1363,3084,5684,6763,8714,5556,1626,165688012 CH中微公司6037357341,0359491,0231,0711,6971,2231,3031,5152,222688082 CH盛美上海2753504625333547428838956169941,1401,138688200 CH华峰测控922008037 CH芯源微882884075 CH华海清科1348369

66、4606668688072 CH拓荆科技5855266871,001688361 CH中科飞测9746752303300604 CH长川科技2953783954435386542447482合计4,9217,1858,73810,1017,6999,30711,43812,656收入同比增速002371 CH北方华创52%76%55%58%50%51%78%33%81%38%35%32%688012 CH中微公司46%30%47%30%57%39%46%64%29%27%41%31%6

67、88082 CH盛美上海33%29%112%91%68%74%34%29%27%688200 CH华峰测控36%111%188%130%124%35%-24%21%-23%-36%-42%-44%688037 CH芯源微1230%340%31%141%62%35%100%73%57%27%30%5%688120 CH华海清科193%111%66%97%77%68%46%30%688072 CH拓荆科技86%658%79%86%274%45%49%40%688361 CH中科飞测41%255%170%62%300604 CH长川科技43%86%-40%-32%-21%-41%合计56%30%31

68、%净利润（百万元）002371 CH北方华创7323734846675921,2081,0851,211688012 CH中微公司072757282 CH盛美上海385259288688200 CH华峰测控272873652688037 CH芯源微729766708530688120 CH华海清科402 CH拓荆科技-10-10781

69、1-54761 CH中科飞测25-20-3300604 CH长川科技407117480136-5778-19103净利润同比增速002371 CH北方华创132%59%128%77%197%117%154%56%149%98%12%82%688012 CH中微公司426%179%-8%118%-15%35%124%-20%135%108%-52%66%688082 CH盛美上海58%-89%347%246%94%2937%33%14%5%688200 CH华峰测控-25%127%244%104%356%22%-32%13%-39

70、%-42%-68%-64%688037 CH芯源微183%103%-53%486%398%30%309%135%104%88%15%-47%688120 CH华海清科122%222%102%217%112%91%21%3%688072 CH拓荆科技-19%1299%65%1210%515%-39%12%200%688361 CH中科飞测-61%259%217%238%300604 CH长川科技93%-162%-53%-112%-24%毛利率002371 CH北方华创40%46%38%37%45%48%41%44%41%43%36%688012 CH中微公司41%44%43%45%45%45%4

71、6%46%46%46%46%688082 CH盛美上海46%40%40%45%47%47%47%53%55%50%55%688200 CH华峰测控81%81%80%80%80%77%74%76%70%72%74%688037 CH芯源微36%43%37%35%39%41%40%35%45%42%41%688120 CH华海清科44%40%46%48%47%47%48%48%47%46%47%688072 CH拓荆科技30%47%49%42%47%47%50%51%50%49%52%688361 CH中科飞测100%100%44%54%53%55%48%48%300604 CH长川科技53%58

72、%56%55%61%合同负债002371 CH北方华创4,4944,7435,5035,0465,0905,6786,5127,1987,8228,5869,380688012 CH中微公司4584338931,3721,5001,5941,9692,1952,3201,8051,365688082 CH盛美上海3644433986628229441,0 CH华峰测控82434688037 CH芯源微3434628604585520466359688120 CH华海清科7798361,0031,0641,3

73、041,3341,2651,273688072 CH拓荆科技21,0879221,3971,6331,5061,497688361 CH中科飞测5545559527300604 CH长川科技119541514 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。12 科技科技 图表图表11：中国主要上市设备公司业绩预测中国主要上市设备公司业绩预测 注：芯源微、中科飞测、长川科技预测值来自 wind 一致预期，其余来自华泰预测 资料来源：Wind，华泰研究预测 202120222023E2024E2025E收入（百万元）002371 CH北方华

74、创9,68314,68820,75331,50543,890688012 CH中微公司3,1084,7406,2648,13610,435688082 CH盛美上海1,6212,8733,8885,3746,315688200 CH华峰测控8781,0716848841,051688037 CH芯源微8291,3851,7172,5433,419688120 CH华海清科8051,6492,5083,7704,609688072 CH拓荆科技7581,7062,7043,9805,511688361 CH中科飞测3615098911,0461,150300604 CH长川科技1,5112,57

75、71,6912,1142,537合计19,55431,19741,10059,35278,918收入同比增速002371 CH北方华创60%52%41%52%39%688012 CH中微公司37%52%32%30%28%688082 CH盛美上海61%77%35%38%18%688200 CH华峰测控121%22%-36%29%19%688037 CH芯源微152%67%24%48%34%688120 CH华海清科109%105%52%50%22%688072 CH拓荆科技74%125%59%47%38%688361 CH中科飞测52%41%75%17%10%300604 CH长川科技88%7

76、0%-34%25%20%合计64%60%32%44%33%净利润（百万元）002371 CH北方华创1,077.42,352.74,0955,972.08,094.0688012 CH中微公司1,011.41,169.81,7862,017.02,601.0688082 CH盛美上海266.2668.59111,075.01,486.0688200 CH华峰测控438.8526.3249352.8428.9688037 CH芯源微77.3200.2251406.7574.0688120 CH华海清科198.3501.67271,044.01,300.0688072 CH拓荆科技68.5368.

77、5665806.81,113.0688361 CH中科飞测53.411.7142183.8273.1300604 CH长川科技218.2461.1104654.0987.0净利润同比增速002371 CH北方华创101%118%74%46%36%688012 CH中微公司105%16%53%13%29%688082 CH盛美上海35%151%36%18%38%688200 CH华峰测控120%20%-53%41%22%688037 CH芯源微58%159%25%62%41%688120 CH华海清科103%153%45%44%25%688072 CH拓荆科技596%438%80%21%38%6

78、88361 CH中科飞测35%-78%1113%29%49%300604 CH长川科技157%111%-77%529%51%免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。13 科技科技 图表图表12：中国半导体制造设备进口金额中国半导体制造设备进口金额 资料来源：Wind,华泰研究 图表图表13：海内外主要前道设备公司估值表（截至海内外主要前道设备公司估值表（截至 2024 年年 3 月月 4 日收盘）日收盘）注：海外公司来自彭博一致预期，A 股公司来自 Wind 一致预期 资料来源：Wind,华泰研究 图表图表14：海内外主要后道设备公司估值表（截至海内外主要后道设备公司估值表

79、（截至 2024 年年 3 月月 4 日收盘日收盘）注：海外公司来自彭博一致预期，A 股公司来自 Wind 一致预期 资料来源：Wind,华泰研究 -100%-50%0%50%100%150%200%0100,000200,000300,000400,000500,000600,0-----------07202

80、3-092023-11(万美元)中国半导体制造设备进口额同比（右轴）环比（右轴）2024E2025E2024E2025E5D1MYTD半导体设备半导体设备002371.SZ北方华创292.17154,93625.919.14.93.50.0%2.9%18.9%688012.SH中微公司149.0092,27344.932.810.78.21.3%1.5%-3.0%688120.SH华海清科201.6632,05130.724.78.57.0-0.2%-0.2%7.4%688072.SH拓荆科技209.1139,35248.835.49.97.1-0.3%-2.1%-9.6%688037.SH芯

81、源微123.1916,98641.629.06.54.85.7%5.8%-7.8%688082.SH盛美上海96.6142,09437.527.37.86.40.4%-1.6%-7.5%300567.SZ精测电子74.0520,597103.034.78.34.16.3%15.4%-15.5%688361.SH中科飞测64.6820,698150.7110.719.818.02.2%1.9%-13.1%688147.SH微导纳米37.2616,93333.023.04.63.5-1.9%-0.9%-4.4%688630.SH芯碁微装71.899,44834.523.57.55.22.7%2.3

82、%-15.8%AMAT.OAMAT210.25174,69626.222.46.65.90.0%4.3%29.9%ASML.OASML990.94391,01449.232.913.110.40.0%4.1%31.1%LRCX.O拉姆研究981.53128,68231.524.38.16.80.0%4.6%25.3%KLAC.OKLA717.5797,04029.624.69.68.40.0%5.2%23.7%8035.TTEL39290.00123,99932.625.89.07.72.4%6.6%55.6%7735.TSCREEN19500.0013,25628.725.03.83.50.

83、4%4.1%63.5%6920.TLASERTEC41760.0026,34876.046.219.814.62.4%4.5%12.3%平均值平均值48.533.09.37.41.2%3.4%11.2%中位值中位值34.525.88.36.80.4%4.1%7.4%代码代码公司名称公司名称股价股价市值市值（百万元/美（百万元/美元）元）P/EP/S股价变动股价变动总市值总市值（百万元）（百万元）2024E2025E2024E2025E2024E2025E5D1MYTD海外海外522 HKASMPTHKD95.635,93322.115.42.32.12.32.03.9%12.1%28.3%KL

84、IC USK&SUSD48.919,56527.716.4-3.52.81.6%6.1%-10.7%BESI NABesiEUR168.3105,18250.933.028.121.717.612.71.4%18.1%23.3%6146 JPDiscoJPY51520.0265,32449.240.612.510.615.413.59.3%24.2%47.3%TER US泰瑞达USD105.9115,17436.322.67.26.16.04.85.5%10.0%-2.3%6857 JP爱德万JPY7380.0268,70753.737.511.810.010.28.66.6%20.3%53.

85、8%688200 CH华峰测控RMB91.112,33533.526.23.43.013.410.89.3%23.3%-25.8%300604 CH长川科技RMB29.918,62830.219.95.84.45.44.010.5%32.3%-21.3%平均值平均值38.026.410.18.39.27.4中位数中位数34.924.47.26.18.16.7股价变动股价变动P/B（倍）（倍）P/S（倍）（倍）P/E（倍）（倍）代码代码公司公司交易货币交易货币股价股价 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。14 科技科技 图表图表1515：重点重点推荐推荐公司一览表公司一览

86、表 最新收盘价最新收盘价 目标价目标价 市值市值(百万百万)EPS(元元)PE(倍倍)股票名称股票名称 股票代码股票代码 投资评级投资评级(当地币种当地币种)(当地币种当地币种)(当地币种当地币种)2022 2023E 2024E 2025E 2022 2023E 2024E 2025E 拓荆科技 688072 CH 买入 209.11 336.70 39,352 1.96 3.54 4.29 5.92 106.69 59.07 48.74 35.32 北方华创 002371 CH 买入 292.17 395.39 154,936 4.44 7.72 11.26 15.27 65.80 37.

87、85 25.95 19.13 盛美上海 688082 CH 买入 96.61 135.90 42,094 1.53 2.09 2.47 3.41 63.14 46.22 39.11 28.33 华海清科 688120 CH 买入 201.66 237.21 32,051 3.16 4.79 6.57 8.18 63.82 42.10 30.69 24.65 注：数据截至 2024 年 03 月 04 日 资料来源：Bloomberg，华泰研究预测 图表图表16：重点推荐公司最新重点推荐公司最新观点观点 股票名称股票名称 最新观点最新观点 拓荆科技拓荆科技(688072 CH)2023 年业绩维

88、持高增，新产品进展顺利，在手订单充足年业绩维持高增，新产品进展顺利，在手订单充足 拓荆科技发布公告预计 23 年实现营业收入 26-28 亿元，同比增长 52.4%-64.2%，公司产业化应用领域不断扩大，经营规模快速增长，预计 23 年实现归母净利润 6.0-7.2 亿元，同比增长 62.8%-95.4%（调整后），超我们此前预期的 4.5 亿元。2023 年年末在手销售订单金额超过 64 亿元（不含Dem 订单），同比增长约 39%，为后续业绩的增长提供保障。考虑到政府补贴等非经常性损益影响，我们维持公司 2023/24/25 年收入 27.1/39.8/55.1亿元，调整归母净利润至 6

89、.7/8.1/11.1 亿元。考虑到公司在手订单充足及新产品放量带来的成长性，我们基于 15.9x 24PS（行业均值 9.4 倍）给予目标价 336.7 元，维持买入。风险提示：中美贸易摩擦加剧、清洗设备竞争加剧。报告发布日期：2024 年 01 月 25 日 点击下载全文：拓荆科技点击下载全文：拓荆科技(688072 CH,买入买入):2023 年业绩维持高增，在手订单充足年业绩维持高增，在手订单充足 北方华创北方华创(002371 CH)半导体设备市占率稳步提升，半导体设备市占率稳步提升，2023 年收入维持高增，新签订单充足年收入维持高增，新签订单充足 北方华创发布 2023 年业绩预

90、告，预计 2023 年公司收入 209.7-231 亿元，同比增长 42.77%-57.27%，归属于上市公司股东的净利润 36.1 亿元-41.5亿元，同比增长 53.44%76.39%。受益于公司半导体设备业务的市场占有率稳步提升，公司营业总收入持续增长。2023 年公司新签订单超过 300亿元，其中集成电路领域占比超 70%。看好 2024 中国本土晶圆制造商资本开支维持高强度及半导体设备国产替代进程加速，我们上修 23/24/25 年收入预测至 218/315/439 亿元，维持“买入”评级，参考可比公司均值，给予公司 2024 年 6.65 倍 PS，维持目标价 395.39 元。风

91、险提示：全球半导体设备进入下行周期的风险；设备研发不及预期的风险。报告发布日期：2024 年 01 月 16 日 点击下载全文：北方华创点击下载全文：北方华创(002371 CH,买入买入):2023 年收入维持高增，新签订单充足年收入维持高增，新签订单充足 盛美上海盛美上海(688082 CH)2023 业绩全年高增，产品组合优化拉高毛利率，新品及客户进展顺利业绩全年高增，产品组合优化拉高毛利率，新品及客户进展顺利 盛美上海 2023 收入为 38.9 亿元（yoy+35.3%），归母净利润 9.1 亿元（yoy+36.2%），毛利率为 52.0%，同比+3.1pcts，主因产品组合优化。展

92、望2024，公司预计全年营业收入在 50 亿-58 亿（中值 yoy+38.8%），高增长主要受益于 1）国内半导体设备需求旺盛，公司销售订单快速增长；2）公司在新客户拓展、新市场开发等方面均取得一定成效。我们预测 24/25/26 年收入 53.7/63.2/72.7 亿元，对应归母净利润 10.8/14.9/18.5 亿元。考虑到公司涂胶显影、PECVD 对收入的提升，我们以行业均值 9x 24PS 为基础给一定的溢价，基于 11 倍 24 年 PS，维持买入及目标价 135.9 元。风险提示：中美贸易摩擦加剧、清洗设备竞争加剧。报告发布日期：2024 年 03 月 01 日 点击下载全文

93、：盛美上海点击下载全文：盛美上海(688082 CH,买入买入):23 年业绩高增，新产品及海外客户进展顺利年业绩高增，新产品及海外客户进展顺利 华海清科华海清科(688120 CH)2023 年业绩持续高增，看好公司年业绩持续高增，看好公司“设备设备+服务服务”平台化平台化发展战略发展战略 华海清科公告预计 2023 年实现营业收入 23-27 亿元，同比增长 39.5%-63.8%，预计归母净利润 6.59 亿元-7.74 亿元，同比增长 31.4%-54.3%。公司 CMP 产品市占率持续提升，同时公司平台化布局初见成效，减薄设备、湿法设备、测量设备进展顺利，我们看好 2024 中国本土

94、晶圆制造商资本开支维持高强度及半导体设备国产替代进程加速，国产半导体设备厂商业绩有望持续放量。我们维持公司 23-25 年收入预测 26/37.7/46.1 亿元。2024年行业 PS 均值为 8.9 倍，公司新产品逐步放量，我们给予一定估值溢价，对应 10 x 24PS，维持“买入”，给予目标价 237.21 元。风险提示：中美贸易摩擦加剧、清洗设备竞争加剧。报告发布日期：2024 年 01 月 24 日 点击下载全文：华海清科点击下载全文：华海清科(688120 CH,买入买入):2023 业绩高增，平台化布局进展顺利业绩高增，平台化布局进展顺利 资料来源：Bloomberg，华泰研究预测

95、 风险提示风险提示 1）贸易摩擦风险。若贸易摩擦进一步加剧，存在影响国内外设备公司进出口业务及收入的风险。2）半导体周期下行。半导体周期持续下行，下游需求复苏不及预期，存在影响国内外设备公司业绩风险。3）测算和可得数据的局限性。我们仅可获取上市公司收入数据，测算存在局限性。4）本研报中涉及到未上市公司或未覆盖个股内容，均系对其客观公开信息的整理，并不代表本研究团队对该公司、该股票的推荐或覆盖。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。15 科技科技 免责免责声明声明 分析师声明分析师声明 本人，黄乐平、丁宁、吕兰兰，兹证明本报告所表达的观点准确地反映了分析师对标的证券或发行人

96、的个人意见；彼以往、现在或未来并无就其研究报告所提供的具体建议或所表迖的意见直接或间接收取任何报酬。一般声明及披露一般声明及披露 本报告由华泰证券股份有限公司（已具备中国证监会批准的证券投资咨询业务资格，以下简称“本公司”）制作。本报告所载资料是仅供接收人的严格保密资料。本报告仅供本公司及其客户和其关联机构使用。本公司不因接收人收到本报告而视其为客户。本报告基于本公司认为可靠的、已公开的信息编制，但本公司及其关联机构(以下统称为“华泰”)对该等信息的准确性及完整性不作任何保证。本报告所载的意见、评估及预测仅反映报告发布当日的观点和判断。在不同时期，华泰可能会发出与本报告所载意见、评估及预测不一

97、致的研究报告。同时，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可能会波动。以往表现并不能指引未来，未来回报并不能得到保证，并存在损失本金的可能。华泰不保证本报告所含信息保持在最新状态。华泰对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。本公司不是 FINRA 的注册会员，其研究分析师亦没有注册为 FINRA 的研究分析师/不具有 FINRA 分析师的注册资格。华泰力求报告内容客观、公正，但本报告所载的观点、结论和建议仅供参考，不构成购买或出售所述证券的要约或招揽。该等观点、建议并未考虑到个别投资者的具体投资目的、财务状况以及特定需求，在任何时候均不构成

98、对客户私人投资建议。投资者应当充分考虑自身特定状况，并完整理解和使用本报告内容，不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。对依据或者使用本报告所造成的一切后果，华泰及作者均不承担任何法律责任。任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。除非另行说明，本报告中所引用的关于业绩的数据代表过往表现，过往的业绩表现不应作为日后回报的预示。华泰不承诺也不保证任何预示的回报会得以实现，分析中所做的预测可能是基于相应的假设，任何假设的变化可能会显著影响所预测的回报。华泰及作者在自身所知情的范围内，与本报告所指的证券或投资标的不存在法律禁止的利害关系。在法律许可的情况下，华泰可能会持有

99、报告中提到的公司所发行的证券头寸并进行交易，为该公司提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务或向该公司招揽业务。华泰的销售人员、交易人员或其他专业人士可能会依据不同假设和标准、采用不同的分析方法而口头或书面发表与本报告意见及建议不一致的市场评论和/或交易观点。华泰没有将此意见及建议向报告所有接收者进行更新的义务。华泰的资产管理部门、自营部门以及其他投资业务部门可能独立做出与本报告中的意见或建议不一致的投资决策。投资者应当考虑到华泰及/或其相关人员可能存在影响本报告观点客观性的潜在利益冲突。投资者请勿将本报告视为投资或其他决定的唯一信赖依据。有关该方面的具体披露请参照本报告尾部。本报告并非意

100、图发送、发布给在当地法律或监管规则下不允许向其发送、发布的机构或人员，也并非意图发送、发布给因可得到、使用本报告的行为而使华泰违反或受制于当地法律或监管规则的机构或人员。本报告版权仅为本公司所有。未经本公司书面许可，任何机构或个人不得以翻版、复制、发表、引用或再次分发他人(无论整份或部分)等任何形式侵犯本公司版权。如征得本公司同意进行引用、刊发的，需在允许的范围内使用，并需在使用前获取独立的法律意见，以确定该引用、刊发符合当地适用法规的要求，同时注明出处为“华泰证券研究所”，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。本公司保留追究相关责任的权利。所有本报告中使用的商标、服务标记及标记均

101、为本公司的商标、服务标记及标记。中国香港中国香港 本报告由华泰证券股份有限公司制作,在香港由华泰金融控股（香港）有限公司向符合证券及期货条例及其附属法律规定的机构投资者和专业投资者的客户进行分发。华泰金融控股（香港）有限公司受香港证券及期货事务监察委员会监管，是华泰国际金融控股有限公司的全资子公司，后者为华泰证券股份有限公司的全资子公司。在香港获得本报告的人员若有任何有关本报告的问题,请与华泰金融控股（香港）有限公司联系。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。16 科技科技 香港香港-重要监管披露重要监管披露 华泰金融控股（香港）有限公司的雇员或其关联人士没有担任本报告中

102、提及的公司或发行人的高级人员。拓荆科技（688072 CH）、华海清科（688120 CH）：华泰金融控股（香港）有限公司、其子公司和/或其关联公司实益持有标的公司的市场资本值的 1%或以上。拓荆科技（688072 CH）、盛美上海（688082 CH）、华海清科（688120 CH）：华泰金融控股（香港）有限公司、其子公司和/或其关联公司在本报告发布日担任标的公司证券做市商或者证券流动性提供者。有关重要的披露信息，请参华泰金融控股（香港）有限公司的网页 https:/.hk/stock_disclosure 其他信息请参见下方“美国“美国-重要监管披露”重要监管披露”。美国美国 在美国本报告

103、由华泰证券（美国）有限公司向符合美国监管规定的机构投资者进行发表与分发。华泰证券（美国）有限公司是美国注册经纪商和美国金融业监管局（FINRA）的注册会员。对于其在美国分发的研究报告，华泰证券（美国）有限公司根据1934 年证券交易法（修订版）第 15a-6 条规定以及美国证券交易委员会人员解释，对本研究报告内容负责。华泰证券（美国）有限公司联营公司的分析师不具有美国金融监管（FINRA）分析师的注册资格，可能不属于华泰证券（美国）有限公司的关联人员，因此可能不受 FINRA 关于分析师与标的公司沟通、公开露面和所持交易证券的限制。华泰证券（美国）有限公司是华泰国际金融控股有限公司的全资子公司

104、，后者为华泰证券股份有限公司的全资子公司。任何直接从华泰证券（美国）有限公司收到此报告并希望就本报告所述任何证券进行交易的人士，应通过华泰证券（美国）有限公司进行交易。美国美国-重要监管披露重要监管披露 分析师黄乐平、丁宁、吕兰兰本人及相关人士并不担任本报告所提及的标的证券或发行人的高级人员、董事或顾问。分析师及相关人士与本报告所提及的标的证券或发行人并无任何相关财务利益。本披露中所提及的“相关人士”包括 FINRA 定义下分析师的家庭成员。分析师根据华泰证券的整体收入和盈利能力获得薪酬，包括源自公司投资银行业务的收入。拓荆科技（688072 CH）、华海清科（688120 CH）：华泰证券股

105、份有限公司、其子公司和/或其联营公司实益持有标的公司某一类普通股证券的比例达 1%或以上。拓荆科技（688072 CH）、盛美上海（688082 CH）、华海清科（688120 CH）：华泰证券股份有限公司、其子公司和/或其联营公司在本报告发布日担任标的公司证券做市商或者证券流动性提供者。华泰证券股份有限公司、其子公司和/或其联营公司,及/或不时会以自身或代理形式向客户出售及购买华泰证券研究所覆盖公司的证券/衍生工具，包括股票及债券（包括衍生品）华泰证券研究所覆盖公司的证券/衍生工具，包括股票及债券（包括衍生品）。华泰证券股份有限公司、其子公司和/或其联营公司,及/或其高级管理层、董事和雇员可

106、能会持有本报告中所提到的任何证券（或任何相关投资）头寸，并可能不时进行增持或减持该证券（或投资）。因此，投资者应该意识到可能存在利益冲突。评级说明评级说明 投资评级基于分析师对报告发布日后 6 至 12 个月内行业或公司回报潜力（含此期间的股息回报）相对基准表现的预期（A 股市场基准为沪深 300 指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普 500 指数），具体如下：行业评级行业评级 增持：增持：预计行业股票指数超越基准 中性：中性：预计行业股票指数基本与基准持平 减持：减持：预计行业股票指数明显弱于基准 公司评级公司评级 买入：买入：预计股价超越基准 15%以上 增持：增持：预计股价超

107、越基准 5%15%持有：持有：预计股价相对基准波动在-15%5%之间 卖出：卖出：预计股价弱于基准 15%以上 暂停评级：暂停评级：已暂停评级、目标价及预测，以遵守适用法规及/或公司政策 无评级：无评级：股票不在常规研究覆盖范围内。投资者不应期待华泰提供该等证券及/或公司相关的持续或补充信息 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。17 科技科技 法律实体法律实体披露披露 中国中国：华泰证券股份有限公司具有中国证监会核准的“证券投资咨询”业务资格，经营许可证编号为：941011J 香港香港：华泰金融控股（香港）有限公司具有香港证监会核准的“就证券提供意

108、见”业务资格，经营许可证编号为：AOK809 美国美国：华泰证券（美国）有限公司为美国金融业监管局（FINRA）成员，具有在美国开展经纪交易商业务的资格，经营业务许可编号为：CRD#:298809/SEC#:8-70231 华泰证券股份有限公司华泰证券股份有限公司 南京南京 北京北京 南京市建邺区江东中路228号华泰证券广场1号楼/邮政编码：210019 北京市西城区太平桥大街丰盛胡同28号太平洋保险大厦A座18层/邮政编码：100032 电话：86 25 83389999/传真：86 25 83387521 电话：86 10 63211166/传真：86 10 63211275 电子邮件：h

109、t- 电子邮件：ht- 深圳深圳 上海上海 深圳市福田区益田路5999号基金大厦10楼/邮政编码：518017 上海市浦东新区东方路18号保利广场E栋23楼/邮政编码：200120 电话：86 755 82493932/传真：86 755 82492062 电话：86 21 28972098/传真：86 21 28972068 电子邮件：ht- 电子邮件：ht- 华泰金融控股（香港）有限公司华泰金融控股（香港）有限公司 香港中环皇后大道中 99 号中环中心 58 楼 5808-12 室 电话：+852-3658-6000/传真：+852-2169-0770 电子邮件： http:/.hk 华泰证券华泰证券（美国美国）有限公司有限公司 美国纽约公园大道 280 号 21 楼东（纽约 10017）电话：+212-763-8160/传真：+917-725-9702 电子邮件:Huataihtsc- http:/www.htsc- 版权所有2024年华泰证券股份有限公司